导读:本文包含了衬底加热论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:柔性衬底,金属图形化,柔性加热平台,VOCs气体传感器
衬底加热论文文献综述
候湘瑜[1]（2018）在《基于柔性PI衬底的集成有加热平台的VOCs气体传感器研究》一文中研究指出随着便携式和可穿戴式电子产品需求的不断增长,学术界和产业界对柔性电子产品的兴趣日益增加。气体传感器因其在环境监测、医疗诊断、食品工业、公共安全和农业等一系列日常生活和工业中的重要作用而受到广泛关注。开发工艺简单、低成本、轻便可弯曲,以及易于集成的柔性气体传感器,实现环境中有害气体的实时有效监测,变得日益迫切。然而对于柔性可穿戴气体传感器而言,仍面临着很多亟待破解的问题:柔性衬底上稳定性、可靠性高的金属图形化的实现;器件弯曲过程中的稳定性;气体传感器高的工作温度,难于集成为可穿戴器件;气体传感器选择性差等。本文根据柔性气体传感器的需求,选用PI作为衬底,结合SMIE和喷墨打印技术,实现了加热器—传感器集成结构的一次性制备,并提出了加热器在原位沉积敏感材料以及VOCs气体高温检测方面的应用。基于层层自组装技术,研究低成本、可批量生产、低功耗、室温下高性能的适用于可穿戴的气体传感器。本文主要研究工作如下:第一,分别利用喷墨打印技术和干膜光刻工艺,结合表面改性和离子交换技术(SMIE),实现了PI衬底双面金属图形化。在PI的双面分别制备了带有加热电阻和叉指电极的集成结构。并对制备的Ag金属薄膜进行了机械、电学性能测试。结果表明,制备的Ag薄膜具有一定的可靠性和稳定性,适用于柔性、可穿戴应用场合。整个工艺过程在低温(<150?C)、溶液中实现,可满足柔性器件低成本、卷对卷等工艺的需要。第二,研究了银电阻的加热行为。设计制备的不同形状的Ag薄膜加热电阻,进行了电学、热学性能测试。结果表明,电阻条电阻大小,可以通过控制反应时间、改变图形等加以调整。最后选择了蛇形电阻。通过调节外加直流电压,可实现加热器25-280?C的温度控制。设计了PI-Ag-PI叁明治结构,解决了加热器工作过程易烧断的问题,提高了加热电阻可靠性。提出了柔性加热平台的概念,设计了基于STM32单片机的PWM控制柔性加热片的温度控制系统,实现了控温精度在0.5?C左右、控温范围在25-150?C的柔性加热器。第叁,拓展集成加热器功能,实现了ZnO敏感材料在叉指电极上的原位沉积。在此基础上,制备了基于PI的集成有加热器的ZnO传感器。分别测试了其对乙醇、丙酮和异丙醇叁种气体的响应。测试结果表明,加热器的引入,一方面减少了测试过程中湿度变化对传感器的影响,另一方面有利于提高传感器的灵敏度,缩短响应和恢复时间,并促进气体的解吸,减少传感器初始值的漂移。第四,为了进一步提高传感器选择性,在柔性PI衬底上原位沉积了ZnO-SnO_2纳米复合材料,并分别测试了不同温度下其对乙醇、丙酮和异丙醇叁种气体的响应。通过调节加热器的温度,控制传感器的工作温度,实现了对乙醇气体的选择性检测。第五,结合SMIE技术和干膜光刻工艺在柔性PI衬底上制备了稳定性更好的镍电极,同时通过层层自组装技术,制备了TiO_2修饰的氧化石墨烯基气体传感器,该传感器在室温下实现了高灵敏度。本论文所探讨的相关技术,对于未来可穿戴柔性气体传感器的研究具有重要的参考价值。(本文来源于《华东师范大学》期刊2018-05-08）
张俊芝,代福,范东华,郑春来[2]（2016）在《预制层衬底加热对Cu_2ZnSnS_4薄膜性能的影响》一文中研究指出本文采用二步法制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,首先通过真空热蒸发制备CuZnSn(CZT)预制层,其衬底加热温度分别为20℃、50℃、75℃和100℃,然后对所制备的CZT预制层在400℃下硫化60 min,从而制备出CZTS薄膜。利用XRD、Raman、SEM、反射谱和透射谱对所制备的CZTS薄膜进行了表征,实验结果表明,预制层衬底加热温度对CZTS薄膜结构与光学特性有很大影响,在衬底加热50℃时制备预制层硫化后所得CZTS薄膜具有高的结晶度、致密均匀的薄膜表面和最佳1.5 e V光学带隙。此外,与衬底未加热制备预制层在500℃和90 min最佳硫化条件下所制备的高纯CZTS薄膜相比,在50℃预制层衬底加热条件下所制备CZTS薄膜具有更好地结晶质量、更低的硫化温度和更短的硫化时间,这种现象表明衬底加热制备金属预制层利于更高品质CZTS薄膜的制备,可有效的降低硫化温度和缩短硫化时间,当前的研究结果为在低温下实现高质量CZTS薄膜的制备提供了一种有效的途径。(本文来源于《人工晶体学报》期刊2016年04期）
