论文摘要
为了表征硬质合金工具涂层的内应力状态,利用阴极电弧法沉积制备各类单层和纳米多层硬质涂层,在不同的涂层偏压及反应气体分压的成膜条件下,制备具有不同内应力的涂层样品,我们采用Stoney法设计合适的实验表征系统,成功定量测定了涂层的内应力值。在考察了涂层内应力与成膜条件的关系的同时,比较了涂层内应力与硬度的关系及规律,本实验得到几种低应力高硬度涂层结构,这不同于通常的内应力/硬度规律。我们探讨了内应力的成因及控制方法,以及工具涂层内应力水平,以便指导设计制造更有效的工具涂层。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 陈路
关键词: 涂层,纳米多层,内应力,硬度,基体偏压,晶格畸变
来源: 福建冶金 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 厦门金鹭特种合金有限公司
分类号: TG174.4
DOI: 10.19574/j.cnki.issn1672-7665.2019.01.012
页码: 40-42
总页数: 3
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