导读:本文包含了钽酸锂论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:磨料,晶体,薄膜,双晶,吸收光谱,衬底,电阻率。
钽酸锂论文文献综述
袁巨龙,张韬杰,杭伟,凌洋,王洁[1]（2019）在《基于固结磨料盘的钽酸锂高效研磨加工试验研究》一文中研究指出目的实现钽酸锂材料的高效、高质量、低成本加工。方法选择合适的添加剂作为辅料,利用树脂结合剂将3000#的金刚石磨料通过配混料、固化、压实、修整等步骤,制成金刚石固结磨料盘。以加工过程中钽酸锂工件的材料去除率、表面形貌以及粗糙度等作为评价指标,在相同粒径条件下,用游离磨料、固结磨料磨盘对钽酸锂晶片进行加工,对比加工结果。结果在压力为4 kPa、研磨盘转速为140 rad/min的条件下,3000#金刚石游离磨料铸铁盘研磨Y-36°钽酸锂晶片10 min后,材料去除率为37.89μm/h,表面粗糙度S_a由420 nm改善至233.308 nm,但是晶片表面出现深划痕,从而导致易破碎,且有少量磨粒残留在钽酸锂晶片上。而在相同加工条件下,采用3000#金刚石固结磨料盘研磨Y-36°钽酸锂晶片10 min后,材料去除率为66.19μm/h,表面粗糙度S_a降低至97.004 nm,且晶片表面划痕较浅,无磨粒残留在钽酸锂晶片上。结论采用固结磨料盘加工后的表面粗糙度比游离磨料加工后的表面粗糙度更低,表面形貌更好,材料去除率更高,达到了钽酸锂晶片精研的加工效率和表面质量。同时固结磨料盘研磨LT晶片时,其表面粗糙度随压力、转速增大而减小,材料去除率随压力、转速增大而增大。(本文来源于《表面技术》期刊2019年10期）
梁金铃,张耘,邱晓燕,吴圣钰,罗娅[2]（2019）在《铁镁共掺钽酸锂晶体的第一性原理研究》一文中研究指出利用第一性原理对LiTaO_3晶体以及不同Mg浓度的Fe:Mg:LiTaO_3晶体的电子结构和吸收光谱进行了研究.结果显示:掺铁钽酸锂晶体的杂质能级主要由Fe的3d态轨道贡献,禁带宽度为3.05 e V.掺入镁后,在禁带中没有新的能级产生,掺Mg浓度小于或超过阈值(略小于6 mol%)时,禁带宽度分别为2.72 e V和2.45 e V.Fe:LiTaO_3晶体分别在417 nm和745 nm处呈现两个吸收峰,这两峰归结于Fe 3d分裂轨道电子的跃迁;Mg:Fe:LiTaO_3晶体吸收峰强度较单掺Fe的LiTaO_3晶体下降,并略有偏移,当掺镁浓度超过阈值时,短波段峰移至457 nm吸收峰,而长波段745 nm处的吸收峰消失.研究表明:Fe离子的分裂轨道T2g, Eg跃迁所对应的吸收峰与铁离子的占位有关, Mg离子浓度达到阈值,使Fe离子占Ta位, Eg对应的吸收峰消失.在利用457 nm波段为功能性吸收时,采用较高掺Mg不会对吸收产生不利影响;在利用745 nm波段时, Fe占Li位比Fe占Ta位在存储应用中更具优势,不宜采用高掺镁.(本文来源于《物理学报》期刊2019年20期）
胡立坤,谢盼平,袁思成,许登峰,彭智[3]（2019）在《阳极氧化钽酸锂薄膜在NaOH溶液中的腐蚀行为研究》一文中研究指出通过阳极氧化法在高纯钽片表面制备了钽酸锂复合薄膜,采用浸泡失重法和电化学测试法考察了镀膜前后样品在10%(质量分数) NaOH溶液中的腐蚀行为。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜及能谱仪分别对薄膜的物相组成、表面及截面形貌、膜层厚度进行了测试分析。结果表明,阳极氧化后得到的复合薄膜由钽酸锂和氧化钽组成;该薄膜与基体之间结合良好,厚度约3μm;镀膜后样品的质量腐蚀速率至少减少了6倍,腐蚀电流密度下降了2个数量级,腐蚀96 h后样品表面没有明显变化。而对比的纯钽样品却发生了严重的腐蚀反应,生成了很多长条状和多棱柱状的腐蚀产物Na_3TaO_4、Na_2Ta_2O_6和Na_8Ta_6O_(19)。(本文来源于《腐蚀科学与防护技术》期刊2019年04期）
