导读:本文包含了微机电系统论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:微机,系统,传感器,陀螺,误差,法兰克福,离子。
微机电系统论文文献综述写法
丛琳,王小龙,燕斌[1]（2019）在《煤矿井下微机电系统陀螺随机误差辨识》一文中研究指出针对常用随机误差辨识方法不能揭示潜在的误差源、很难分离出具体随机误差、数据采集时间过长等问题,利用Allan方差分析法对煤矿井下微机电系统(MEMS)陀螺随机误差进行辨识。介绍了Allan方差分析法原理,利用Allan方差分析法对MEMS陀螺实测数据进行处理,给出了Allan标准差曲线,通过最小二乘拟合得到MEMS陀螺的主要随机误差系数。实验结果验证了Allan方差分析法用于MEMS陀螺随机误差辨识的有效性。(本文来源于《工矿自动化》期刊2019年10期）
张旭,李春雨[2]（2019）在《微机电系统(MEMS)的简介及应用》一文中研究指出微机电系统(MEMS)是20世纪末21世纪初兴起的工程科学前沿,它涉及多学科的交叉,如物理学、现代光学、现代力学、化学、生物学等。微机电系统正在稳定快速地发展,将逐渐迈入纳米尺寸等级的层次。(本文来源于《科技经济导刊》期刊2019年22期）
天工[3]（2019）在《2018年国际石油十大科技进展(六)——先进的井下测控微机电系统传感器技术快速发展》一文中研究指出随着井眼测量技术的发展和升级,传统传感器体积大、易损坏且成本高等缺点日益突出。为此,业界积极寻求一种可替代传统测控传感器的技术。近年来,随着半导体制造技术的发展,小型化、价格低廉且坚固耐用的微机电系统(MEMS)传感器在井下工具中获得了越来越多的应用。MEMS传感器所用的耐疲劳配件能承受数十亿次甚至数万亿次的冲击而不会出现失效;MEMS传感器微小的尺寸意味着活动部件少,使其在受到冲击和振动时具备高的可靠性;MEMS传感器的成本是传统传感器的百分之一甚至千分之一。MEMS传感器技术能确保制造(本文来源于《天然气工业》期刊2019年07期）
范巧艳[4]（2019）在《基于微机电系统陀螺传感器的FIR滤波器设计》一文中研究指出针对微机电系统(MEMS)陀螺传感器噪声较大的特点,分析了MEMS陀螺数据功率谱,指出该型MEMS陀螺有较强高频噪声和干扰信号,提出了FIR滤波器的设计指标,利用Hamming窗函数法设计了FIR滤波器,最后利用所设计的滤波器对该MEMS陀螺数据进行预滤波处理,并有效应用于2个不同的MEMS陀螺。结果表明,滤波预处理后的数据按照期望对高频数据进行了衰减,设计的FIR滤波器可有效滤除MEMS陀螺的高频噪声,提高角速率测量精度,改善陀螺零偏稳定性,具有一定的工程应用价值。(本文来源于《电子测量技术》期刊2019年11期）
何璇[5]（2019）在《微机电系统技术及其应用》一文中研究指出微机电系统是在微电子技术与微机械技术的基础上产生的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21世纪的高新科技产物。介绍了微机电系统的基本原理及基本组成,综述了微机电系统技术基础所涉及的生物医学、航天卫星领域以及信息通信等领域,并对国内微机电系统的发展现状及前景进行全面分析。在此基础上论述了MEMS技术目前存在的问题和未来发展的趋势。(本文来源于《科技经济导刊》期刊2019年15期）
裴丽娜[6]（2019）在《基于可调谐垂直腔面发射激光器的微机电系统调谐特性研究》一文中研究指出垂直腔面发射激光器(VCSEL)是由日本东京工业大学的Iga、Soda等教授于1977年初次提出。其出光方向与衬底垂直,具有可在片测试、阈值电流低、易于集成、发散角小、调制速率高等优点。VCSEL当前主要的研究方向有:波长集成、波长扩展、波长调谐、大规模二维阵列、控制模式等。波长连续可调谐VCSEL因其调谐范围较大,光谱纯度较高在光通信网络、计算机光互连、气体探测、原子钟等领域中有广泛的应用前景。本论文围绕可调谐VCSEL微机电系统(MEMS)调谐特性开展研究,探索提高器件可靠性、结构的优化设计的设计思路,并在此基础上进行了器件工艺制备和器件特性分析。以下为本论文主要研究内容:1.针对等截面MEMS悬臂梁结构端部受力集中易导致结构疲劳断裂的问题,设计了一种低应力蝴蝶结状MEMS悬臂梁结构。该结构在固定端采用等腰梯形设计,可有效改善悬臂梁结构固定端受力分布,降低端部米塞斯应力。GaAs基材料固定端的最大米塞斯应力相比于等截面状结构降低了37%~64%;InP基材料固定端的最大米塞斯应力相比于等截面状结构降低了33%~50%。实现了可调波长范围覆盖自由光谱范围的具有更低应力、更高可靠性的MEMS悬臂梁结构。2.采用多物理场耦合分析软件,突破原有的静电致动方式的束缚,研究了热电致动和压电致动两种方式实现悬臂梁偏转的方法,探索提高器件调谐特性的可行性。热电致动方式可以同时实现连续波长调谐和小的波长热漂移;压电致动方式可以消除由静电致动拉入效应引起的灾难性损坏,提供了潜在的可调谐方案。