全文摘要
本实用新型公开了一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统，所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。本实用新型有益效果：不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。
主设计要求
1.一种钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀（13）和后门阀（14），部分所述第一腔室上连接有真空泵组（15），连接有真空泵组（15）的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车（9）的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统（12），所述回程输送系统（12）上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第二齿轮。
设计方案
1.一种钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀（13）和后门阀（14），部分所述第一腔室上连接有真空泵组（15），连接有真空泵组（15）的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车（9）的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统（12），所述回程输送系统（12）上设有与运输小车（9）底部齿条相啮合的第二齿轮。
2.根据权利要求1所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一腔室包括依次相互连通的第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、镀膜腔室（5）、第二保温腔室（6）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8），其中，所述前门阀（13）设于所述第一过渡腔室（2）前端，所述后门阀（14）设于所述第二过渡腔室（8）后端。
3.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述真空泵组（15）分别与所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）相连接。
4.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，两部所述传动组件分别设在所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）的底部。
5.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一保温腔室（4）和第二保温腔室（6）内分别设有铠装加热组件。
6.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述镀膜腔室（5）的腔体顶面设有若干磁控靶。
7.根据权利要求2所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，第一保温腔室（4）和镀膜腔室（5）之间以及镀膜腔室（5）和第二保温腔室（6）之间通过法兰连接。
8.根据权利要求2-7任一项所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述第一过渡腔室（2）、预热腔室（3）、第一保温腔室（4）、镀膜腔室（5）、第二保温腔室（6）、传输腔室（7）和第二过渡腔室（8）底端分别设有腔室支架（1）。
9.根据权利要求8所述的钢管连续式溅射镀膜机，其特征在于，所述腔室支架（1）底端设有支撑件（16）。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及镀膜技术领域，具体来说，涉及一种钢管连续式溅射镀膜机。
背景技术
目前的金属管镀膜机是单腔室镀膜机，其中，单腔室式镀膜机，每次进出料腔室需要暴露大气，造成膜层质量不稳定、抽真空时间长，产能低，且很难兼容多种规格的金属管，尤其是不同长度的金属管，而且受靶的限制，很难给长度超过4m的管子镀膜，靶材利用率也不高。
针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
实用新型内容
针对相关技术中的上述技术问题，本实用新型提出一种钢管连续式溅射镀膜机，不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。
为实现上述技术目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀，部分所述第一腔室上连接有真空泵组，连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统，所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。
进一步地，所述第一腔室包括依次相互连通的第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、镀膜腔室、第二保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室，其中，所述前门阀设于所述第一过渡腔室前端，所述后门阀设于所述第二过渡腔室后端。
进一步地，所述真空泵组分别与所述第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室相连接。
进一步地，两部所述传动组件分别设在所述第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室的底部。
进一步地，所述第一保温腔室和第二保温腔室内分别设有铠装加热组件。
进一步地，所述镀膜腔室的腔体顶面设有若干磁控靶。
