导读:本文包含了平面镜干涉仪论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:测量,外差干涉仪,差分平面镜干涉仪,光程死区
平面镜干涉仪论文文献综述
钟朝阳,句爱松,乐燕芬,侯文玫[1]（2014）在《一种新型差分平面镜干涉仪》一文中研究指出针对传统差分平面镜干涉仪结构复杂、需要光学部件多从而导致系统调试困难、测量信噪比低等缺点,提出了一种结构简单需要光学部件少的新型差分平面镜干涉仪系统。此干涉仪能够产生对称的空间四光路,对环境因素(湿度、温度及大气压)的变化有很好的抗干扰能力,测量分辨率高。如果附加其他光学元件,可轻易实现对偏摆角、微滚转角、直线度等几何量的测量。静态状态下,其位移漂移小于1nm,而同等条件下传统迈克耳孙干涉仪漂移大于10nm。基于此系统的精密角度测量干涉仪,使用电子细分为2π/516的相位计,可以得到0.024μrad的测量分辨率。(本文来源于《光学学报》期刊2014年11期）
杨平,朱睿,郭隐彪,高增洁[2]（2013）在《基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜轮廓高精度测量技术》一文中研究指出基于叁组激光干涉光路与一台自准直仪的光学扫描检测方法,开发可用于大尺寸平面镜二维轮廓的高精度测量技术。通过联立线性方程式与最小二乘法结合的计算算法,可得到平面镜二维轮廓的测量结果及整个测量过程的不确定度值。利用建模仿真整个测量过程,分析不同采样点数N下不确定度数值的变化趋势。此外,搭建基于高精度叁坐标测量仪平台上的光学检测系统,试验果表明该技术成功实现对100 mm平面镜二维轮廓的测量,并可实现重复性测量精度在±20 nm范围内。通过与Zygo白光干涉系统结果的比较,该检测技术可以实现纳米级别的测量精度。(本文来源于《机械工程学报》期刊2013年17期）
Norman,Bobnoff,田武[3]（1993）在《平面镜干涉测量中的精密对准》一文中研究指出1.前言基于平面镜干涉仪的坐标测量系统广泛地应用于计算及为半导体制造业而设计的平板印刷装置。平面镜干涉仪的优先选用是由于其双功能造成的,它既可以作为直边导向轴,也可以作为测量距离和角度的镜靶。它允许在 x-y 面上密切结合测量图形,并且比仅根据反射镜靶(本文来源于《现代计量测试》期刊1993年03期）
徐德衍[4]（1984）在《用棱镜剪切干涉仪检验大平面镜》一文中研究指出本文以具体实例概述了用棱镜剪切干涉仪检验大平面镜的简单原理、过程及结果。图5,表1,参4。(本文来源于《仪器制造》期刊1984年05期）
平面镜干涉仪论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
基于叁组激光干涉光路与一台自准直仪的光学扫描检测方法,开发可用于大尺寸平面镜二维轮廓的高精度测量技术。通过联立线性方程式与最小二乘法结合的计算算法,可得到平面镜二维轮廓的测量结果及整个测量过程的不确定度值。利用建模仿真整个测量过程,分析不同采样点数N下不确定度数值的变化趋势。此外,搭建基于高精度叁坐标测量仪平台上的光学检测系统,试验果表明该技术成功实现对100 mm平面镜二维轮廓的测量,并可实现重复性测量精度在±20 nm范围内。通过与Zygo白光干涉系统结果的比较,该检测技术可以实现纳米级别的测量精度。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
平面镜干涉仪论文参考文献
[1].钟朝阳,句爱松,乐燕芬,侯文玫.一种新型差分平面镜干涉仪[J].光学学报.2014
[2].杨平,朱睿,郭隐彪,高增洁.基于激光干涉仪与自准直仪的平面镜轮廓高精度测量技术[J].机械工程学报.2013
[3].Norman,Bobnoff,田武.平面镜干涉测量中的精密对准[J].现代计量测试.1993
[4].徐德衍.用棱镜剪切干涉仪检验大平面镜[J].仪器制造.1984