导读:本文包含了氟化类金刚石论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:氟化,薄膜,磁控溅射,金刚石,附着力,射频,摩擦。
氟化类金刚石论文文献综述
[1]（2015）在《中科院兰州化物所高真空环境下 氟化类金刚石碳基薄膜失效本质和延寿取得新进展》一文中研究指出中国科学院兰州化学物理研究所王立平研究员和鲁志斌副研究员带领的研究小组近期在高真空环境氟化非晶碳基薄膜的失效本质和延寿方面取得重要突破。目前,我国空间机械装备对运动机构提出了比以往更加苛刻的高精度、高可靠、长寿命等方面的性能要求。由于其在高真空环境下优异的摩擦学性能,氟化非晶碳基薄膜是高真空环境下理想的固体润滑薄膜材料。但是氟化非晶碳基薄膜(本文来源于《表面工程与再制造》期刊2015年05期）
佘清,江美福,钱侬,潘越[2]（2014）在《SiC过渡层制备温度对碳化硅/氟化类金刚石复合薄膜血液相容性的影响》一文中研究指出以316L不锈钢为基底,SiC晶体为靶材,Ar为源气体,采用磁控溅射法在不同温度下制备出系列SiC过渡层.然后以高纯石墨作靶,Ar和CHF_3为源气体,在同一工艺条件下再续镀一层氟化类金刚石(F-DLC)薄膜,形成SiC/F-DLC复合薄膜.研究表明,相比于F-DLC薄膜,复合薄膜的附着力显着增加,血液相容性明显改善.通过样品的拉曼和红外光谱分析了不同温度下制备的SiC过渡层以及复合薄膜结构的演变.结果表明,控制SiC过渡层制备温度可以有效调制过渡层中C=C键的比例以及—C—C—不饱和键的密度,复合薄膜中保留较高比例的芳香环式结构以及合适的F/C比是薄膜的血液相容性得以进一步改善的原因,SiC过渡层制备温度控制在500℃左右效果尤为明显.SiC薄膜和F-DLC两种薄膜的界面处形成一定比例的Si—C键和C=C键是导致复合薄膜附着力显着上升的直接原因.适当条件下在316L不锈钢和F-DLC薄膜之间增加SiC过渡层对于增强薄膜的附着力、改善其血液相容性是可行、有效的.(本文来源于《物理学报》期刊2014年18期）
潘越,赵强,江舸,周杨,江美福[3]（2013）在《SiC过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响》一文中研究指出采用射频反应磁控溅射法在316L不锈钢基片上分别沉积了两种薄膜:一种是氟化类金刚石薄膜(F-DLC),另一种是先镀上一定厚度的SiC过渡层再沉积F-DLC.着重研究了薄膜的附着力随过渡层制备条件的变化规律.结果显示,增加SiC过渡层后薄膜的附着力明显增加,且附着力随SiC过渡层的制备条件有所变化,在射频输入功率为200W,沉积时间5min制备出的SiC过渡层上再沉积F-DLC时,附着力可达8.7N,远高于未加过渡层时F-DLC膜的附着力(4N).通过研究SiC的沉积速率曲线、表面形貌和红外光谱,探讨了SiC过渡层及其制备条件影响薄膜附着力的相关机制.(本文来源于《物理学报》期刊2013年01期）
魏利[4]（2012）在《氟含量对氟化类金刚石薄膜的摩擦学性能影响》一文中研究指出本文以CH4和CF4为气源,通过等离子体化学气相沉积在Si(100)上制备了氟掺杂类金刚石薄膜,采用透射电镜、XPS、拉曼光谱研究了薄膜的微观结构,发现CF4的流量对薄膜的结构产生较大的影响,当CF4流量达到20 sccm时在非晶类金刚石薄膜中有弯曲石墨带的嵌入。并通过纳米压痕仪和摩擦磨损试验机分别对薄膜的机械性能以及摩擦学性能进行了分析。结果显示:随CF4流量的增加薄膜的硬度出现先增大后减小的趋势,薄膜的摩擦系数随CF4流量的增加而降低,当CF4流量达到20 sccm时,在30%湿度下薄膜显示了较低的摩擦系数(~0.01)及较低的磨损率(~10-18m3/Nm)。薄膜的优异的性能可归因于薄膜中弯曲石墨带的形成,特殊的弯曲结构赋予薄膜优异的机械性能,石墨的片层结构减小了摩擦过程中的剪切力,从而降低了薄膜的摩擦系(本文来源于《第九届全国表面工程大会暨第四届全国青年表面工程论坛论文集》期刊2012-10-28）