龙勇,于明晓,李和新,石自彬,王璐[4]（2019）在《钽酸锂黑片的制备与性能研究》一文中研究指出为了获得高均匀性、低热释电的钽酸锂(LT)晶片,采用粉末掩埋法对42°Y-LT晶片进行了还原处理。结果表明,还原处理后的晶片电阻率为3.98×10~(10)Ω·cm;在365 nm处透过率约为36.5%,透过率均匀性为1.15;热导率为2.66 W/(m·K),热膨胀系数为2.79×10~(-6) K~(-1),满足器件使用要求。通过声表面波器件验证实验表明,晶片抗静电能力效果明显,器件成品率较高,一致性好。(本文来源于《压电与声光》期刊2019年03期）
张欣桐[5]（2019）在《飞秒激光直写周期极化钽酸锂波导的倍频效应研究》一文中研究指出激光倍频技术是非线性光学领域的重要研究方向,随着激光技术的应用和发展,倍频技术被广泛应用于固态激光器等非线性器件。由于超晶格结构的钽酸锂晶体具有较高非线性效率,而且具有良好的机械、物理性能以及成本低、体积小等优点,故其在绿光固态激光器领域的应用是目前重要的研究热点。钽酸锂晶体(LiTaO3)属于铁电相晶体,晶体结构与铌酸锂相同,具有良好的压电、铁电、声光与电光效应。其非线性系数小于铌酸锂晶体,但是具有比铌酸锂更高的热导率、光伤阂值,因而可以避免/减小晶体在高温及高功率场合下出现相位失配。除此之外,相比于铌酸锂晶体,钽酸锂晶体具有更宽的透光范围,更低的矫顽场,因而具有更大的周期反转厚度与通光口径,在中红外领域有很大的研究价值与应用前景。本文采用的样品为近化学计量比钽酸锂晶体。在同成分配比的熔融成分中生长出来的晶体的成分配比会偏离化学计量比,形成“富钽缺锂”的非化学计量比晶体,造成组酸锂晶体的非线性性能损失,产生如光损伤阈值降低、矫顽电场升高等现象,严重影响周期极化非线性光学材料的制备。近化学计量比钽酸锂的Li/Ta比接近化学计量比,有效的消除了晶体中的锂空位以及反位钽等本征缺陷,提高了晶体的非线性性能。另外通过向样品中掺杂Mg元素,使得晶体的矫顽电场大大降低,周期极化畴反转的加工精度大幅提高。近年来,飞秒激光微纳加工作为一种高效的叁维波导微加工技术逐渐发展起来。飞秒激光刻写工艺与金属扩散、质子交换、离子注入等传统的波导制作工艺相比,具有制作工艺简单,制作周期短,制作成本低等优点。光束通过适当处理后经过显微物镜聚焦于光学材料内部,一般来说焦点位置光强呈高斯分布,中心处光强最强,故而只有焦点中心区域产生多光子电离,其他区域不发生变化,通过扫描光束或者移动样品,可完成对材料的叁维微加工。另外,由于飞秒激光加工过程中的非线性吸收作用与材料本身无关,这使得飞秒直写方法制备光波导对衬底的选择性大大降低。本文主要研究飞秒激光直写周期极化钽酸锂晶体的非线性性能。我们用飞秒激光加工的方式在钽酸锂样品中刻写了包层结构,通过分析波导的倍频光输出功率,我们发现包层结构较为完整的保留了晶体的非线性性质。通过对样品进行端面耦合以及温度调谐成功实现了532nm二次谐波的输出。(本文来源于《山东大学》期刊2019-05-30）
李清连,商继芳,吴婧,张玲,孙军[6]（2019）在《钽酸锂电光调Q晶体开关的制备研究》一文中研究指出制备了双晶体匹配的钽酸锂电光调Q开关。首先理论分析了两匹配晶体通光方向尺寸偏差、轴向角偏差等对自然双折射补偿的影响,估算了消光比为100:1时各加工参数应满足的指标要求。在此基础上,以平晶为基准面来保证晶向精度、同盘抛光来保证晶体尺寸,制备了满足条件的钽酸锂双晶匹配调Q开关。用锥光干涉的方法检测了匹配后晶体的光学均匀性,并在激光系统中测试了其调Q性能。结果表明匹配较好的LT调Q开关能够满足实际光学应用的需求。(本文来源于《人工晶体学报》期刊2019年05期）