徐骁雯[3]（2016）在《基于柔性PI衬底的加热型传感器/阵列相关技术研究》一文中研究指出随着集成电路及传感器产业的快速发展,开发各种具有便捷制造工艺、低制造成本、轻便可弯曲等特性的新型非硅传感器,在环境检测、运输存储、人体舒适度检测等方面具有广泛的应用需求,检测目标包括环境温度、湿度、有毒、有害气体含量等。对基于有机物衬底的柔性传感器而言,需要解决的难点问题包括：弯曲过程中器件的稳定性；衬底表面金属图形化；材料物理化学性质对于加工温度等条件的限制等。本文根据柔性气体传感器的需求,选用PI材料,通过喷墨打印结合离子交换与自金属化工艺,研究便捷、低成本、可批量生产的柔性气体、湿度、温度传感器／阵列的制备技术,实现了加热器一传感器双面结构的一次性制备,简化工艺步骤。本文主要研究包括：第一,利用喷墨打印技术结合离子交换,实现了PI表面低温溶液法制备图形化金属银。实验中用KOH溶液对于PI胶带进行表面改性,然后通过离子交换技术,利用打印图形作为掩膜,采用牺牲层技术,制备了Ag薄膜结构。对其材料、电学、力学性能测试表明,可以适用于高度柔性应用场合。第二,制备了可用于体温检测的柔性电阻型温度传感器。设计不同图形的Ag薄膜电阻式温度传感器,对其电学、热学性能进行表征。测试表明,温度传感器的电阻温度系数,可以通过离子交换过程等加以调整,对于蛇形电阻条结构,在-20～+120℃范围内,最高灵敏度(电阻温度系数)可以达到(2.638±0.024)×10-3/℃。第叁,创新性地采用双面金属化工艺,制备了加热器—传感器集成结构,为敏感层生长、性能优化提供了低功耗的原位加热控温方式。结合滴涂法与原位加热处理,制备了氧化锌纳米叶结构敏感薄膜。对基于PI、PAA、氧化锌不同感湿材料的湿度传感器性能进行了分析比较。此外,通过原位加热解决了高湿环境下柔性湿度传感器脱湿慢、湿滞大的问题。第四,制备了具有加热器—传感器集成结构的氧化锌气体传感器。利用氧化锌物理、化学吸附特性,对于几种常见气体乙醇、丙酮、氨气等进行了响应测试。实验表明,柔性气体传感器具有较好的性能。集成加热器,经退火工艺处理后的柔性气体传感器响应时间、灵敏度得到明显改善。第五,针对本文设计的叁种传感器结构,输出信号为pF量级的微小电容,为方便信号的读取测量,设计了基于开关电容的接口电路设计。同时探索了电容式传感器在柔性电子标签领域应用的可能。本研究所开发的技术,对于未来柔性电子器件、新型柔性气体传感器的研究具有重要的指导意义。(本文来源于《华东师范大学》期刊2016-03-28）
郑灵程,蒋晶,王倩,吴峰,程晓曼[4]（2015）在《衬底加热和电极修饰对提高有机场效应晶体管性能的影响》一文中研究指出通过衬底加热和氧化钼(Mo O3)修饰源漏极制备了并五苯有机场效应晶体管。研究了衬底温度和电极修饰层厚度对器件性能的影响。实验结果表明:当衬底温度为60℃、Mo O3修饰层为10 nm时,器件性能获得了显着增强,场效应迁移率由原来的3.39×10-3cm2/(V·s)提高到2.25×10-1cm2/(V·s),阈值电压由12 V降低到3 V。器件性能的改善归因于:衬底加热可以优化有源层形貌,改善载流子传输;而Mo O3修饰层显着降低了电极与有源层之间的接触势垒,提高了载流子的注入。因此,衬底加热与电极修饰对于制备高性能有机场效应晶体管是不可或缺的优化手段。(本文来源于《发光学报》期刊2015年05期）
