一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置论文和设计

全文摘要

本实用新型涉及晶片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，可对碳化硅晶片进行固定，保证碳化硅晶片的上蜡质量；可自动对碳化硅晶片进行上蜡，有效的减轻工作人员的劳动强度；包括工作台、四组支腿和打蜡块；还包括左滑块、右滑块、左弹簧、右弹簧、左压紧板、右压紧板、受力绳、牵引绳、两组固定板、安装座、第一电机、转轴和卷线筒，工作台顶端左半区域和右半区域分别设置有左滑动槽和右滑动槽，第一电机左部输出端设置有减速机；还包括左支撑柱、右支撑柱、横板、滑动板、转动杆、左连接板、右连接板、第二电机和气缸，横板底端中央区域设置有稳定槽，气缸底部输出端设置有伸缩杆。

主设计要求

1.一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，包括工作台(1)、四组支腿(2)和打蜡块(3)，四组支腿(2)顶端分别与工作台(1)底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接；其特征在于，还包括左滑块(4)、右滑块、左弹簧(5)、右弹簧、左压紧板(6)、右压紧板、受力绳(7)、牵引绳(8)、两组固定板(9)、安装座(10)、第一电机(11)、转轴(12)和卷线筒(13)，工作台(1)顶端左半区域和右半区域分别设置有左滑动槽和右滑动槽，工作台(1)底端中央区域设置有通槽，所述通槽内左侧壁和内右侧壁上半区域分别横向设置有左连接孔和右连接孔，所述左连接孔和右连接孔分别与左滑动槽和右滑动槽连通，所述左滑块(4)和右滑块底端分别位于左滑动槽和右滑动槽内，所述左弹簧(5)左端和右弹簧右端分别与左滑块(4)右侧壁和右滑块左侧壁下半区域连接，左弹簧(5)右端和右弹簧左端分别与左滑动槽内右侧壁和右滑动槽内左侧壁中央区域连接，所述左压紧板(6)和右压紧板底端分别与左滑块(4)和右滑块顶端中央区域连接，所述受力绳(7)左端依次穿过左连接孔和左弹簧(5)并与左滑块(4)右端连接，受力绳(7)右端依次穿过右连接孔和右弹簧并与右滑块左端连接，所述两组固定板(9)顶端分别与工作台(1)底端左半区域和右半区域连接，两组固定板(9)左侧壁下半区域分别横向设置有两组贯通孔，所述安装座(10)顶端与工作台(1)底端右半区域连接，安装座(10)底端与第一电机(11)顶端连接，所述第一电机(11)左部输出端设置有减速机(14)，所述转轴(12)右端依次穿过两组贯通孔并与减速机(14)左部输出端连接，所述卷线筒(13)套装固定在转轴(12)上，所述牵引绳(8)一端与受力绳(7)中部连接，牵引绳(8)另一端缠绕在卷线筒(13)上；还包括左支撑柱(15)、右支撑柱(16)、横板(17)、滑动板(18)、转动杆(19)、左连接板(20)、右连接板、第二电机(21)和气缸(22)，所述左支撑柱(15)和右支撑柱(16)底端分别与工作台(1)顶端左半区域和右半区域连接，左支撑柱(15)和右支撑柱(16)顶端分别与横板(17)底端左半区域和右半区域连接，所述横板(17)底端中央区域设置有稳定槽，所述左连接板(20)和右连接板顶端分别与横板(17)底端左半区域和右半区域连接，左连接板(20)和右连接板左侧壁中央区域分别横向设置有左转动孔和右转动孔，所述第二电机(21)安装在横板(17)底端左半区域，所述转动杆(19)左端与第二电机(21)右部输出端连接，转动杆(19)右端穿过左转动孔并插入至右转动孔内，并在转动杆(19)与左转动孔和右转动孔内侧壁之间分别设置有第一左滚珠轴承(23)和第一右滚珠轴承，转动杆(19)外侧壁中央区域设置有外螺纹，所述滑动板(18)螺装套设在转动杆(19)外侧，滑动板(18)顶端伸入至稳定槽内，所述气缸(22)顶端与滑动板(18)底端中央区域连接，气缸(22)底部输出端设置有伸缩杆(24)，打蜡块(3)安装在伸缩杆(24)底端。

设计方案

2.如权利要求1所述的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其特征在于，两组贯通孔内分别设置有两组第二滚珠轴承(25)，转轴(12)右端依次穿过两组第二滚珠轴承(25)并分别与两组第二滚珠轴承(25)键连接。