孙斌玮[7]（2019）在《钽酸锂薄膜的制备及其电学光学特性研究》一文中研究指出钽酸锂(LiTaO_3)是一种重要的铁电材料,因为它具有优异的压电、热释电和光折射性能,所以钽酸锂晶体已经成功应用于许多器件与设备中,特别是用于电光器件、红外探测器和声表面波器件等。目前,微电子工业的重点已经从使用块状单晶形式的钽酸锂陶瓷转变为沉积具有低光学损耗的钽酸锂薄膜,并将它结合到当前的半导体材料与器件技术中,因此,开展热释电钽酸锂薄膜的制备及其相关物理性能的研究,具有重要的理论与实际应用的价值。本文采用溶胶凝胶法和射频磁控溅射法制备钽酸锂薄膜,借助多种分析表征方法,系统地研究了衬底材料、退火温度、退火气氛及溅射气氛氩氧比等关键工艺参数对薄膜组成成分、微观结构、晶态、光学性能及电学性能的影响。根据实验结果,对钽酸锂薄膜中微观结构及缺陷的生长机理进行了分析和讨论,具体内容包括以下几个方面:1.采用溶胶凝胶法在Pt/Ti/SiO_2/Si(100)底电极衬底和掺杂氟的SnO_2(FTO)导电玻璃衬底上制备了LiTaO_3薄膜,研究了衬底的晶格失配对钽酸锂薄膜生长过程及其性能的影响。实验结果表明,钽酸锂薄膜与衬底的界面晶格失配所引起的锂空位缺陷,是对LiTaO_3薄膜性能影响的主要因素。晶格失配程度越大,LiTa_3O_8缺锂相对应的衍射峰显着增多,钽酸锂薄膜中锂空位缺陷增多,薄膜结晶性能退化,薄膜的表面形貌裂纹出现。XPS分析中+4价Ta的原子百分比浓度对应于薄膜中锂空位缺陷,Ta~(4+)原子百分比升高,薄膜的最大热释电系数下降明显。2.采用磁控溅射法制备钽酸锂薄膜,系统地研究了退火温度对薄膜生长机理及其性能的影响,重点研究了LiTaO_3薄膜热退火过程中形成第二相LiTa_3O_8的晶体生长动力学。结果表明,在退火过程中,LiTaO_3晶粒的长大和再次结晶导致薄膜向缺锂相LiTa_3O_8结构生长是导致薄膜结晶性能退化的主要原因。LiTaO_3薄膜在高于600~oC进行退火时,Li_2O会从薄膜表面和晶格晶界中解吸挥发,这将引起LiTa_3O_8相在LiTaO_3薄膜表面沉淀结晶。Li_2O的损失会产生锂空位,LiTaO_3薄膜中的锂空位会降低原子迁移的势垒,通过原子重排使LiTaO_3发生相转变,促进LiTa_3O_8微晶成核。退火温度的升高增强了Li_2O从薄膜中的挥发损失,从而形成更多的LiTa_3O_8相结构,薄膜中的原子相互扩散加强,薄膜颗粒得以长大,颗粒尺寸有所增加,薄膜表面出现大小不一的“小丘”形状的LiTaO_3颗粒。当退火温度进一步升高时,薄膜中的颗粒相互扩散进一步增强,颗粒之间相互吞并团聚形成更大的颗粒,薄膜的粗糙度也随之增大。3.深入研究了退火气氛对钽酸锂薄膜生长机理及其性能的影响,退火温度越高,薄膜的原子迁移率越大,晶粒再结晶过程越剧烈,Li_2O的解吸挥发更加剧烈。结果表明,缺氧气氛环境下退火钽酸锂薄膜会造成薄膜中氧空位缺陷浓度的增加,薄膜会倾向于缺锂相LiTa_3O_8的生长,薄膜中的氧空位缺陷增多是造成薄膜性能退化的主要原因。如果薄膜退火再结晶生长过程中氧原子不足,薄膜会倾向于缺锂缺氧相LiTa_3O_8的生长,抑制LiTaO_3相结构生长,薄膜中LiTa_3O_8的衍射峰强度增强。当薄膜在富O_2气氛退火时,薄膜退火再结晶生长过程中氧原子充足,渗透到薄膜中的氧分子会阻碍原子迁移并减缓LiTa_3O_8相结构的结晶。薄膜的光学带隙与结晶状态、缺陷以及结构密切相关,LiTa_3O_8缺陷相结构会导致能带中缺陷能级的出现,从而导致光学带隙和热释电系数的变小。