郑灵程[5]（2015）在《衬底加热和电极修饰对有机场效应晶体管性能影响的研究》一文中研究指出自从有机场效应晶体管(OFETs)诞生以来就受到了广泛关注,由于具有制备工艺简单、成本低廉、适合低温大面积制造、可与柔性衬底兼容等诸多优势,使其在电子器件中有着巨大应用潜力。它可以用于智能卡、传感器、电子纸、射频识别标签等,为大规模集成电路、平板显示驱动等提供了新的解决方案,成为有机电子器件中重要的研究领域。OFETs是注入型的器件,载流子传输的和注入都对其器件性能起着至关重要的影响。一方面,在有源层制备过程中进行衬底加热是一种行之有效的改善薄膜形态的手段,可以进而优化载流子传输;另一方面,在电极与有源层间插入修饰材料可以有效地提高载流子注入。因此,本文主要从上述两个方面,采用衬底加热,分别在基于p型和n型半导体材料的器件中使用电极修饰材料,研究了不同的衬底温度条件和电极修饰层厚度对器件性能的影响。具体研究内容如下:(1)制备了基于并五苯为有源层、PMMA为绝缘层的底栅顶接触结构OFETs器件,在并五苯薄膜的真空蒸镀过程中控制衬底温度分别保持在15、30、60、90?C。结果显示在60?C衬底温度条件下器件性能最好,器件的有效迁移率从15?C的2.9×10-4 cm2/V·s提高到3.39×10-3cm2/V·s。通过理论分析,分析了60?C衬底温度下器件性能达到最优的原因。(2)基于衬底加热的最佳优化条件,制备了基于并五苯和PMMA分别有源层和绝缘层的底栅顶接触结构OFETs器件,并在Al电极和并五苯有源层间插入过渡金属氧化物Mo O3。结果显示,与未插入Mo O3修饰层的器件相比,器件的有效迁移率达到2.25×10-1cm2/V·s,提高了66倍,阈值电压也由12V降到了3V。这是由于Mo O饰层有效地降低了Al电极和并五苯之间的注入势垒,降低了接触电阻,从而提高了载流子注入。(3)探索制备了基于n型材料P13为有源层的底栅顶接触OFET器件,采用了OLEDs中常用的对阴极注入起增强作用的Cs2CO3、Cs CH2COOH作为修饰材料,研究这两种修饰层对P13器件性能的影响。制备的未修饰P13器件展示了较典型的n型输出特性,而Cs2CO3修饰后的器件性能有所提高,Cs CH2COOH修饰后的器件未获得稳定的性能,并对实验结果进行了合理的理论分析。(本文来源于《天津理工大学》期刊2015-05-01）
熊信柏,褚岑岑,曾燮榕,邹继兆[6]（2014）在《衬底温度对C/C复合材料表面超声感应加热法制备CaHPO_4涂层的影响（英文）》一文中研究指出采用超声感应加热法在H2O2水热处理C/C复合材料表面沉积了CaHPO4涂层,借助SEM、XRD、FTIR、EDS等手段,研究了衬底温度对涂层的微观结构的影响,并通过划痕测试评价涂层与C/C基体之间的结合强度,同时运用分析天平测量质量以研究涂层的沉积动力学。结果显示,所制得的CaHPO4涂层钙磷比为1.2左右,晶格中出现碳离子。涂层形貌无明显变化,但是伴随温度的升高,涂层致密度降低。涂层与基体之间的结合强度随温度升高而增强,但内聚强度随温度升高而减弱。CaHPO4涂层的感应加热沉积过程受表面化学反应控制,沉积活化能为46.7 kJ/mol。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2014年07期）
金建东,郑丽,司良有,王明伟[7]（2010）在《集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究》一文中研究指出为实现在高空高湿环境下对湿度的准确测量,研制出一种集成加热功能的湿敏电容,理论分析、计算仿真及试验验证叁方面针对这种加热功能湿敏电容的衬底材料进行研究。(本文来源于《信息技术》期刊2010年04期）
陈明祥,甘志银,刘胜[8]（2006）在《感应加热硅衬底上的金膜用于圆片键合(英文)》一文中研究指出选用垂直于其表面的射频磁场对镀金膜的硅片进行了感应加热,由于磁场对材料加热具有选择性,感应热量首先作用于硅片上的金膜内,硅片先被传导加热到一定温度,然后被感应加热。理论上分析了该方法的可行性,初步试验结果表明,虽然金膜厚度低于感应趋肤深度,但在没有应用感应加热基座的情况下,几秒钟内就形成了金硅共晶相。另外,升温速度快,有效减少了加热过程中金对硅的扩散影响,该方法可广泛用于微系统封装中的圆片键合。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊2006年06期）
