一种平板制程用喷胶段自动配液系统论文和设计-蒋新

全文摘要

本实用新型涉及一种平板制程用喷胶段自动配液系统，包括助剂配送装置、硅烷配送装置、IPA原液配送装置、水配送装置、缓冲罐和标准储存容器，助剂配送装置、硅烷配送装置、原液配送装置和水配送装置分别通过管路可控计量地接入缓冲罐的进液口，所述缓冲罐的出液口再与标准储存容器相连，其中，所述缓冲罐的底部通入氮气鼓泡装置的送气头，用于吹动搅拌缓冲罐内的药液。本实用新型能够使得药液配给精度高，药业混合均匀，且整个配给过程中是封闭化自动配液，无需工人进行介入操作，能够有效降低人身伤害。

主设计要求

1.一种平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，包括助剂配送装置、硅烷配送装置、IPA原液配送装置、水配送装置、缓冲罐和标准储存容器，助剂配送装置、硅烷配送装置、原液配送装置和水配送装置分别通过管路可控计量地接入缓冲罐的进液口，所述缓冲罐的出液口再与标准储存容器相连，其中，所述缓冲罐的底部通入氮气鼓泡装置的送气头，用于吹动搅拌缓冲罐内的药液。

设计方案

2.根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，助剂配送装置包括电动丝杆、助剂存放管和柱塞，柱塞设置在助剂存放管中并与助剂存放管滑动配合，所述电动丝杆与柱塞相平行地设置，柱塞通过连接杆与电动丝杆固定连接，电动丝杆带动柱塞运动推送助剂至所述缓冲罐。

3.根据权利要求2所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，助剂存放管的顶端设置有可开合的助剂添加口，在助剂存放管上设置有进气孔，所述进气孔与外部的氮气源通过进气管进行连接。

4.根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，硅烷配送装置包括密封罐，密封罐内设置有存放硅烷原液的硅烷储液瓶，硅烷储液瓶中设置有与缓冲罐相连通的出液管，所述密封罐上开设有用于注入氮气的加压气口，在所述出液管上设置有用于计量的计量泵。

5. 根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，IPA原液配送装置包括IPA原液桶、IPA原液暂存罐、第一液位传感器和输送管，输送管联通IPA原液桶和暂存罐，在泵浦作用抽取IPA原液送至IPA原液暂存罐，用于监测原液存量的第一液位传感器竖直设置在IPA原液暂存罐中，所述IPA原液暂存罐再与缓冲罐相联通，用于进行IPA原液的可控灌注。

6.根据权利要求1所述的平板制程用喷胶段自动配液系统，其特征在于，水配送装置包括水暂存罐和第二液位传感器，用于监测水存量的第二液位传感器竖直设置水暂存罐中，所述水暂存罐再与缓冲罐相联通，用于进行水的可控灌注。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及一种平板制程用喷胶段自动配液系统。

背景技术

在平板制程工艺中喷胶蚀刻是必不可少的一个步骤，其中所使用的药液需要按照特定比例进行混合制成，但是，现有的药液配比混合多是通过人工逐个计量后再混合的，如此带来了两个缺陷：一是配比是人为操控的，可能会存在计量误差，导致药液质量差、蚀刻不理想，造成生产出的平板质量也堪忧；二是，由于是要人工进行计量，具有人体危害性的IPA原液、助剂等会不可避免地挥发或者溢散，给工人带来人身安全伤害。

因此，需要一种能够自动化实现药液配给的系统以克服上述缺陷。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种平板制程用喷胶段自动配液系统，能够使得药液配给精度高，药业混合均匀，且整个配给过程中是封闭化自动配液，无需工人进行介入操作，能够有效降低人身伤害。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种平板制程用喷胶段自动配液系统，包括助剂配送装置、硅烷配送装置、IPA原液配送装置、水配送装置、缓冲罐和标准储存容器，助剂配送装置、硅烷配送装置、原液配送装置和水配送装置分别通过管路可控计量地接入缓冲罐的进液口，所述缓冲罐的出液口再与标准储存容器相连，其中，所述缓冲罐的底部通入氮气鼓泡装置的送气头，用于吹动搅拌缓冲罐内的药液。

对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。

进一步地，助剂配送装置包括电动丝杆、助剂存放管和柱塞，柱塞设置在助剂存放管中并与助剂存放管滑动配合，所述电动丝杆与柱塞相平行地设置，柱塞通过连接杆与电动丝杆固定连接，电动丝杆带动柱塞运动推送助剂至所述缓冲罐。

更进一步地，助剂存放管的顶端设置有可开合的助剂添加口，在助剂存放管上设置有进气孔，所述进气孔与外部的氮气源通过进气管进行连接。

进一步地，硅烷配送装置包括密封罐，密封罐内设置有存放硅烷原液的硅烷储液瓶，硅烷储液瓶中设置有与缓冲罐相连通的出液管，所述密封罐上开设有用于注入氮气的加压气口，在所述出液管上设置有用于计量的计量泵。

