导读:本文包含了真空蒸镀论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:真空,薄膜,温度,材料,永磁,耐腐蚀,基板。
真空蒸镀论文文献综述
汪永安[1]（2019）在《皖企成功研发真空蒸镀机》一文中研究指出本报讯（记者 汪永安）日前，在合肥合巢经开区合肥莱德设备技术有限公司的厂房里，公司董事长孔令杰博士指着几台样机告诉记者，他们已成功研制出从事OLED生产所必需的核心设备真空蒸镀机，填补了国内在这个领域的空白。真空蒸镀机是OLED生产的核心设备，在(本文来源于《安徽日报》期刊2019-11-23）
刘昕,邱肖盼,江社明,张建,张启富[2]（2019）在《真空蒸镀制备Zn-Mg镀层的研究进展》一文中研究指出锌镁合金镀层是目前解决锌资源溃乏、适应高环保要求的一种镀层产品,是升级换代的智能镀层材料,其中真空蒸镀是目前生产锌镁合金镀层的主流生产工艺。主要介绍了真空蒸镀制备Zn-Mg镀层的研究进展,以促进对这种耐蚀性能优良镀层的深入了解。(本文来源于《材料保护》期刊2019年08期）
邱肖盼,刘昕,刘秋元,江社明,张启富[3]（2019）在《退火工艺对真空蒸镀Zn-Mg镀层耐蚀性的影响》一文中研究指出为了研究不同的合金化退火工艺对真空蒸镀Zn-Mg合金镀层耐蚀性的影响,通过酸性盐雾试验、Na_2SO_4全浸泡腐蚀试验及电化学腐蚀试验对镀层的腐蚀特性进行了研究,并采用X射线衍射对腐蚀前后的相组成进行了分析。研究结果表明,真空蒸镀Mg层后,合金化退火工艺为410℃保温30 s时所得镀层的耐蚀性较好,在全浸腐蚀试验中,其耐蚀性约是纯Zn镀层的40倍。另外,合金化退火后在锌镁界面形成的共晶MgZn_2相和Mg_2Zn_(11)相有利于提高镀层的耐蚀性,Zn-Mg合金镀层在盐雾试验后生成的腐蚀产物所含组分的种类与纯Zn镀层的相似,主要由致密的碱式氯化锌[Zn_5(OH)_8Cl_2·H_2O]、碱式碳酸锌[Zn_4CO_3(OH)_6·H_2O]、Zn_5(CO_3)_2(OH)_6和少量的ZnO等构成。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2019年06期）
汤卉,董鹏展,吕杨[4]（2018）在《基片温度对真空蒸镀Ti/LiNbO_3光学薄膜的影响》一文中研究指出利用绿色真空蒸镀技术,在不同LiNbO_3基片温度下制备Ti光学薄膜,研究不同LiNbO_3基片温度对Ti光学薄膜生长过程的影响,结合薄膜生长与原子迁移理论分析影响机理,优化基片温度.对样品表观形貌与薄膜、晶粒择优生长趋向进行分析.研究结果表明:180℃为5组温度中最合适的基片温度.此条件下,钛薄膜表面存在大量细晶,分布均匀,无晶界迁移,晶粒随机生长、尺寸小,无针孔,钛薄膜表面粗糙度(Rq)低,为25.4nm,平整度较理想,为后续钛扩散铌酸锂光耦合器的制备提供了保障.(本文来源于《徐州工程学院学报(自然科学版)》期刊2018年03期）
李文佳,任舰,苏丽娜[5]（2018）在《真空蒸镀酞菁铜薄膜表面形貌的研究》一文中研究指出本实验采用真空镀膜技术,在不同的蒸发电流、基板温度和退火温度下制备酞菁铜薄膜。通过激光扫描显微镜(LSM)测试薄膜的表面形貌和粗糙度,讨论不同处理工艺对薄膜表面形貌的影响。每组实验粗糙度变化趋势总是先减后增。结果表明,基板不加热、蒸发电流采用100A且制备后进行90℃退火处理制备出的酞菁铜薄膜粗糙度最小,表面最光滑。此外,经过高温处理(基板加热或制备后退火)的酞菁铜薄膜会出现"裂痕"。(本文来源于《中国金属通报》期刊2018年06期）
刘艳[6]（2018）在《真空蒸镀机匮缺：高端显示屏上的阴影》一文中研究指出未来可卷曲、如纸一样轻薄的各类终端屏幕主要选材是OLED（有机发光二极管），OLED生产过程最重要的一环就是“蒸”，工艺难度极高。真空蒸镀机就如同OLED面板制程的“心脏”，被日本Canon Tokki独占高端市场，说其掌握着OLED产业的咽喉(本文来源于《科技日报》期刊2018-04-26）
刘家琴,曹玉杰,张鹏杰,张浩,衣晓飞[7]（2017）在《钕铁硼表面真空蒸镀Al膜的制备及其性能》一文中研究指出为了提高烧结NdFeB磁体的耐腐蚀性能,采用真空蒸镀的方法在烧结NdFeB磁体表面沉积Al薄膜,并对工艺过程中的工艺参数进行优化。结果表明:真空室温度对Al薄膜的结构及耐腐蚀性能基本没有影响,但温度过高会导致Al薄膜表面岛状结构的增大,造成Al薄膜的厚度一致性难以控制;随着蒸发源温度的增加,Al薄膜的沉积速率逐渐增加,但是随着蒸镀时间的延长,Al薄膜的沉积效率逐渐降低,这是由于Al蒸发原子在基片上冷凝沉积的物理驱动力下降导致的。采用最佳工艺参数制备的厚度为8μm的Al薄膜,耐中性盐雾试验时间可达60 h,且Al镀层的涂覆对NdFeB磁体的磁性能基本没有影响。(本文来源于《材料热处理学报》期刊2017年03期）