3.如权利要求2所述的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其特征在于，还包括稳定杆(26)，所述滑动板(18)左侧壁上半区域横向设置有滑动孔，所述稳定杆(26)左端与稳定槽内左侧壁中央区域连接，稳定杆(26)右端穿过滑动孔并与稳定槽内右侧壁中央区域连接。

4.如权利要求3所述的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其特征在于，还包括缓冲垫(27)，所述缓冲垫(27)安装在工作台(1)顶端中央区域。

5.如权利要求4所述的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其特征在于，左压紧板(6)和右压紧板均为弧形结构。

6.如权利要求5所述的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其特征在于，左压紧板(6)右侧壁和右压紧板左侧壁分别设置有左防滑垫(28)和右防滑垫。

7.如权利要求6所述的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其特征在于，还包括四组滚轮(29)，所述四组滚轮(29)分别安装在四组支腿(2)底端。

8.如权利要求7所述的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其特征在于，还包括拉环(30)，所述拉环(30)右端与左支撑柱(15)左侧壁中央区域连接。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及晶片加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置。

背景技术

众所周知，碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置是一种用于碳化硅晶片研磨过程中对圆形碳化硅晶片表面进行打蜡的辅助装置，其在晶片加工的领域中得到了广泛的使用；现有的碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置包括工作台、四组支腿和打蜡块，四组支腿顶端分别与工作台底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接；现有的碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置使用时，首先把待加工的碳化硅晶片放置在工作台上，把打蜡膏涂在打蜡块上，工作人员手持打蜡块对碳化硅晶片进行上蜡；现有的碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置使用中发现，对碳化硅晶片进行上蜡的过程中，碳化硅晶片容易发生移动，容易对碳化硅晶片的上蜡质量造成影响，导致其使用可靠性较差；工作人员手动对碳化硅晶片进行上蜡，使得上蜡厚度均匀度较低且劳动强度较大，导致其工作效率较低。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可对碳化硅晶片进行固定，保证碳化硅晶片的上蜡质量，提高使用可靠性；可自动对碳化硅晶片进行上蜡，有效的减轻工作人员的劳动强度，提高工作效率的碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，包括工作台、四组支腿和打蜡块，四组支腿顶端分别与工作台底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接；还包括左滑块、右滑块、左弹簧、右弹簧、左压紧板、右压紧板、受力绳、牵引绳、两组固定板、安装座、第一电机、转轴和卷线筒，工作台顶端左半区域和右半区域分别设置有左滑动槽和右滑动槽，工作台底端中央区域设置有通槽，所述通槽内左侧壁和内右侧壁上半区域分别横向设置有左连接孔和右连接孔，所述左连接孔和右连接孔分别与左滑动槽和右滑动槽连通，所述左滑块和右滑块底端分别位于左滑动槽和右滑动槽内，所述左弹簧左端和右弹簧右端分别与左滑块右侧壁和右滑块左侧壁下半区域连接，左弹簧右端和右弹簧左端分别与左滑动槽内右侧壁和右滑动槽内左侧壁中央区域连接，所述左压紧板和右压紧板底端分别与左滑块和右滑块顶端中央区域连接，所述受力绳左端依次穿过左连接孔和左弹簧并与左滑块右端连接，受力绳右端依次穿过右连接孔