导读:本文包含了台阶测量论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:测量,台阶,微机,测量仪,模糊,时域,微细。
台阶测量论文文献综述
李慧鹏,赵庆松,李豪伟,魏晓马,胡明哲[1]（2019）在《白光干涉法微观台阶测量》一文中研究指出在微纳器件测试与计量标定领域,很多问题都涉及到对微观台阶的高精度测量。白光干涉垂直扫描法具有非接触、精度高、速度快等优点,基于此搭建了白光干涉微观检测系统。利用相移干涉理论,解算出被测微观台阶的空间相对高度信息。通过中值滤波加间隔差分取极值的方法,有效识别出台阶的左右两个边缘,减小了脉冲等噪声带来的干扰。以C#语言编写了WPF形式的检测软件系统,并对标准的微观台阶进行了多次实验。实验结果表明,该方案测量的平均偏差稳定在2nm以内,重复性精度优于0.5%。(本文来源于《半导体光电》期刊2019年02期）
韩志国,李锁印,赵革艳,赵新宇[2]（2015）在《接触式台阶测量仪常见故障的调修》一文中研究指出介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了叁种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴。(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2015年11期）
李强,吴宇列,李圣怡[3]（2005）在《经济型微机电台阶测量仪的研究》一文中研究指出针对微机电系统(MEMS)中微小器件的表面刻蚀沟槽及台阶的测量,研制采用步进电机运动平台和微力电感测头,用变截面片簧作回转运动的测头支撑机构,对运动平台存在的偏心作用力和振动噪声问题做了分析和研究,提出了有效的解决方案。(本文来源于《航空精密制造技术》期刊2005年03期）
于瀛洁,孙流星[4]（2005）在《基于波长移相干涉的台阶测量技术》一文中研究指出概括了波长移相干涉技术的特点,将基于波长移相干涉技术的台阶测量算法分成两类:时域算法和频域算法.时域算法包括开瑞(Cárre)算法和多波长组合算法等,频域算法包括基于时域傅立叶变换找基频算法、塔可达(Takeda)算法等.文中分析了这些算法在实际应用中需要考虑的技术问题,针对时频域算法特点,提出了基于时域傅立叶变换的差分算法.实验结果与分析证明这一算法的正确性和可行性.(本文来源于《测试技术学报》期刊2005年02期）
李强[5]（2004）在《微机电台阶测量仪系统设计与研究》一文中研究指出近年来随着微机电系统(MEMS)的推广应用,MEMS技术已成为二十一世纪的关键技术之一。硅由于其自身良好的材料性能在MEMS中受到了广泛的应用。MEMS加工工艺中基于硅片的体微加工技术、表面微加工技术等加工工艺的改进和完善,使得一些微小元件中的微细台阶结构越来越微小,具有更大的深宽比。而专用于测量这些微小器件关键结构尺寸的检测仪器不是很多,很多检测仪器都是测量微型元件的整个3D形貌,虽然它们的测试功能多,精度高,但普遍价格昂贵,难以普及,不适于当前国内微型器件的测量要求。基于此我们研制成功了研制了一种简单实用的台阶测量系统,它能准确,完整的测出这些微小器件的微细台阶的具体尺寸,满足了当前微细台阶的测量要求。 本文主要做了以下几个方面得工作: 1.设计了一种微力电感测头,该测头采用变截面片簧作回转运动的测头支撑机构,能实现测量力小,无摩擦,没有磨损。 2.用ansys对电感测头的关键结构做了仿真设计,验证了理论设计的正确性。 3.对电感测头做了静态性能测试实验,实验表明测头稳定性较好,线形度约为0.18%。 4.台阶仪由于采用步进电机运动平台存在偏心作用力和振动噪声问题,从软、硬件两方面采取措施有效抑制和减小了它们对测量结果的影响。 对台阶仪进行标定后,最后用标准样块和加工后的硅片对台阶仪系统进行实际测试,结果表明该仪器具有测量力小,磨损小,分辨率高和较好的测量精度的特点,能满足微机电台阶测量的需要。(本文来源于《国防科学技术大学》期刊2004-11-01）