张鹏杰,吴玉程,曹玉杰,徐光青,刘家琴[8]（2016）在《前处理工艺对NdFeB表面真空蒸镀Al薄膜结构及性能的影响》一文中研究指出为了开发烧结钕铁硼磁体表面低损伤、环境友好型镀膜前处理工艺,在分别采用抛光、酸洗(50 s)、吹砂、吹砂+酸洗(5 s)4种不同工艺处理的烧结NdFeB磁体表面真空蒸镀Al薄膜。经不同工艺前处理的NdFeB基体和涂层的形貌采用扫描电子显微镜进行观察;采用拉伸试验对Al涂层和基体之间的结合力进行测试;NdFeB基体的自腐蚀行为采用电化学极化曲线进行表征。结果表明:吹砂前处理后NdFeB基体表面存在一层晶粒损伤层,导致镀Al薄膜试样镀层与基体之间的结合力(9.54 MPa)最差。而采用吹砂+酸洗(5 s)前处理后NdFeB表面镀Al试样镀层与基体之间结合力可达13.58 MPa。酸洗(50 s)及喷砂+酸洗(5 s)前处理后基体试样的自腐蚀电流密度基本相同(21μA·cm~(-2)),仅为抛光及喷砂前处理基体试样的20%。在4种工艺当中,吹砂+酸洗(5 s)前处理工艺获得最高的结合力和优异的耐腐蚀性能。(本文来源于《中国表面工程》期刊2016年04期）
杨保健,陈玉华,何鑫[9]（2016）在《不锈钢表面真空蒸镀铜合金仿金薄膜》一文中研究指出为了解决目前电镀技术制备铜合金仿金薄膜时"叁废"对环境的污染,采用"真空蒸镀+退火"工艺,以黄铜和铝青铜为靶材,在304不锈钢基片上制备铜合金仿金薄膜。通过电子比色卡和比色软件对薄膜表面色泽进行分析,以正交试验研究了真空度、退火温度、两种铜合金的质量份数对所制薄膜色泽的影响。结果表明,退火温度对仿金薄膜成色影响显着。制备仿金铜合金薄膜的最佳工艺条件为:真空室气压7×10-3 Pa,黄铜与铝青铜的质量份数比10∶1,退火温度410°C。所得膜层的颜色可与16K-24K黄金相媲美。(本文来源于《电镀与涂饰》期刊2016年08期）
骆旭梁,王思源,王宙,雍帆,付传起[10]（2016）在《磷含量对真空蒸镀磷掺杂多晶硅薄膜的影响》一文中研究指出采用真空蒸镀的方法制备磷掺杂多晶硅薄膜,研究了磷含量对多晶硅薄膜的表面形貌、组织结构、晶粒尺寸及晶化率的影响。结果表明:随着磷掺杂分数的增加,多晶硅薄膜的晶粒尺寸和晶化率表现出先增加后降低的趋势,当磷掺杂分数为1%时,薄膜晶粒尺寸达到最大值,为0.55μm,晶化率为96.82%,且晶粒的均匀性最佳。(本文来源于《材料导报》期刊2016年02期）
真空蒸镀论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
锌镁合金镀层是目前解决锌资源溃乏、适应高环保要求的一种镀层产品,是升级换代的智能镀层材料,其中真空蒸镀是目前生产锌镁合金镀层的主流生产工艺。主要介绍了真空蒸镀制备Zn-Mg镀层的研究进展,以促进对这种耐蚀性能优良镀层的深入了解。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
真空蒸镀论文参考文献
[1].汪永安.皖企成功研发真空蒸镀机[N].安徽日报.2019
[2].刘昕,邱肖盼,江社明,张建,张启富.真空蒸镀制备Zn-Mg镀层的研究进展[J].材料保护.2019
[3].邱肖盼,刘昕,刘秋元,江社明,张启富.退火工艺对真空蒸镀Zn-Mg镀层耐蚀性的影响[J].真空科学与技术学报.2019
[4].汤卉,董鹏展,吕杨.基片温度对真空蒸镀Ti/LiNbO_3光学薄膜的影响[J].徐州工程学院学报(自然科学版).2018
[5].李文佳,任舰,苏丽娜.真空蒸镀酞菁铜薄膜表面形貌的研究[J].中国金属通报.2018
[6].刘艳.真空蒸镀机匮缺：高端显示屏上的阴影[N].科技日报.2018
[7].刘家琴,曹玉杰,张鹏杰,张浩,衣晓飞.钕铁硼表面真空蒸镀Al膜的制备及其性能[J].材料热处理学报.2017
[8].张鹏杰,吴玉程,曹玉杰,徐光青,刘家琴.前处理工艺对NdFeB表面真空蒸镀Al薄膜结构及性能的影响[J].中国表面工程.2016
[9].杨保健,陈玉华,何鑫.不锈钢表面真空蒸镀铜合金仿金薄膜[J].电镀与涂饰.2016
[10].骆旭梁,王思源,王宙,雍帆,付传起.磷含量对真空蒸镀磷掺杂多晶硅薄膜的影响[J].材料导报.2016
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