杨亦赏,江舸,周杨,江美福[5]（2012）在《Si过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响》一文中研究指出研究了不锈钢基片上Si过渡层对F-DLC薄膜附着特性的影响.采用反应磁控溅射法,以Ar为源气体,在316L不锈钢基片制备了Si薄层,并在Si薄层上沉积了F-DLC薄膜,通过划痕实验测试了各个样品的膜/基结合强度.结果表明,引入Si过渡层可以明显增强氟化类金刚石薄膜和不锈钢基片之间的结合强度,在200 W下制备的Si过渡层上,F-DLC薄膜的结合强度最佳.根据薄膜表面形貌的扫描电镜观察、晶粒尺寸的分析以及薄膜键结构的红外光谱、拉曼光谱分析,F-DLC薄膜的结合强度与Si—C键等基团的形成、含量以及Si的键入方式有关.(本文来源于《苏州大学学报(自然科学版)》期刊2012年04期）
杨亦赏[6]（2012）在《氟化类金刚石薄膜附着性能的研究》一文中研究指出本文研究了F-DLC薄膜的附着性能。实验制备了两种F-DLC薄膜样品，第一种采用反应磁控溅射法，以氩气（Ar）和叁氟甲烷（CHF3）为源气体并利用316L不锈钢为基片，制备了F-DLC薄膜；第二种以Ar为源气体，以316L不锈钢为基片，在不同功率条件下制备了Si过渡层，并在该Si薄层上沉积了F-DLC薄膜。通过划痕实验测试了各个样品的膜/基结合强度。结果表明，引入Si过渡层可以明显增强氟化类金刚石薄膜和不锈钢基片之间的附着力，并且附着力和沉积Si过渡层的射频输入功率有关，该功率为200W时，F-DLC薄膜和不锈钢薄膜之间的结合强度最佳。通过扫描电镜对薄膜表面形貌的观察、晶粒尺寸的分析以及薄膜键结构的红外光谱、拉曼光谱分析，发现F-DLC膜/基结合强度还与样品中Si-C，Si-C2，Si-H键等键的相对强度以及Si的键入方式直接相关。研究同时发现Si过渡层的引入并未改变薄膜的DLC主体结构，但会导致薄膜中C-F键、CHFx键和C=C键的相对含量、以及sp3键和sp2键的相对含量发生一定的变化。(本文来源于《苏州大学》期刊2012-04-01）
戴永丰,江美福,杨亦赏,周杨[7]（2011）在《源气体流量比对氟化类金刚石薄膜蛋白吸附能力的影响》一文中研究指出用316L不锈钢(SU316L)作基片,以高纯石墨作靶、CHF3和Ar作源气体,采用反应磁控溅射法在不同流量比R(CHF3/Ar)下制备了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.利用双蒸水液滴法、BCA(二喹啉甲酸)法和傅里叶红外光谱(FTIR)探讨了影响薄膜蛋白吸附能力的因素.结果表明,镀有F-DLC薄膜的SU316L表面的血小板黏附量明显减少,血小板的变形程度显着减轻,相应的白蛋白与纤维蛋白原的吸附比普遍高于未镀膜的SU316L表面的相应值,说明镀上F-DLC薄膜可以改善样品的血液相容性.流量比为2:1左右时制备出的F-DLC薄膜,其白蛋白与纤维蛋白原的吸附比值达到最大,相应的血液相容性最佳.对薄膜的接触角和表面能以及FTIR光谱分析研究表明,SU316L表面的F-DLC薄膜的白蛋白与纤维蛋白原的吸附比及血液相容性与薄膜的中的—CFx键的含量(F/C比)和表面能(疏水性)直接相关,控制源气体流量比可以实现对薄膜的血液相容性的调制.(本文来源于《物理学报》期刊2011年11期）
戴永丰[8]（2011）在《氟化类金刚石薄膜血液相容性的研究》一文中研究指出用316L不锈钢(SU316L)作基片,以高纯石墨作靶、CHF3和Ar作源气体,采用反应磁控溅射法在不同射频功率、流量比R (CHF3/Ar)下制备了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜。利用双蒸水液滴法、BCA(二喹啉甲酸)法和傅里叶红外光谱(FTIR)探讨了影响薄膜血液相容性的因素。结果表明,镀有F-DLC薄膜的SU316L表面的血小板黏附量明显减少,血小板的变形程度显着减轻,相应的白蛋白与纤维蛋白原的吸附比普遍高于未镀膜的SU316L表面的相应值,说明镀上F-DLC薄膜可以改善样品的血液相容性。流量比为2:1左右,功率为180W时制备出的F-DLC薄膜,其白蛋白与纤维蛋白原的吸附比值达到最大,相应的血液相容性最佳。对薄膜的接触角和表面能以及FTIR光谱分析研究表明,SU316L表面的F-DLC薄膜的白蛋白与纤维蛋白原的吸附比及血液相容性与薄膜的中的-CFx键的含量(F/C比)和表面能(疏水性)直接相关,控制源气体流量比和射频功率可以实现对薄膜的血液相容性的调制。(本文来源于《苏州大学》期刊2011-04-01）