4.研究了溅射气氛氩氧比对钽酸锂薄膜生长及其性能的影响。实验结果表明,薄膜中Li、Ta原子在溅射过程中被氧化形成Li_2O和Ta_2O_5是造成薄膜性能退化的主要原因。溅射气氛氩氧比为1:1的钽酸锂薄膜,氧分压含量过高,过量的氧气在溅射过程中与从靶材溅射出来的Li原子发生反应,导致Li原子的氧化产生挥发性的Li_2O,增强了Li原子从薄膜的表面和晶界中解吸缺失,LiTa_3O_8微晶更容易在LiTaO_3表面外延沉淀,形成LiTa_3O_8相结构晶体种子层,进而在薄膜中形成LiTa_3O_8结晶。对于溅射气氛氩氧比为2:1的钽酸锂薄膜,氩分压含量增高,从而提高Ar离子轰击靶材的几率,使得Li原子和Ta原子的溅射速率增大,同时由于氧分压足够大,氧原子供应充足,Li原子被氧化形成挥发性的Li_2O,在薄膜表面形成Li空位,一部分Ta原子会和剩余的Li原子形成缺锂相LiTa_3O_8结晶,而另一部分Ta原子则在沉积到衬底之前与氧气充分反应氧化形成Ta_2O_5,因此在LiTaO_3薄膜中出现了Ta_2O_5衍射峰。(本文来源于《电子科技大学》期刊2019-05-01）
杨洪星,王雄龙,杨静,范红娜,李明佳[8]（2018）在《钽酸锂单晶片几何参数控制技术研究》一文中研究指出钽酸锂单晶材料具有良好的压电性能,是制作声表面波器件的理想衬底材料之一。该文从化学腐蚀、磨料粒径和粘蜡工艺3方面进行研究,钽酸锂单晶片的几何参数得到有效控制,最终得到了几何参数优越的钽酸锂单晶抛光片。其中总厚度变化(TTV)≤5μm,局部平整度(LTV)≤1.5μm,局部平整度合格比例(PLTV)≥95%,翘曲度(Warp)≥20μm,弯曲度(Bow)≤10μm,达到了商用钽酸锂单晶片的技术水平。(本文来源于《压电与声光》期刊2018年06期）
孙杰西[9]（2018）在《钽酸锂单晶多元热释电红外器件制备与集成研究》一文中研究指出热释电红外探测器具有响应速度快、探测率高、工作温区宽、噪声和功耗较低等优点,一直是非制冷红外探测器领域的研究热点。研究表明,热释电材料的性能和器件的隔热结构是影响热释电红外探测器性能的关键因素。LiTaO_3单晶材料具有热释电系数大、居里温度高和介电常数小的特点,是目前最常用的热释电材料。采用MEMS工艺加工的硅基绝热结构隔热性能,但是在硅基绝热结构上生长的LiTaO_3薄膜为多晶结构,热释电性能与单晶相比衰减明显。针对这一问题,本论文提出了UV胶键合实现钽酸锂单晶与悬空绝热结构的集成的新方法,设计出探测器的具体结构与制备流程,通过研究探测器制备工艺和结构对器件性能的影响,优化了制备工艺参数和器件结构参数,最后将优化后的参数用于制作了2×2多元器件并测试其性能。1、设计了由LiTaO_3单晶/带凹槽石英衬底构成的探测器结构,并通过有限元仿真对探测器结构进行了仿真;建立了采用UV胶键合实现LiTaO_3单晶与衬底的集成工艺,制备出探测器原型器件,对器件结构和集成工艺进行了初步验证。2、研究了电极图形化和集成工艺及其对器件性能的影响。通过紫外激光刻蚀对LiTaO_3晶片进行上下电极的图形化,在30kHz激光频率、0.15W功率和400mm/s的标刻速率下,分别通过5次、4次刻蚀可以完成上下电极的图形化;通过涂胶时间和转速控制UV胶均匀度和厚度,确定了UV胶均匀性和厚度与甩胶工艺的关系,并研究了其对器件性能的影响,确定了优化的工艺条件为涂胶时间60s、转速5000rpm的涂胶制备的16.27μm厚UV胶。3、设计了由石英凹槽形成的空气隙绝热结构,采用有限元仿真方法分析了隔热结构参数对器件电学、力学性能的影响,研究了LiTaO_3单晶的激光刻蚀加工方法。