NEMS外场驱动微电机研究进展

论文摘要

按照外场驱动微电机的驱动机制进行分类,简要介绍了各类微电机的制造工艺及应用前景,综述了各类微电机的研究与应用现状。指出了当前外场驱动微电机领域的研究热点,分析了微电机在实际应用中存在的困难。展望了外场驱动微电机未来的发展趋势及应用前景。

论文目录

• 0 引言
• 1 微电机类型
•   1.1 磁驱动微纳米电机
•   1.2 超声波驱动微纳米电机
•   1.3 电驱动微纳米电机
•   1.4 光驱动微纳米电机
• 2 应用及研究趋势
• 3 总结和展望

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 曹富林,许立忠

关键词: 微纳米电机,纳机电系统,外场驱动,微电机,发展趋势,应用前景

来源: 微特电机 2019年03期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 电力工业

单位: 燕山大学

分类号: TM38

页码: 77-81

总页数: 5

文件大小: 1063K

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