进一步地，IPA原液配送装置包括IPA原液桶、IPA原液暂存罐、第一液位传感器和输送管，输送管联通IPA原液桶和暂存罐，在泵浦作用抽取IPA原液送至IPA原液暂存罐，用于监测原液存量的第一液位传感器竖直设置在IPA原液暂存罐中，所述IPA原液暂存罐再与缓冲罐相联通，用于进行IPA原液的可控灌注。

进一步地，水配送装置包括水暂存罐和第二液位传感器，用于监测水存量的第二液位传感器竖直设置水暂存罐中，所述水暂存罐再与缓冲罐相联通，用于进行水的可控灌注。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的自动配液系统，能够完成平板制程过程中喷胶蚀刻用的药液自动配给，这一系统外置于平板制程设备外，维护方便，且无需人工操作，能够有效降低安全隐患，同时能够实时监控到药液的注入情况，确保配给药液的精度，有助于提高产品质量。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的自动配液系统的工作原理示意图。

其中，附图标记说明如下：

1、助剂配送装置，11、电动丝杆，12、助剂存放管，13、柱塞，14、连接杆，15、助剂添加口；

2、硅烷配送装置，21、密封罐，22、硅烷储液瓶，23、出液管，24、计量泵；

3、IPA原液配送装置，31、IPA原液桶，32、IPA原液暂存罐，33、第一液位传感器，34、输送管；

4、水配送装置，41、水暂存罐，42、第二液位传感器；

5、缓冲罐；

6、标准储存容器。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实施例描述了一种平板制程用喷胶段自动配液系统，用于对喷胶蚀刻用的药液进行自动配给，这一药液主要是由助剂、硅烷、IPA（间苯二甲酸）以及水构成。相对应地，本实施例的自动配液系统中相对应地设置有助剂配送装置1、硅烷配送装置2、IPA原液配送装置3和水配送装置4，另外还可设置暂存几种药液并且进行混合用的缓冲罐5和存储最终混合后喷胶用药液的标准储存容器6。助剂配送装置1、硅烷配送装置2、原液配送装置3和水配送装置4分别通过管路可控计量地接入缓冲罐5的进液口，所述缓冲罐5的出液口再与标准储存容器6相连，其中，所述缓冲罐5的底部通入氮气鼓泡装置的送气头，用于吹动搅拌缓冲罐5内的药液。

在本实施例中，涉及到推送药液或者鼓泡混合等操作的气体均采用化学性质稳定的氮气进行，防止对药液造成污染。另外，为了保证通入氮气的压力恒定，在氮气进口处还可增设稳压调节阀等，在此不再赘述。

自动配液系统的原理框图如图1所示，具体说来，助剂配送装置1主要包括电动丝杆11、助剂存放管12和柱塞13，柱塞13设置在助剂存放管12中并与助剂存放管12滑动配合，所述电动丝杆11与柱塞13相平行地设置，柱塞13通过连接杆14与电动丝杆11固定连接，电动丝杆11带动柱塞13运动推送助剂至所述缓冲罐5。另外，在助剂存放管12的顶端设置有可开合的助剂添加口15，在助剂存放管12上设置有进气孔，所述进气孔与外部的氮气源通过进气管进行连接。

硅烷配送装置2包括密封罐21，密封罐21内设置有存放硅烷原液的硅烷储液瓶22，硅烷储液瓶22中设置有与缓冲罐5相连通的出液管23，所述密封罐21上开设有用于注入氮气的加压气口，在所述出液管23上设置有用于计量的计量泵24。

IPA原液配送装置3包括IPA原液桶31、IPA原液暂存罐32、第一液位传感器33和输送管34，输送管34联通IPA原液桶31和暂存罐，在泵浦作用抽取IPA原液送至IPA原液暂存罐32，用于监测原液存量的第一液位传感器33竖直设置在IPA原液暂存罐32中，所述IPA原液暂存罐32再与缓冲罐5相联通，用于进行IPA原液的可控灌注。

水配送装置4包括水暂存罐41和第二液位传感器42，用于监测水存量的第二液位传感器42竖直设置水暂存罐41中，所述水暂存罐41再与缓冲罐5相联通，用于进行水的可控灌注。

不难发现，每个配送装置均设置对液量进行控制或者测量的组件，使得药液配给精度得以保证，从而保证最终混合好的药液质量良好且恒定。

除此之外，这一自动配液系统外置于平板制程设备外，可单独进行壳体封装，在配液完成后直接取出标准储存容器6即可转场使用，维护方便，且在配液过程中无需人工过多接入操作，能够有效降低安全隐患。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

设计图

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主设计要求

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