和右弹簧并与右滑块左端连接，所述两组固定板顶端分别与工作台底端左半区域和右半区域连接，两组固定板左侧壁下半区域分别横向设置有两组贯通孔，所述安装座顶端与工作台底端右半区域连接，安装座底端与第一电机顶端连接，所述第一电机左部输出端设置有减速机，所述转轴右端依次穿过两组贯通孔并与减速机左部输出端连接，所述卷线筒套装固定在转轴上，所述牵引绳一端与受力绳中部连接，牵引绳另一端缠绕在卷线筒上；还包括左支撑柱、右支撑柱、横板、滑动板、转动杆、左连接板、右连接板、第二电机和气缸，所述左支撑柱和右支撑柱底端分别与工作台顶端左半区域和右半区域连接，左支撑柱和右支撑柱顶端分别与横板底端左半区域和右半区域连接，所述横板底端中央区域设置有稳定槽，所述左连接板和右连接板顶端分别与横板底端左半区域和右半区域连接，左连接板和右连接板左侧壁中央区域分别横向设置有左转动孔和右转动孔，所述第二电机安装在横板底端左半区域，所述转动杆左端与第二电机右部输出端连接，转动杆右端穿过左转动孔并插入至右转动孔内，并在转动杆与左转动孔和右转动孔内侧壁之间分别设置有第一左滚珠轴承和第一右滚珠轴承，转动杆外侧壁中央区域设置有外螺纹，所述滑动板螺装套设在转动杆外侧，滑动板顶端伸入至稳定槽内，所述气缸顶端与滑动板底端中央区域连接，气缸底部输出端设置有伸缩杆，打蜡块安装在伸缩杆底端。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，两组贯通孔内分别设置有两组第二滚珠轴承，转轴右端依次穿过两组第二滚珠轴承并分别与两组第二滚珠轴承键连接。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括稳定杆，所述滑动板左侧壁上半区域横向设置有滑动孔，所述稳定杆左端与稳定槽内左侧壁中央区域连接，稳定杆右端穿过滑动孔并与稳定槽内右侧壁中央区域连接。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括缓冲垫，所述缓冲垫安装在工作台顶端中央区域。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，左压紧板和右压紧板均为弧形结构。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，左压紧板右侧壁和右压紧板左侧壁分别设置有左防滑垫和右防滑垫。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括四组滚轮，所述四组滚轮分别安装在四组支腿底端。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括拉环，所述拉环右端与左支撑柱左侧壁中央区域连接。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：左滑块和右滑块可分别在左滑动槽和右滑动槽内左右滑动，且均比较稳定，左弹簧和右弹簧分别与左滑块和右滑块起到支撑的作用，左滑块和右滑块之间通过受力绳连接，牵引绳一端与受力绳中部连接，牵引绳另一端缠绕在卷线筒上，打开第一电机，第一电机通过减速机的作用之后驱动转轴转动，由于卷线筒套装固定在转轴上，使得转轴在第一电机的作用之下带动卷线筒转动，第一电机通过外界控制装置可实现正转或反转，进而第一电机可控制卷线筒正转或反转，卷线筒正转时牵引绳在卷线筒上缠绕，并拉动受力绳的中部，使得受力绳的两个端部做相对运动，由于受力绳两端分别与左滑块和右滑块连接，使得左滑块和右滑块做相对运动，进而可实现对碳化硅晶片的夹紧，卷线筒对牵引绳进行放卷时，左滑块和右滑块分别在左弹簧和右弹簧的作用下做相背运动，可松开对碳化硅晶片的夹紧，实现对碳化硅晶片的固定，可保证碳化硅晶片的上蜡质量，提高使用可靠性；转动杆外侧壁中央区域设置有外螺纹，且滑动板螺装套设在转动杆外侧，第二电机通过外界控制装置可实现正转或反转，第二电机驱动转动杆正转或反转，进而使得滑动板在转动杆的作用下在稳定槽内左右滑动，由于气缸顶端与滑动板底端中央区域连接，且打蜡块安装在伸缩杆底端，通过气缸控制伸缩杆上下运动，伸缩杆带动打蜡块上下运动，进而可以通过机械手段自动对碳化硅晶片进行上蜡，碳化硅晶片一个区域上蜡完成后，工作人员只需调整碳化硅晶片的位置即可继续进行上蜡操作，可有效的减轻工作人员的劳动强度，提高工作效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是左压紧板和左防滑垫的连接示意俯视图；