结果表明探测器热学性能与绝热结构空气隙面积成正比,与横向绝热结构的宽度与深度成正比,结合力学仿真结果选择7mm×7mm的空气隙作为器件的纵向隔热结构;系统研究了LiTaO_3的激光刻蚀工艺以形成器件横向绝热结构,在优化工艺条件下可实现LiTaO_3最大刻蚀宽度和深度分别为0.4mm和59.2μm。4、将经过优化的工艺参数和结构参数用于2×2多元探测器的制备并进行测试,探测率最大可以达到1135.241V/W,D*最大可以达到2.77×10~8cm·Hz~(1/2)/W。(本文来源于《电子科技大学》期刊2018-03-30）
沈晓燕,邵峰,宋岩岩[10]（2017）在《钽酸锂、铌酸锂晶体相关专利简析》一文中研究指出钽酸锂、铌酸锂晶体是集压电、铁电、声光、电光性能于一体的多功能材料;专利是国家、企业科技创新成果核心竞争力的体现。对钽酸锂、铌酸锂晶体相关的全球专利和国内发明授权专利进行地域布局、主要申请人、申请年度、申请量等方面的统计分析,有助于了解钽酸锂、铌酸锂晶体行业的技术发展情况,并为制定长远的、全局性的专利战略提供借鉴。(本文来源于《硅酸盐通报》期刊2017年S1期）
钽酸锂论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
利用第一性原理对LiTaO_3晶体以及不同Mg浓度的Fe:Mg:LiTaO_3晶体的电子结构和吸收光谱进行了研究.结果显示:掺铁钽酸锂晶体的杂质能级主要由Fe的3d态轨道贡献,禁带宽度为3.05 e V.掺入镁后,在禁带中没有新的能级产生,掺Mg浓度小于或超过阈值(略小于6 mol%)时,禁带宽度分别为2.72 e V和2.45 e V.Fe:LiTaO_3晶体分别在417 nm和745 nm处呈现两个吸收峰,这两峰归结于Fe 3d分裂轨道电子的跃迁;Mg:Fe:LiTaO_3晶体吸收峰强度较单掺Fe的LiTaO_3晶体下降,并略有偏移,当掺镁浓度超过阈值时,短波段峰移至457 nm吸收峰,而长波段745 nm处的吸收峰消失.研究表明:Fe离子的分裂轨道T2g, Eg跃迁所对应的吸收峰与铁离子的占位有关, Mg离子浓度达到阈值,使Fe离子占Ta位, Eg对应的吸收峰消失.在利用457 nm波段为功能性吸收时,采用较高掺Mg不会对吸收产生不利影响;在利用745 nm波段时, Fe占Li位比Fe占Ta位在存储应用中更具优势,不宜采用高掺镁.
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
钽酸锂论文参考文献
[1].袁巨龙,张韬杰,杭伟,凌洋,王洁.基于固结磨料盘的钽酸锂高效研磨加工试验研究[J].表面技术.2019
[2].梁金铃,张耘,邱晓燕,吴圣钰,罗娅.铁镁共掺钽酸锂晶体的第一性原理研究[J].物理学报.2019
[3].胡立坤,谢盼平,袁思成,许登峰,彭智.阳极氧化钽酸锂薄膜在NaOH溶液中的腐蚀行为研究[J].腐蚀科学与防护技术.2019
[4].龙勇,于明晓,李和新,石自彬,王璐.钽酸锂黑片的制备与性能研究[J].压电与声光.2019
[5].张欣桐.飞秒激光直写周期极化钽酸锂波导的倍频效应研究[D].山东大学.2019
[6].李清连,商继芳,吴婧,张玲,孙军.钽酸锂电光调Q晶体开关的制备研究[J].人工晶体学报.2019
[7].孙斌玮.钽酸锂薄膜的制备及其电学光学特性研究[D].电子科技大学.2019
[8].杨洪星,王雄龙,杨静,范红娜,李明佳.钽酸锂单晶片几何参数控制技术研究[J].压电与声光.2018
[9].孙杰西.钽酸锂单晶多元热释电红外器件制备与集成研究[D].电子科技大学.2018
[10].沈晓燕,邵峰,宋岩岩.钽酸锂、铌酸锂晶体相关专利简析[J].硅酸盐通报.2017
论文知识图
