论文摘要
针对航空发动机涡轮叶片表面温度测试的迫切需求,采用薄膜沉积工艺,能够在Ni基高温合金表面制备热电性能较好的中温K型（NiCr/NiSi,<600℃）、高温R型（Pt—13%Rh/Pt,<900℃）、超高温（ITON/Pt,<1 100℃; In ON/ITON,> 1 200℃）等薄膜热电偶。薄膜热电偶由NiCr Al Y过渡层、热生长Al2O3层、Al2O3绝缘层、功能层和Al2O3保护层构成。通过静态标定结果分析,其塞贝克系数分别达到38. 26,10. 60,78. 60,123. 10μV/℃,在恶劣环境下具有良好的稳定性和一致性,使用寿命均大于10 h。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杨柯,蒋洪川,赵晓辉
关键词: 薄膜热电偶,热电特性,静态标定,塞贝克系数
来源: 传感器与微系统 2019年04期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 航空航天科学与工程
单位: 中国航发四川燃气涡轮研究院,电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
基金: 国家重点研发计划资助项目(2017YFB0406400),广东省省部(院)产学研结合项目专项资金资助项目(2013B090400001)
分类号: V232
DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)04-0082-04
页码: 82-85
总页数: 4
文件大小: 733K
下载量: 327
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