图3是图1中A的局部放大图；

附图中标记：1、工作台；2、支腿；3、打蜡块；4、左滑块；5、左弹簧；6、左压紧板；7、受力绳；8、牵引绳；9、固定板；10、安装座；11、第一电机；12、转轴；13、卷线筒；14、减速机；15、左支撑柱；16、右支撑柱；17、横板；18、滑动板；19、转动杆；20、左连接板；21、第二电机；22、气缸；23、第一左滚珠轴承；24、伸缩杆；25、第二滚珠轴承；26、稳定杆；27、缓冲垫；28、左防滑垫；29、滚轮；30、拉环。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图3所示，本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，包括工作台1、四组支腿2和打蜡块3，四组支腿2顶端分别与工作台1底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接；还包括左滑块4、右滑块、左弹簧5、右弹簧、左压紧板6、右压紧板、受力绳7、牵引绳8、两组固定板9、安装座10、第一电机11、转轴12和卷线筒13，工作台1顶端左半区域和右半区域分别设置有左滑动槽和右滑动槽，工作台1底端中央区域设置有通槽，通槽内左侧壁和内右侧壁上半区域分别横向设置有左连接孔和右连接孔，左连接孔和右连接孔分别与左滑动槽和右滑动槽连通，左滑块4和右滑块底端分别位于左滑动槽和右滑动槽内，左弹簧5左端和右弹簧右端分别与左滑块4右侧壁和右滑块左侧壁下半区域连接，左弹簧5右端和右弹簧左端分别与左滑动槽内右侧壁和右滑动槽内左侧壁中央区域连接，左压紧板6和右压紧板底端分别与左滑块4和右滑块顶端中央区域连接，受力绳7左端依次穿过左连接孔和左弹簧5并与左滑块4右端连接，受力绳7右端依次穿过右连接孔和右弹簧并与右滑块左端连接，两组固定板9顶端分别与工作台1底端左半区域和右半区域连接，两组固定板9左侧壁下半区域分别横向设置有两组贯通孔，安装座10顶端与工作台1底端右半区域连接，安装座10底端与第一电机11顶端连接，第一电机11左部输出端设置有减速机14，转轴12右端依次穿过两组贯通孔并与减速机14左部输出端连接，卷线筒13套装固定在转轴12上，牵引绳8一端与受力绳7中部连接，牵引绳8另一端缠绕在卷线筒13上；还包括左支撑柱15、右支撑柱16、横板17、滑动板18、转动杆19、左连接板20、右连接板、第二电机21和气缸22，左支撑柱15和右支撑柱16底端分别与工作台1顶端左半区域和右半区域连接，左支撑柱15和右支撑柱16顶端分别与横板17底端左半区域和右半区域连接，横板17底端中央区域设置有稳定槽，左连接板20和右连接板顶端分别与横板17底端左半区域和右半区域连接，左连接板20和右连接板左侧壁中央区域分别横向设置有左转动孔和右转动孔，第二电机21安装在横板17底端左半区域，转动杆19左端与第二电机21右部输出端连接，转动杆19右端穿过左转动孔并插入至右转动孔内，并在转动杆19与左转动孔和右转动孔内侧壁之间分别设置有第一左滚珠轴承23和第一右滚珠轴承，转动杆19外侧壁中央区域设置有外螺纹，滑动板18螺装套设在转动杆19外侧，滑动板18顶端伸入至稳定槽内，气缸22顶端与滑动板18底端中央区域连接，气缸22底部输出端设置有伸缩杆24，打蜡块3安装在伸缩杆24底端；左滑块和右滑块可分别在左滑动槽和右滑动槽内左右滑动，且均比较稳定，左弹簧和右弹簧分别与左滑块和右滑块起到支撑的作用，左滑块和右滑块之间通过受力绳连接，牵引绳一端与受力绳中部连接，牵引绳另一端缠绕在卷线筒上，打开第一电机，第一电机通过减速机的作用之后驱动转轴转动，由于卷线筒套装固定在转轴上，使得转轴在第一电机的作用之下带动卷线筒转动，第一电机通过外界控制装置可实现正转或反转，进而第一电机可控制卷线筒正转或反转，卷线筒正转时牵引绳在卷线筒上缠绕，并拉动受力绳的中部，使得受力绳的两个端部做相对运动，由于受力绳两端分别与左滑块和右滑块连接，使得左滑块和右滑块做相对运动，进而可实现对碳化硅晶片的夹紧，卷线筒对牵引绳进行放卷时，左滑块和右滑块分别在左弹簧和右弹簧的作用下做相背运动，可松开对碳化硅晶片的夹紧，实现对碳化硅晶片的固定，可保证碳化硅晶片的上蜡质量，提高使用可靠性；转动杆外侧壁中央区域设置有外螺纹，且滑动板螺装套设在转动杆外侧，第二电机通过外界控制装置可实现正转或反转，第二电机驱动转动杆正转或反转，进而使得滑动板在转动杆的作用下在稳定槽内左右滑动，由于气缸顶端与滑动板底端中央区域连接，且打蜡块安装在伸缩杆底端，通过气缸控制伸缩杆上下运动，伸缩杆带动打蜡块上下运动，进而可以通过机械手段自动对碳化硅晶片进行上蜡，碳化硅晶片一个区域上蜡完成后，工作人员只需调整碳化硅晶片的位置即可继续进行上蜡操作，可有效的减轻工作人员的劳动强度，提高工作效率。