全文摘要
本实用新型公开了一种晶圆盒的上料装置，包括：直线模组，其包括并列设置的第一直线模组和第二直线模组，用于将其装载的晶圆盒在初始上料位置至取料位置之间运输；晶圆盒工装，其包括分别安装在第一直线模组和第二直线模组上的第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装，用于装载晶圆盒；机器人，设于所述直线模组的取料位置一侧，用于将运输至取料位置的所述第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装上装载的晶圆盒中的晶圆取出。本实用新型可通过第一直线模组和第二直线模组交替运输晶圆盒，操作员进行晶圆盒上料时，无需将设备暂停，可确保设备换料时不间断运行，从而大大提高了生产效率。
主设计要求
1.一种晶圆盒的上料装置，其特征在于，包括：直线模组，其包括并列设置的第一直线模组和第二直线模组，用于将其装载的晶圆盒在初始上料位置至取料位置之间运输；晶圆盒工装，其包括分别安装在第一直线模组和第二直线模组上的第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装，用于装载晶圆盒；机器人，设于所述直线模组的取料位置一侧，用于将运输至取料位置的所述第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装上装载的晶圆盒中的晶圆取出。
设计方案
1.一种晶圆盒的上料装置，其特征在于，包括：
直线模组，其包括并列设置的第一直线模组和第二直线模组，用于将其装载的晶圆盒在初始上料位置至取料位置之间运输；
晶圆盒工装，其包括分别安装在第一直线模组和第二直线模组上的第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装，用于装载晶圆盒；
机器人，设于所述直线模组的取料位置一侧，用于将运输至取料位置的所述第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装上装载的晶圆盒中的晶圆取出。
2.根据权利要求1所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，所述直线模组为电缸。
3.根据权利要求2所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，所述电缸设有缸体，所述缸体中设有丝杆，所述丝杆连接设于缸体一端的第一电机，所述丝杆上耦合有螺母，所述螺母通过第一滑块连接所述缸体上设有的第一滑轨，所述晶圆盒工装安装在所述第一滑块上。
4.根据权利要求2所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，所述电缸设有缸体，所述缸体两端分设有驱动轮和传动轮，所述驱动轮连接第二电机，所述驱动轮和传动轮上套有皮带，所述皮带上连接设有第二滑块，所述第二滑块连接所述缸体上设有的第二滑轨，所述晶圆盒工装安装在所述第二滑块上。
5.根据权利要求1所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，所述晶圆盒工装为框架形，其上设有多个晶圆盒装载工位。
6.根据权利要求5所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，所述晶圆盒面向所述机器人设置。
7.根据权利要求1所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，所述机器人的工作半径覆盖所述第一直线模组和第二直线模组的取料位置。
8.根据权利要求1所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，所述直线模组还用于将装满晶圆的晶圆盒由位于一端的初始上料位置运输至另一端的取料位置，以及将取出晶圆后空的晶圆盒由取料位置运输至初始上料位置。
9.根据权利要求1所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，还包括限位机构，分设于所述直线模组的初始上料位置端和取料位置端。
10.根据权利要求9所述的晶圆盒的上料装置，其特征在于，还包括位置检测器，分设于所述直线模组的两端，用于感应所述晶圆盒工装在所述直线模组上的运输位置。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及半导体设备技术领域，更具体地，涉及一种晶圆盒的上料装置。
背景技术
在半导体行业的图形化蓝宝石衬底(Patterned Sapphire Substrate，PSS)工艺生产中，所有设备都放置于洁净室中。由于场地布置的需求，往往将设备的上料端布置在同一侧，将设备主体布置在另一侧，中间通过墙壁等进行隔离。
因为上料端会频繁上下料，所以洁净度等级相对较低；而设备主体的洁净度等级较高，以确保产品对洁净度的要求。因此，在设备布局满足生产工艺的前提下，设备的上料端和工作区域之间会有一定的距离，需要一种设备来运输物料。在PSS工艺中，针对晶圆盒(Cassette)的上下料，就需要运用到上料装置来运输晶圆盒。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种晶圆盒的上料装置。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种晶圆盒的上料装置，包括：
直线模组，其包括并列设置的第一直线模组和第二直线模组，用于将其装载的晶圆盒在初始上料位置至取料位置之间运输；
晶圆盒工装，其包括分别安装在第一直线模组和第二直线模组上的第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装，用于装载晶圆盒；
机器人，设于所述直线模组的取料位置一侧，用于将运输至取料位置的所述第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装上装载的晶圆盒中的晶圆取出。
进一步地，所述直线模组为电缸。
进一步地，所述电缸设有缸体，所述缸体中设有丝杆，所述丝杆连接设于缸体一端的第一电机，所述丝杆上耦合有螺母，所述螺母通过第一滑块连接所述缸体上设有的第一滑轨，所述晶圆盒工装安装在所述第一滑块上。
