全文摘要
本实用新型公开了一种旋转式ITO蚀刻装置，包括底座，底座上设转盘和倒扣的半圆柱状的隔离罩，隔离罩罩住转盘的一半，转盘上沿径向设竖直的隔离板，隔离板完成对隔离罩侧平面的封挡，转盘上在隔离板的两侧各设一个蚀刻装置。通过该装置进行蚀刻，一方面可保证蚀刻过程都是在封闭的隔离罩中进行，产生的烟气不会对外部的工作人员产生人身伤害，另一方面，可同时对两块物料进行蚀刻操作，增大了工作效率。
主设计要求
1.一种旋转式ITO蚀刻装置，其特征在于，包括：底座，其为扁平的圆形座，底座顶面的中心设一个凸柱，底座上还设有一个转盘，转盘套在凸柱上使其可在底座上旋转；隔离罩，其为半圆柱状的透明罩体，下端面和侧平面敞开，下端倒扣在底座上恰好罩住转盘的一半，隔离罩的内径与转盘的直径相同；隔离板，其为沿径向竖直设立在转盘上的板体，隔离板的宽度与转盘的直径相同，高度与转盘顶面到隔离罩内顶部之间的高度相同，通过隔离板将转盘隔分为位于隔离罩内部封闭的部分和位于隔离罩外部敞开的部分；蚀刻装置主体，其有两个，均设在转盘上且分别位于隔离板的两侧，对于其中每个蚀刻装置主体，其均包括设在转盘上用于固定待蚀刻物料的物料台和设在隔离板的侧面上用于对物料台上的物料进行蚀刻的蚀刻机构；烟气吸收装置，其设在隔离罩的顶部用于将隔离罩内的烟气抽出。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201822259149.8
申请日:2018-12-30
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:42(湖北)
授权编号:CN209608970U
授权时间:20191108
主分类号:H05K 3/02
专利分类号:H05K3/02
范畴分类:39D;
申请人:湖北仁齐科技有限公司
第一申请人:湖北仁齐科技有限公司
申请人地址:438000 湖北省黄冈市麻城经济开发区兴隆路
发明人:兰凯锋
第一发明人:兰凯锋
当前权利人:湖北仁齐科技有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计