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，两组贯通孔内分别设置有两组第二滚珠轴承25，转轴12右端依次穿过两组第二滚珠轴承25并分别与两组第二滚珠轴承25键连接；两组第二滚珠轴承可以减小转轴转动时所产生的摩擦阻力，提高使用平顺性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括稳定杆26，滑动板18左侧壁上半区域横向设置有滑动孔，稳定杆26左端与稳定槽内左侧壁中央区域连接，稳定杆26右端穿过滑动孔并与稳定槽内右侧壁中央区域连接；稳定杆可对滑动板起到限位的作用，防止滑动板左右运动的过程中从稳定槽内滑出，提高使用安全性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括缓冲垫27，缓冲垫27安装在工作台1顶端中央区域；缓冲垫可以对碳化硅晶片起到支撑和保护的作用，提高使用可靠性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，左压紧板6和右压紧板均为弧形结构；左压紧板和右压紧板的弧形结构刚好与圆形碳化硅晶片相贴合，可提高对碳化硅晶片的固定效果，提高使用稳定性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，左压紧板6右侧壁和右压紧板左侧壁分别设置有左防滑垫28和右防滑垫；左防滑垫和右防滑垫可进一步提高对碳化硅晶片的固定效果，提高牢固性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括四组滚轮29，四组滚轮29分别安装在四组支腿2底端；四组滚轮可便于对装置进行移动，提高使用灵活性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，还包括拉环30，拉环30右端与左支撑柱15左侧壁中央区域连接；通过拉环可使得对装置进行移动时更加省力，提高使用便捷性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，其在工作时，左滑块和右滑块可分别在左滑动槽和右滑动槽内左右滑动，且均比较稳定，左弹簧和右弹簧分别与左滑块和右滑块起到支撑的作用，左滑块和右滑块之间通过受力绳连接，牵引绳一端与受力绳中部连接，牵引绳另一端缠绕在卷线筒上，打开第一电机，第一电机通过减速机的作用之后驱动转轴转动，由于卷线筒套装固定在转轴上，使得转轴在第一电机的作用之下带动卷线筒转动，第一电机通过外界控制装置可实现正转或反转，进而第一电机可控制卷线筒正转或反转，卷线筒正转时牵引绳在卷线筒上缠绕，并拉动受力绳的中部，使得受力绳的两个端部做相对运动，由于受力绳两端分别与左滑块和右滑块连接，使得左滑块和右滑块做相对运动，进而可实现对碳化硅晶片的夹紧，卷线筒对牵引绳进行放卷时，左滑块和右滑块分别在左弹簧和右弹簧的作用下做相背运动，可松开对碳化硅晶片的夹紧，实现对碳化硅晶片的固定，可保证碳化硅晶片的上蜡质量，提高使用可靠性；转动杆外侧壁中央区域设置有外螺纹，且滑动板螺装套设在转动杆外侧，第二电机通过外界控制装置可实现正转或反转，第二电机驱动转动杆正转或反转，进而使得滑动板在转动杆的作用下在稳定槽内左右滑动，由于气缸顶端与滑动板底端中央区域连接，且打蜡块安装在伸缩杆底端，通过气缸控制伸缩杆上下运动，伸缩杆带动打蜡块上下运动，进而可以通过机械手段自动对碳化硅晶片进行上蜡，碳化硅晶片一个区域上蜡完成后，工作人员只需调整碳化硅晶片的位置即可继续进行上蜡操作，可有效的减轻工作人员的劳动强度，提高工作效率；两组第二滚珠轴承可以减小转轴转动时所产生的摩擦阻力，提高使用平顺性；稳定杆可对滑动板起到限位的作用，防止滑动板左右运动的过程中从稳定槽内滑出，提高使用安全性；缓冲垫可以对碳化硅晶片起到支撑和保护的作用，提高使用可靠性；左压紧板和右压紧板的弧形结构刚好与圆形碳化硅晶片相贴合，可提高对碳化硅晶片的固定效果，提高使用稳定性；左防滑垫和右防滑垫可进一步提高对碳化硅晶片的固定效果，提高牢固性；四组滚轮可便于对装置进行移动，提高使用灵活性；通过拉环可使得对装置进行移动时更加省力，提高使用便捷性。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置所使用的第一电机、第二电机、减速机和气缸都是从市面上采购的，只需按照说明书进行安装使用即可。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，故不在多加赘述。

本实用新型的一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制，与此同时，“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

设计图

一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置论文和设计

一种碳化硅晶片研磨工艺用的上蜡装置论文和设计

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主设计要求

设计方案

设计说明书

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