对称非球面镜的对比法独立在位测量和补偿磨削

论文摘要

为提高大口径非球面镜磨削阶段的在位测量和补偿磨削精度,提出了具有独立在位测量框架的补偿磨削系统,对该系统的测量原理、测量框架和补偿方法进行了研究。首先介绍基于直线运动轴和长度计组成的测量框架以及对比法在位测量原理。以此测量原理为基础,介绍了具有独立在位测量框架的磨削系统,并提出了基于砂轮磨削路径的测量基准路径生成方法;采用180 mm口径K9镜片进行了在位测量,并与Taylor Hobson PGI1250进行了交叉对比测量试验,验证了所构建在位测量框架的可靠性。采用样条拟合和共轭法来生成补偿路径。通过300 mm口径熔石英材料对称非球面镜的磨削试验,进行了在位测量和补偿磨削的验证。通过补偿磨削,将面形精度由35μm提高至4μm;与Taylor Hobson PGI1250的测量结果进行了交叉对比,试验结果表明所提出的独立在位测量框架测量结果可靠,补偿磨削效果稳定可靠。

论文目录

• 1 对比法在位测量原理
• 2 对比法在位测量框架
• 3 对比测量路径生成
• 4 测量对比试验
• 5 补偿程序生成
• 6 在位测量及补偿磨削试验
• 7 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李彬,席建普,任东旭,赵则祥,赵惠英

关键词: 独立测量框架,在位测量,补偿磨削,非球面镜

来源: 制造技术与机床 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 中原工学院机电学院,西安交通大学机械工程学院

基金: 国家青年科学基金项目(51705546),河南省高等学校重点科研项目(16A460030,18B460024)

分类号: TG580.6

DOI: 10.19287/j.cnki.1005-2402.2019.02.028

页码: 129-134

总页数: 6

文件大小: 1282K

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