白立芬,李庆祥,薛实福,黄成伟[6]（2001）在《微细台阶测量技术的发展现状》一文中研究指出微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点 ,并得出了结论。(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2001年02期）
白立芬,李庆祥,薛实福,王云庆[7]（2000）在《接触式台阶测量仪弹性支承机构的仿真设计》一文中研究指出为合理设计接触式台阶测量仪 ,建立了它的简化数学模型 ,经理论计算 ,结果与理论值有较大误差。通过有限元分析软件、采用 8节点 6面体单元计算模型对机构进行数字仿真和分析。触针允许最大测量力为 8.2 6 7N,测量力变化率为 33.8N /m ,片簧回转中心偏移量约为 1μm ,可满足高精度接触式台阶测量仪的设计要求(本文来源于《清华大学学报(自然科学版)》期刊2000年08期）
王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英[8]（1998）在《LSI 薄膜台阶测量仪的研制》一文中研究指出本文介绍了一台实用化的用于ＬＳＩ薄膜台阶在线检测的台阶测量仪，它采用精密机械——ＬＶＤＴ——信号处理——计算机控制的方案。使用方便，实现了台阶的自动测量。实验表明：仪器重复测量精度可达±０．０１４７μｍ，很好地满足了ＬＳＩ生产线上的要求。(本文来源于《仪器仪表学报》期刊1998年03期）
王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英[9]（1996）在《智能化的微细台阶测量系统》一文中研究指出智能化的微细台阶测量系统王云庆，李庆祥，薛实福，周兆英（清华大学）０引言在半导体生产工艺中，对各种微细台阶进行在线检测是保证产品质量、提高生产效率的重要手段。机械触针式台阶测量仪是台阶测量的重要仪器。本文介绍了清华大学精密仪器与机械学系研制的高精度、...(本文来源于《仪器仪表学报》期刊1996年S1期）
王云庆,李庆祥,周兆英[10]（1996）在《微细台阶测量中工作台的模糊控制》一文中研究指出在微细台阶的自动测量中，采用模糊控制的原理，使工作台运行达到快速、准确、平稳。(本文来源于《测控技术》期刊1996年01期）
台阶测量论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
介绍了接触式台阶测量仪的基本测量原理,针对该仪器使用过程中常见的探针扫描位置问题、探针针尖沾污问题和测力问题等软故障的现象进行了描述,对故障产生的原因进行了分析,最后给出了叁种故障的调修方法,该方法在我单位台阶测量仪上进行了应用,效果良好,希望能为该类仪器的操作人员和仪器维修人员提供借鉴。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
台阶测量论文参考文献
[1].李慧鹏,赵庆松,李豪伟,魏晓马,胡明哲.白光干涉法微观台阶测量[J].半导体光电.2019
[2].韩志国,李锁印,赵革艳,赵新宇.接触式台阶测量仪常见故障的调修[J].电子工业专用设备.2015
[3].李强,吴宇列,李圣怡.经济型微机电台阶测量仪的研究[J].航空精密制造技术.2005
[4].于瀛洁,孙流星.基于波长移相干涉的台阶测量技术[J].测试技术学报.2005
[5].李强.微机电台阶测量仪系统设计与研究[D].国防科学技术大学.2004
[6].白立芬,李庆祥,薛实福,黄成伟.微细台阶测量技术的发展现状[J].电子工业专用设备.2001
[7].白立芬,李庆祥,薛实福,王云庆.接触式台阶测量仪弹性支承机构的仿真设计[J].清华大学学报(自然科学版).2000
[8].王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英.LSI薄膜台阶测量仪的研制[J].仪器仪表学报.1998
[9].王云庆,李庆祥,薛实福,周兆英.智能化的微细台阶测量系统[J].仪器仪表学报.1996
[10].王云庆,李庆祥,周兆英.微细台阶测量中工作台的模糊控制[J].测控技术.1996
论文知识图
