时间监控法制备窄带滤光膜系工艺技术

论文摘要

基于规整全介质窄带滤光膜系初始结构,采用光学薄膜软件中单纯形算法优化出了所需光谱特性曲线,并对制备结果进行了拟合反演,依靠时间监控的离子束溅射镀膜机制备了中心波长950±2 nm,半宽度50 nm,峰值透过率大于90%,截止透射率小于0. 5%的窄带滤光膜系。

论文目录

• 1 技术原理
•   1.1 薄膜溅射沉积及时间监控
•   1.2 窄带滤光膜系
• 2 工艺技术
•   2.1 膜料选择与单层膜工艺参数
•   2.2 中心波长950 nm窄带滤光膜系设计
•   2.3 制备结果分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张金豹,王明慧,耿浩,史成浡,孙亚威

关键词: 窄带滤光膜,时间监控,拟合,光谱

来源: 陕西理工大学学报(自然科学版) 2019年02期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备,仪器仪表工业

单位: 河南平原光电有限公司精密光学制造部

分类号: TH74;TB383.2

页码: 12-16

总页数: 5

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