张龙,林立强,朱健,卓敏[9]（2006）在《衬底同步加热溅射BST薄膜的研究》一文中研究指出介绍了一种衬底同步加热射频磁控溅射制备BST(BaxSr1-xTiO3)薄膜的新方法,讨论了BST薄膜的晶化效果对介电常数的影响,分析了薄膜的居里温度和εr-V铁电性能.XRD测试结果表明制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿晶体结构,相对介电常数超过150,介质击穿强度大于1.3MV/cm.使用这种方法不需要专门的退火工艺,就可以制备晶体结构完整的高介电常数BST薄膜.(本文来源于《传感技术学报》期刊2006年05期）
宋长安,孙志文,李健[10]（2004）在《辐射式衬底加热器及加热坩埚的研制》一文中研究指出针对有机半导体材料的蒸发温度低的特点,设计并制作了低温辐射式加热器。通过对有机粉料的蒸发溅射时样片衬底的加热实验,取得了良好效果。其制作成本低,加热效率高,同时又提高了设备功效,是一种多功能辐射式加热器。在真空物理实验、教学和相关科研中有着广泛的应用前景。(本文来源于《真空》期刊2004年05期）
衬底加热论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
本文采用二步法制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,首先通过真空热蒸发制备CuZnSn(CZT)预制层,其衬底加热温度分别为20℃、50℃、75℃和100℃,然后对所制备的CZT预制层在400℃下硫化60 min,从而制备出CZTS薄膜。利用XRD、Raman、SEM、反射谱和透射谱对所制备的CZTS薄膜进行了表征,实验结果表明,预制层衬底加热温度对CZTS薄膜结构与光学特性有很大影响,在衬底加热50℃时制备预制层硫化后所得CZTS薄膜具有高的结晶度、致密均匀的薄膜表面和最佳1.5 e V光学带隙。此外,与衬底未加热制备预制层在500℃和90 min最佳硫化条件下所制备的高纯CZTS薄膜相比,在50℃预制层衬底加热条件下所制备CZTS薄膜具有更好地结晶质量、更低的硫化温度和更短的硫化时间,这种现象表明衬底加热制备金属预制层利于更高品质CZTS薄膜的制备,可有效的降低硫化温度和缩短硫化时间,当前的研究结果为在低温下实现高质量CZTS薄膜的制备提供了一种有效的途径。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
衬底加热论文参考文献
[1].候湘瑜.基于柔性PI衬底的集成有加热平台的VOCs气体传感器研究[D].华东师范大学.2018
[2].张俊芝,代福,范东华,郑春来.预制层衬底加热对Cu_2ZnSnS_4薄膜性能的影响[J].人工晶体学报.2016
[3].徐骁雯.基于柔性PI衬底的加热型传感器/阵列相关技术研究[D].华东师范大学.2016
[4].郑灵程,蒋晶,王倩,吴峰,程晓曼.衬底加热和电极修饰对提高有机场效应晶体管性能的影响[J].发光学报.2015
[5].郑灵程.衬底加热和电极修饰对有机场效应晶体管性能影响的研究[D].天津理工大学.2015
[6].熊信柏,褚岑岑,曾燮榕,邹继兆.衬底温度对C/C复合材料表面超声感应加热法制备CaHPO_4涂层的影响（英文）[J].稀有金属材料与工程.2014
[7].金建东,郑丽,司良有,王明伟.集成加热功能双模块湿敏电容衬底材料研究[J].信息技术.2010
[8].陈明祥,甘志银,刘胜.感应加热硅衬底上的金膜用于圆片键合(英文)[J].功能材料与器件学报.2006
[9].张龙,林立强,朱健,卓敏.衬底同步加热溅射BST薄膜的研究[J].传感技术学报.2006
[10].宋长安,孙志文,李健.辐射式衬底加热器及加热坩埚的研制[J].真空.2004