进一步地，所述电缸设有缸体，所述缸体两端分设有驱动轮和传动轮，所述驱动轮连接第二电机，所述驱动轮和传动轮上套有皮带，所述皮带上连接设有第二滑块，所述第二滑块连接所述缸体上设有的第二滑轨，所述晶圆盒工装安装在所述第二滑块上。
进一步地，所述晶圆盒工装为框架形，其上设有多个晶圆盒装载工位。
进一步地，所述晶圆盒面向所述机器人设置。
进一步地，所述机器人的工作半径覆盖所述第一直线模组和第二直线模组的取料位置。
进一步地，所述直线模组还用于将装满晶圆的晶圆盒由位于一端的初始上料位置运输至另一端的取料位置，以及将取出晶圆后空的晶圆盒由取料位置运输至初始上料位置。
进一步地，还包括限位机构，分设于所述直线模组的初始上料位置端和取料位置端。
进一步地，还包括位置检测器，分设于所述直线模组的两端，用于感应所述晶圆盒工装在所述直线模组上的运输位置。
本实用新型的优点在于，由于可通过第一直线模组和第二直线模组交替运输晶圆盒，因此操作员进行晶圆盒上料时，无需将设备暂停，可确保设备换料时不间断运行，从而大大提高了生产效率。同时，本实用新型装置可远离工作区域，操作员上下料更安全，能充分满足半导体行业设备对于场地的要求，并能有效保证设备具有更高的洁净度。
附图说明
图1是本实用新型一较佳实施例的一种晶圆盒的上料装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。
在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种晶圆盒的上料装置结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种晶圆盒的上料装置，包括：直线模组1和2，晶圆盒工装5和6，机器人7等几个主要组成部分。
请参考图1。高精度的直线模组1和2至少包括并列设置的第一直线模组1和第二直线模组2；第一直线模组1和第二直线模组2用于将其分别装载的晶圆盒3和4在初始上料位置至取料位置(图示位于机器人侧位置)之间进行运输。
晶圆盒工装5和6包括分别安装在第一直线模组1和第二直线模组2上的第一晶圆盒工装5和第二晶圆盒工装6；第一晶圆盒工装5、第二晶圆盒6工装用于分别装载晶圆盒3、4。
机器人7设置在直线模组的取料位置一侧，即设置在第一直线模组1和第二直线模组2相同的取料位置一侧；机器人7用于将由第一直线模组1和第二直线模组2分别运输至取料位置的第一晶圆盒工装5和第二晶圆盒工装6上装载的晶圆盒3和4中的晶圆取出。
直线模组的第一直线模组1和第二直线模组2分别将各自装载的晶圆盒3和4由初始上料位置交替运输至取料位置。具体地，直线模组的第一直线模组1和第二直线模组2可用于分别将装满晶圆的晶圆盒3和4由位于一端的初始上料位置运输至另一端的取料位置，以及分别将取出晶圆后空的晶圆盒3和4由取料位置运输至初始上料位置，相互之间不会产生干涉，从而操作员进行晶圆盒上料时，无需将设备暂停，可确保设备换料时不间断运行，从而大大提高了生产效率。
直线模组的第一直线模组1和第二直线模组2可分别采用电缸。
作为一优选的实施方式，电缸可设有缸体，缸体中设有丝杆，丝杆连接设于缸体一端的第一电机，丝杆上耦合有螺母，螺母通过第一滑块连接缸体上设有的第一滑轨，晶圆盒工装5、6安装在第一滑块上。
作为另一优选的实施方式，电缸可设有缸体，缸体两端分设有驱动轮和传动轮，驱动轮连接第二电机，驱动轮和传动轮上套有皮带，皮带上连接设有第二滑块，第二滑块连接缸体上设有的第二滑轨，晶圆盒工装5、6安装在第二滑块上。
请参考图1。第一晶圆盒工装5和第二晶圆盒工装6可为框架形，例如，可采用矩形等框架；其中，框架的底层安装在滑块(第一滑块\/第二滑块)上，框架的顶层上用于并排布置多个晶圆盒装载工位，例如图示每个晶圆盒工装5、6上并排布置的四个晶圆盒装载工位。
晶圆盒3、4面向机器人7设置。机器人7的工作半径覆盖第一直线模组1和第二直线模组2的取料位置。
作为一优选的实施方式，还可设置限位机构；可将限位机构分别设置在第一直线模组1和第二直线模组2的初始上料位置端和取料位置端。限位机构用于在第一晶圆盒工装5和第二晶圆盒工装6到达初始上料位置和取料位置时，限制第一晶圆盒工装5和第二晶圆盒工装6继续移动。
此外，还可设置位置检测器；可将位置检测器分别设置在第一直线模组1和第二直线模组2的两端。位置检测器用于感应第一晶圆盒工装5和第二晶圆盒工装6在第一直线模组1和第二直线模组2上的运输位置，并在第一晶圆盒工装5和第二晶圆盒工装6到达初始上料位置和取料位置时，对第一直线模组1和第二直线模组2进行制动。
本实用新型的装置工作时，作为一实例，先由操作人员在第一晶圆盒工装5上放上装满晶圆的晶圆盒3。当机器人取完第二晶圆盒工装6上所有晶圆盒4中的晶圆后，由高精度第一直线模组1将第一晶圆盒工装5移动到机器人7的取料位，高精度第二直线模组2将第二晶圆盒工装6移动到初始人工上料位置。此时，机器人7取出晶圆盒3中的晶圆，并由操作人员将第二晶圆盒工装6上的晶圆盒4装满晶圆。
可通过控制台对本实用新型的装置进行自动控制。
以上的仅为本实用新型的优选实施例，实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920116348.5
申请日:2019-01-23
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:31(上海)
授权编号:CN209282182U
授权时间:20190820
主分类号:H01L 21/677
专利分类号:H01L21/677
范畴分类:38F;23E;
申请人:上海福赛特机器人有限公司
第一申请人:上海福赛特机器人有限公司
申请人地址:200233 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科国际大厦305-308室
发明人:徐韦明
第一发明人:徐韦明
当前权利人:上海福赛特机器人有限公司
代理人:陶金龙;张磊
代理机构:31275
代理机构编号:上海天辰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）
优先权:CN2019200430760
关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计