导读:本文包含了亚波长周期介质光栅论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:时域有限差分,亚波长周期介质光栅,偏振变换,电子束光刻
亚波长周期介质光栅论文文献综述
邓晗[1]（2007）在《亚波长周期介质光栅的偏振特性的研究》一文中研究指出本文为了分析亚波长周期介质光栅的衍射特性，采用FDTD(时域有限差分)方法，在叁维直角坐标系下，以30nm为网格大小，PMI(完全匹配层)为吸收边界条件，以一维FDTD随时间逐步推进的方式引入入射波，对于周期为240nm占空比为0.5材料为n=1.35的透光玻璃介质的亚波长周期介质光栅，以1550nm为波长偏振角度为45°的平行光进行入射在深度分别为120nm,150nm,180nm,210nm的条件下所得到的衍射场进行了模拟计算，得到了电场不同方向上分量的大小和相对相位延迟，发现对于亚波长周期介质光栅，其衍射性质与入射光的偏振状态相关，平行于光栅的电场分量相对相位延迟总是大于垂直于光栅的电场分量的相对相位延迟，对于其偏振变换性质进行了探讨。提出了电子束光刻与反应离子束刻蚀相结合的手段来制作亚波长介质光栅，这种方式可以获得较高的刻蚀精度，在电子束光刻后，然后采用湿法腐蚀的办法将感光胶上的图形转移到沉积在石英片上的铬膜上，最后由反应离子束刻蚀将图形转移到石英片上。分析了整个实验的不足和可能出现的误差，并提出了改进备选方案。设计了对于亚波长介质光栅的衍射性质的实验检测手段，在激光多功能光电测试系统实验仪上，从激光器中射出的光经过偏振方向可调起偏器后垂直入射到亚波长光栅表面，再经过一个可调偏振片(检偏器)改变两片偏振片的偏振方向，利用光电传感器接受出射光强，然后由得到的光强变化可以得到亚波长光栅的对入射光的偏振改变情况。(本文来源于《浙江大学》期刊2007-05-08）
曹召良,卢振武,李凤有,任智斌,刘玉玲[2]（2003）在《亚波长周期结构抗反射介质光栅的衍射特性》一文中研究指出用严格耦合波理论(RCWA)计算了当折射率取一系列离散值时的二维亚波长周期结构介质光栅出现一级衍射透射波的周期值,进而利用最小二乘法拟合出临界周期点随折射率的变化规律;利用一维单台阶和多台阶光栅在TE、TM偏振状态以及二维单台阶圆柱状光栅和二维金字塔结构多台阶光栅进行验证,发现它们同样满足临界周期点的变化规律。结果证明,对于任意面形的亚波长周期结构介质光栅的一级衍射效率都有这一规律。(本文来源于《光电子·激光》期刊2003年07期）
亚波长周期介质光栅论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
用严格耦合波理论(RCWA)计算了当折射率取一系列离散值时的二维亚波长周期结构介质光栅出现一级衍射透射波的周期值,进而利用最小二乘法拟合出临界周期点随折射率的变化规律;利用一维单台阶和多台阶光栅在TE、TM偏振状态以及二维单台阶圆柱状光栅和二维金字塔结构多台阶光栅进行验证,发现它们同样满足临界周期点的变化规律。结果证明,对于任意面形的亚波长周期结构介质光栅的一级衍射效率都有这一规律。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
亚波长周期介质光栅论文参考文献
[1].邓晗.亚波长周期介质光栅的偏振特性的研究[D].浙江大学.2007
[2].曹召良,卢振武,李凤有,任智斌,刘玉玲.亚波长周期结构抗反射介质光栅的衍射特性[J].光电子·激光.2003