3.低应力MEMS制备和器件特性分析。MEMS制备悬臂梁采用了蝴蝶结状,使用设计的掩膜板进行了双面对准套刻工艺。对GaAS背孔深刻蚀工艺研究了不同刻蚀条件对刻蚀速率、刻蚀形貌、刻蚀选择比的影响。通过优化气压、功率、Cl_2/BCl_3/Ar混合气体组成配比得出了最佳刻蚀条件,得到理想的刻蚀深度和侧壁形貌,最大刻蚀速率达到6.5μm/min。ICP干法刻蚀过程中采取二氧化硅和光刻胶双层掩膜,保护了表面完整性。制备器件后,调谐偏压从0V-3V,器件的波长从865.5nm蓝移到854.2nm,调谐范围为11.3nm。(本文来源于《长春理工大学》期刊2019-05-01）
王亚军,徐翱,席仕伟,杨林,金大志[7]（2019）在《基于微机电系统技术的薄膜离子源制备与实验研究》一文中研究指出基于微机电系统技术的薄膜离子源是芯片型中子发生器的关键部件。本文通过在陶瓷基底上制备图形化钛膜并利用3层陶瓷重迭的方法获得了薄膜离子源样品,采用平板探针法和激光共聚焦显微镜得到了薄膜离子源的离子电流及其电极烧蚀特性,并进一步利用高速相机和光谱仪得到了薄膜离子源的放电发光演化图像和等离子体组分信息,最后基于实验结果分析揭示了薄膜离子源放电的工作机制。(本文来源于《原子能科学技术》期刊2019年07期）
王科镜,李南,陈先龙,应琪,成永红[8]（2019）在《电容式射频微机电系统开关的纳秒脉冲击穿及损伤特性》一文中研究指出设计并制备了典型电容式射频微机电系统(RF MEMS)开关结构,利用纳秒脉冲微间隙击穿的电气测试和光学诊断系统,对上、下电极间隙宽度在45~100μm的电容式RF MEMS开关的击穿及损伤特性进行了研究。结果表明:上、下电极间隙宽度为45~100μm时,典型电容式RF MEMS开关击穿属于空气-氮化硅双层介质击穿,且随着间隙增大击穿电压变化不明显;击穿点主要集中在上电极悬浮铝桥上,Al桥形貌损伤十分严重,而其他部位损伤较小。(本文来源于《现代应用物理》期刊2019年01期）
毛欣悦,张希[9]（2019）在《“南京的创新优势，和我们非常匹配”》一文中研究指出编者按 2017年底，首批新型研发机构在宁签约。一年多来，已有超过200家新型研发机构在金陵大地落地生根。以新型研发机构为平台，南京引来“石墨烯之父”安德烈·海姆这样的大咖，也引来诺奖得主康斯坦丁这样的金字塔尖人物。新型研发机构以其突破传统的创新模式，让(本文来源于《南京日报》期刊2019-03-20）
刘瑞,许文杰,袁妍妍[10]（2019）在《微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进》一文中研究指出微机电系统(MEMS)金属基器件经常存在电镀镍层厚度不均匀的问题,采用大型有限元分析软件ANSYS对电镀过程的电场分布进行建模分析。探讨了片内辅助阴极的线宽及其与微结构单元的距离对电镀层均匀性的影响。通过正交试验对片外辅助阴极相关的参数──挡板通孔直径、挡板与基底的距离、铜环壁厚及其与基底的距离进行优化,得到合理的电镀工艺条件。(本文来源于《电镀与涂饰》期刊2019年05期）
微机电系统论文开题报告范文
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
微机电系统(MEMS)是20世纪末21世纪初兴起的工程科学前沿,它涉及多学科的交叉,如物理学、现代光学、现代力学、化学、生物学等。微机电系统正在稳定快速地发展,将逐渐迈入纳米尺寸等级的层次。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微机电系统论文参考文献
[1].丛琳,王小龙,燕斌.煤矿井下微机电系统陀螺随机误差辨识[J].工矿自动化.2019
[2].张旭,李春雨.微机电系统(MEMS)的简介及应用[J].科技经济导刊.2019
[3].天工.2018年国际石油十大科技进展(六)——先进的井下测控微机电系统传感器技术快速发展[J].天然气工业.2019
[4].范巧艳.基于微机电系统陀螺传感器的FIR滤波器设计[J].电子测量技术.2019
[5].何璇.微机电系统技术及其应用[J].科技经济导刊.2019
[6].裴丽娜.基于可调谐垂直腔面发射激光器的微机电系统调谐特性研究[D].长春理工大学.2019
[7].王亚军,徐翱,席仕伟,杨林,金大志.基于微机电系统技术的薄膜离子源制备与实验研究[J].原子能科学技术.2019
[8].王科镜,李南,陈先龙,应琪,成永红.电容式射频微机电系统开关的纳秒脉冲击穿及损伤特性[J].现代应用物理.2019
[9].毛欣悦,张希.“南京的创新优势，和我们非常匹配”[N].南京日报.2019
[10].刘瑞,许文杰,袁妍妍.微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进[J].电镀与涂饰.2019