一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置论文和设计-刘洋

全文摘要

本实用新型提供了一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置，包括分别与隔膜泵连接的上安装板和与质谱仪框架连接的下安装板，上安装板和下安装板通过螺栓活动连接且两者之间留有间隔，在上安装板和下安装板之间安装有将两者撑开的弹性件，且所述弹性件的标称负载满足所述隔离泵的重量要求。本实用新型的减震装置在隔离泵工作时，通过中间的弹性件可将隔离泵工作时产生的震动进行缓冲和消除，防止传递至刚性连接的下安装板和质谱仪处，大大减少对质谱仪的影响，降低质谱仪工作时的振动和噪声，通过弹性件可以很好的吸收隔离泵的振动，将振动能量消耗，保证微型质谱仪工作时的性能，增加质谱仪使用寿命。

主设计要求

1.一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置，其特征在于，包括分别与隔膜泵连接的上安装板和与质谱仪框架连接的下安装板，上安装板和下安装板通过螺栓活动连接且两者之间留有间隔，在上安装板和下安装板之间安装有将两者撑开的弹性件，且所述弹性件的标称负载满足所述隔离泵的重量要求。

设计方案

2.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，

所述上安装板为矩形板，所述螺栓有四个且分别连接在所述上安装板的四个边角处。

3.根据权利要求2所述的减震装置，其特征在于，

所述弹性件为螺旋弹簧、叠片弹簧或柔性减震垫。

4.根据权利要求3所述的减震装置，其特征在于，

所述螺旋弹簧套在所述螺栓位于所述上安装板和所述下安装板之间的杆身上，且每个所述螺旋弹簧均摊承受的重量。

5.根据权利要求4所述的减震装置，其特征在于，

在所述螺旋弹簧的两端与所述上安装板和所述下安装板之间分别安装有弹性减震垫。

6.根据权利要求1所述的减震装置，其特征在于，

所述弹性件在标称负载下的频率为所述弹性件的固有频率ω_{0<\/sub>，与所述隔膜泵实际工作频率ω之间的关系满足ω_{0<\/sub>≤ω。}}

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及机械领域，特别是涉及一种能够降低质谱仪上隔膜泵工作震动的减震装置。

背景技术

真空系统是微型质谱仪最基本的系统，其作用是提供足够的真空度来满足质谱仪的功能，隔膜泵是微型质谱仪获得低真空的重要手段。

但现有质谱仪的隔膜泵与质谱仪之间是直接刚性固定，隔膜泵在工作时产生的震动就会直接传递至质谱议处，不仅影响质谱仪工作性能，也会对设备本身的寿命造成影响。

实用新型内容

本实用新型的目的是要提供一种能够降低质谱仪上隔膜泵工作震动的减震装置。

特别地，本实用新型提供了一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置，包括分别与隔膜泵连接的上安装板和与质谱仪框架连接的下安装板，上安装板和下安装板通过螺栓活动连接且两者之间留有间隔，在上安装板和下安装板之间安装有将两者撑开的弹性件，且所述弹性件的标称负载满足所述隔离泵的重量要求。

在本实用新型的一个实施方式中，所述上安装板为矩形板，所述螺栓有四个且分别连接在所述上安装板的四个边角处。

在本实用新型的一个实施方式中，所述弹性件为螺旋弹簧、叠片弹簧或柔性减震垫。

在本实用新型的一个实施方式中，所述螺旋弹簧套在所述螺栓位于所述上安装板和所述下安装板之间的杆身上，且每个所述螺旋弹簧均摊承受的重量。

在本实用新型的一个实施方式中，在所述螺旋弹簧的两端与所述上安装板和所述下安装板之间分别安装有弹性减震垫。

在本实用新型的一个实施方式中，所述弹性件在标称负载下的频率为所述弹性件的固有频率ω_{0<\/sub>，与所述隔膜泵实际工作频率ω之间的关系满足ω_{0<\/sub>≤ω。}}

本实用新型的减震装置在隔离泵工作时，通过中间的弹性件可将隔离泵工作时产生的震动进行缓冲和消除，防止传递至刚性连接的下安装板和质谱仪处，大大减少对质谱仪的影响，降低质谱仪工作时的振动和噪声，通过弹性件可以很好的吸收隔离泵的振动，将振动能量消耗，保证微型质谱仪工作时的性能，增加质谱仪使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型一个实施方式的减震装置结构的主视图；

图2是图1的左视图。

具体实施方式

如图1、2所示，本实用新型一个实施方式公开一种用于微型质谱仪隔膜泵10上的减振装置20，该减振装置20包括作为承载面的上安装板21和下安装板22，其中上安装板21可作为隔膜泵10的安装座，下安装板22则作为与质谱仪连接的转接板，具体的下安装板22可以与质谱仪或固定质谱仪的框架连接，或直接以框架作为下安装板。

而上安装板21和下安装板22之间则通过螺栓23活动连接，且连接后两者之间留有一定的间隙，在上安装板21和下安装板22之间形成的间隙内安装承受预紧力的弹性件24，即弹性件24能够将活动状态下的上安装板21和下安装板22撑开，使两者一直处于受力状态，此外，弹性件24的标称负载需要满足隔离泵10的重量要求，以避免弹性件24受压后形变。

本实施方式的减震装置20在隔离泵10工作时，通过中间的弹性件24可将隔离泵10工作时产生的震动进行缓冲和消除，防止传递至刚性连接的下安装板22和质谱仪处，大大减少对质谱仪的影响，降低质谱仪工作时的振动和噪声，通过弹性件24可以很好的吸收隔离泵10的振动，将振动能量消耗，保证微型质谱仪工作时的性能，增加质谱仪使用寿命。

本实施方式中的弹性件24可以为螺旋弹簧、叠片弹簧或柔性减震垫。同时在上安装板21和下安装板22相邻的一面可以设置相应限位结构来避免弹性件24径向移动，如在上安装板21和下安装板22相对的一面分别设置容纳弹性件24两端的容纳凹槽。

具体的上安装板21可以为矩形板，而螺栓23分别连接在矩形上安装板21的四个边角处，这样的结构可以避免上安装板21失衡或旋转，提高隔离装置20固定后的稳定性。

在弹性件24采用螺旋弹簧时，可将螺旋弹簧套在螺栓23位于上安装板21和下安装板22之间的杆身上，该安装方式可避免螺旋弹簧脱离，同时又不影响螺旋弹簧的弹力发挥，而且每个螺旋弹簧均摊承受的重量。

还可以在螺旋弹簧两端与上安装板21和下安装板22接触面之间分别安装弹性减震垫25，进一步消除隔膜泵10带来的震动影响。

此外，还可以在螺栓的螺帽与上安装板21之间也安装套在杆身上的螺旋弹簧，以进一步提高减震效果。如螺栓的螺帽一端位于下安装板22处，则螺旋弹簧可安装在螺帽与下安装板22之间的杆身上。

本实施方式中，弹性件24在标称负载下的频率作为弹性件24的固有频率ω_{0<\/sub>，其与隔膜泵10实际工作频率ω之间的关系满足ω_{0<\/sub>≤ω。}}

至此，本领域技术人员应认识到，虽然本文已详尽示出和描述了本实用新型的多个示例性实施例，但是，在不脱离本实用新型精神和范围的情况下，仍可根据本实用新型公开的内容直接确定或推导出符合本实用新型原理的许多其他变型或修改。因此，本实用新型的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。

设计图

一种用于微型质谱仪隔膜泵上的减振装置论文和设计

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