硬质合金涂层的内应力测定及其控制研究

硬质合金涂层的内应力测定及其控制研究

论文摘要

为了表征硬质合金工具涂层的内应力状态,利用阴极电弧法沉积制备各类单层和纳米多层硬质涂层,在不同的涂层偏压及反应气体分压的成膜条件下,制备具有不同内应力的涂层样品,我们采用Stoney法设计合适的实验表征系统,成功定量测定了涂层的内应力值。在考察了涂层内应力与成膜条件的关系的同时,比较了涂层内应力与硬度的关系及规律,本实验得到几种低应力高硬度涂层结构,这不同于通常的内应力/硬度规律。我们探讨了内应力的成因及控制方法,以及工具涂层内应力水平,以便指导设计制造更有效的工具涂层。

论文目录

  • 1 前言
  • 2 实验
  • 3 实验结果与分析
  • 4 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 陈路

    关键词: 涂层,纳米多层,内应力,硬度,基体偏压,晶格畸变

    来源: 福建冶金 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 金属学及金属工艺

    单位: 厦门金鹭特种合金有限公司

    分类号: TG174.4

    DOI: 10.19574/j.cnki.issn1672-7665.2019.01.012

    页码: 40-42

    总页数: 3

    文件大小: 859K

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    硬质合金涂层的内应力测定及其控制研究
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