进一步地，第一保温腔室和镀膜腔室之间以及镀膜腔室和第二保温腔室之间通过法兰连接。
进一步地，所述第一过渡腔室、预热腔室、第一保温腔室、镀膜腔室、第二保温腔室、传输腔室和第二过渡腔室底端分别设有腔室支架。
进一步地，所述腔室支架底端设有支撑件。
本实用新型的有益效果：不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本实用新型实施例所述的钢管连续式溅射镀膜机的示意图之一；
图2是根据本实用新型实施例所述的钢管连续式溅射镀膜机的示意图之二；
图3是根据本实用新型实施例所述的钢管连续式溅射镀膜机的俯视图。
图中： 1、腔室支架；2、第一过渡腔室；3、预热腔室；4、第一保温腔室；5、镀膜腔室；6、第二保温腔室；7、传输腔室；8、第二过渡腔室；9、运输小车；10、上料系统；11、下料系统；12、回程输送系统；13、前门阀；14、后门阀；15、真空泵组；16、支撑件。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-3所示，根据本实用新型实施例所述的一种钢管连续式溅射镀膜机，包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室，首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀13和后门阀14，部分所述第一腔室上连接有真空泵组15，连接有真空泵组15的所述第一腔室上分别设有两部传动组件，即每个真空腔室设有两部传动组件，运输小车9底部有齿条，通过传动组件上的第一齿轮啮合运动，运输小车9底部有滚轮，在第一腔室内的行驶导轨中滚动，传动组件中的电机安装在每个真空腔室的侧面；所述传动组件上设有与运输小车9底部齿条相啮合的第一齿轮，所述传动组件上设有到位行程开关机构；所述第一腔室内设有运输小车9的行驶导轨，所述第二腔室上设有回程输送系统12，所述回程输送系统12上设有与运输小车9底部齿条相啮合的第二齿轮。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述第一腔室包括依次相互连通的第一过渡腔室2、预热腔室3、第一保温腔室4、镀膜腔室5、第二保温腔室6、传输腔室7和第二过渡腔室8，其中，所述前门阀13设于所述第一过渡腔室2前端，所述后门阀14设于所述第二过渡腔室8后端，第一过渡腔室2与预热腔室3之间、预热腔室3与第一保温腔室4之间以及传输腔室7和第二过渡腔室8之间均设有真空阀门；将金属管放置在运输小车9上，前门阀2开启、运输小车9进入过渡腔室1，接着进入预热腔室3，加热到工艺温度，运输小车9依次在第一保温腔室4、镀膜腔室5和第二保温腔室6之间往复运动，从而保证镀膜的均匀性；镀膜完成后，运输小车9依次进入传输腔室7和第二过渡腔室8，卸管后，将运输小车9移动到第二腔室入口，通过回程输送系统12，将运输小车9运送至第一过渡腔室2前，待装管，回程输送系统12由圆柱齿轮与运输小车9底部齿条啮合驱动。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述真空泵组15分别与所述第一过渡腔室2、预热腔室3、第一保温腔室4、传输腔室7和第二过渡腔室8相连接。
在本实用新型的一个具体实施例中，两部所述传动组件分别设在所述第一过渡腔室2、预热腔室3、第一保温腔室4、传输腔室7和第二过渡腔室8的底部。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述第一保温腔室4和第二保温腔室6内分别设有铠装加热组件，通过铠装加热组件用于金属管镀膜前保温。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述镀膜腔室5的腔体顶面开有多个磁控靶安装法兰，能安装靶材。
在本实用新型的一个具体实施例中，第一保温腔室4和镀膜腔室5之间以及镀膜腔室5和第二保温腔室6之间通过法兰连接。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述第一过渡腔室2、预热腔室3、第一保温腔室4、镀膜腔室5、第二保温腔室6、传输腔室7和第二过渡腔室8底端分别设有腔室支架1，通过腔室支架1提高其可靠性和稳定性。
在本实用新型的一个具体实施例中，所述腔室支架1底端设有支撑件16，通过支撑件16进一步提高其可靠性和稳定性。
为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下通过具体使用方式上对本实用新型的上述技术方案进行详细说明。
在具体使用时，根据本实用新型所述的钢管连续式溅射镀膜机，运输小车9能够放置12根金属管，12只金属管水平放置，能兼容金属管长度2米-5米，金属管直径40mm-105mm，利用上料系统10将金属管放置在运输小车9上，开启前门阀2，运输小车9依次驶入相互连通的第一腔室依次进行加热、镀膜和再加热，当镀膜完成后，运输小车9从第一腔室驶出进行卸管利用下料系统11运出，卸管后将运输小车9移动到第二腔室进口，通过回程输送系统12将运输小车9回程，再将运输小车9移动到第一腔室入口并装载金属管。
综上所述，借助于本实用新型的上述技术方案，不仅能够提高镀膜效率，而且使成膜质量好，同时膜层均匀性高以及靶材利用率高。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920066586.X
申请日:2019-01-16
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:11(北京)
授权编号:CN209636309U
授权时间:20191115
主分类号:C23C 14/35
专利分类号:C23C14/35;C23C14/56
范畴分类:25F;
申请人:北京奥普科星技术有限公司
第一申请人:北京奥普科星技术有限公司
申请人地址:102300 北京市门头沟区石龙工业开发区龙园路8号F3-10A号
发明人:王峥;龙睿芬;薛道荣
第一发明人:王峥
当前权利人:北京奥普科星技术有限公司
代理人:白明珠
代理机构:11210
代理机构编号:北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计