王培君,江美福,杜记龙,戴永丰[9]（2010）在《射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究》一文中研究指出以高纯石墨做靶,CHF3和Ar气为源气体,采用射频反应磁控溅射法在不同流量比条件下制备了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜.利用原子力显微镜、纳米压痕仪、拉曼光谱和红外光谱、摩擦磨损测试仪对薄膜的表面形貌、硬度、键结构以及摩擦性能做了具体分析.表面形貌测试结果表明,制备的薄膜整体均匀致密,表现出了良好的减摩性能.当CHF3与Ar气流量比r为1:6时,所得薄膜的摩擦系数减小至0.42,而纳米压痕结果显示,此时薄膜的硬度也最高.拉曼和红外光谱显示,随着r的增加,薄膜中的F浓度呈上升趋势,薄膜中的芳香环比例减小.研究表明,F原子的键入方式是影响F-DLC薄膜摩擦系数的一个重要因素,CF2反对称伸缩振动强度的减弱和CC中适量碳氢氟键的形成都能导致薄膜具有相对较低的摩擦系数.(本文来源于《物理学报》期刊2010年12期）
肖剑荣,王德安,梁业广[10]（2010）在《氟化类金刚石薄膜介电性能研究》一文中研究指出采用射频等离子体增强化学气相沉积法制备了氟化类金刚石薄膜。利用俄歇电子能谱、绝缘电阻测试仪、耐压测试仪和QS电桥对样品组分和介电性能进行了表征、分析。结果表明:薄膜的介电常数εr在2.07~2.65之间,绝缘电阻在245 MΩ左右,击穿场强在2.1 MV/cm以上,它们与膜内F的含量密切相关。(本文来源于《真空》期刊2010年05期）
氟化类金刚石论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
以316L不锈钢为基底,SiC晶体为靶材,Ar为源气体,采用磁控溅射法在不同温度下制备出系列SiC过渡层.然后以高纯石墨作靶,Ar和CHF_3为源气体,在同一工艺条件下再续镀一层氟化类金刚石(F-DLC)薄膜,形成SiC/F-DLC复合薄膜.研究表明,相比于F-DLC薄膜,复合薄膜的附着力显着增加,血液相容性明显改善.通过样品的拉曼和红外光谱分析了不同温度下制备的SiC过渡层以及复合薄膜结构的演变.结果表明,控制SiC过渡层制备温度可以有效调制过渡层中C=C键的比例以及—C—C—不饱和键的密度,复合薄膜中保留较高比例的芳香环式结构以及合适的F/C比是薄膜的血液相容性得以进一步改善的原因,SiC过渡层制备温度控制在500℃左右效果尤为明显.SiC薄膜和F-DLC两种薄膜的界面处形成一定比例的Si—C键和C=C键是导致复合薄膜附着力显着上升的直接原因.适当条件下在316L不锈钢和F-DLC薄膜之间增加SiC过渡层对于增强薄膜的附着力、改善其血液相容性是可行、有效的.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
氟化类金刚石论文参考文献
[1]..中科院兰州化物所高真空环境下氟化类金刚石碳基薄膜失效本质和延寿取得新进展[J].表面工程与再制造.2015
[2].佘清,江美福,钱侬,潘越.SiC过渡层制备温度对碳化硅/氟化类金刚石复合薄膜血液相容性的影响[J].物理学报.2014
[3].潘越,赵强,江舸,周杨,江美福.SiC过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响[J].物理学报.2013
[4].魏利.氟含量对氟化类金刚石薄膜的摩擦学性能影响[C].第九届全国表面工程大会暨第四届全国青年表面工程论坛论文集.2012
[5].杨亦赏,江舸,周杨,江美福.Si过渡层对氟化类金刚石薄膜附着特性的影响[J].苏州大学学报(自然科学版).2012
[6].杨亦赏.氟化类金刚石薄膜附着性能的研究[D].苏州大学.2012
[7].戴永丰,江美福,杨亦赏,周杨.源气体流量比对氟化类金刚石薄膜蛋白吸附能力的影响[J].物理学报.2011
[8].戴永丰.氟化类金刚石薄膜血液相容性的研究[D].苏州大学.2011
[9].王培君,江美福,杜记龙,戴永丰.射频反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜摩擦特性研究[J].物理学报.2010
[10].肖剑荣,王德安,梁业广.氟化类金刚石薄膜介电性能研究[J].真空.2010
论文知识图
