导读:本文包含了玻璃刻蚀论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:熔融石英玻璃,湿法刻蚀,半球谐振陀螺
玻璃刻蚀论文文献综述
杜秀蓉,宋学富,孙元成,张晓强,花宁[1]（2019）在《半球谐振陀螺用石英玻璃性能及湿法刻蚀特性》一文中研究指出熔融石英玻璃是半球谐振陀螺的关键核心材料。针对半球谐振陀螺用石英玻璃及湿法刻蚀减薄工序,分析了石英玻璃种类、性能指标差异,研究了熔融石英玻璃湿法刻蚀过程表面缺陷及形态变化。结果表明,熔融石英玻璃机械加工残留的亚表面缺陷在湿法刻蚀过程中会发生形态和大小变化,对熔融石英玻璃的均匀刻蚀影响较大。基于上述研究结果,给出了半球谐振陀螺的选材和球壳湿法刻蚀减薄工艺参考。(本文来源于《导航定位与授时》期刊2019年06期）
于磊[2]（2019）在《干法刻蚀辅助飞秒激光加工制备K9玻璃人造复眼》一文中研究指出生物复眼由于其具有宽视场、低像差、高灵敏度和快速运动检测等优势吸引了越来越多的科研人员的关注。人工仿生复眼的制备由于其在军事、工业和临床医学等领域的潜在应用而受到广泛的关注。科研人员研究出各种人工仿生复眼的制备方法,包括平面光刻技术和热回流技术相结合、飞秒激光双光子聚合技术、湿法刻蚀辅助飞秒激光加工技术和热压印技术相结合等微纳结构制备技术。但是这些微纳结构制备技术有着一些缺点,例如,平面光刻技术和热回流技术相结合难以制造叁维弯曲复眼,平面光刻技术在弯曲界面上面临曝光角度无法精准控制,对于下一步热回流技术所需要的光刻胶圆柱体结构无法进行有效制备;飞秒激光双光子聚合技术无法大批量快速制备人工仿生复眼,由于其加工方式为逐点扫描加工,因而对于数量较多的人工仿生复眼结构来说所需时间太长;这些加工技术往往只能制备聚合物人工复眼,由于聚合物本身机械抗力较差、热稳定性较差和化学稳定性差等缺点,因而在一些复杂环境下,聚合物人工仿生复眼的光学性能会受到严重影响,甚至无法发挥应有的作用。这些缺点限制着人造仿生复眼的向前发展。由于硬质材料具有硬度大、高稳定性和化学稳定性强等特点,所以研究硬质材料人工仿生复眼就显得非常重要。本论文提出了干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术和浇铸转写技术相结合的制备方法,实现了表面形貌良好和光学性能好的K9玻璃人工复眼的高效制备。本论文主要研究了干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术制备具有高硬度、高热稳定性和化学稳定性强的蓝宝石凹面复眼模板,利用蓝宝石凹面复眼模板在K9玻璃上转写K9玻璃人工复眼。转写成功后的K9玻璃人工复眼直径为1 cm,高度为2.3 mm。具有超过190000个密集小透镜,每个小透镜的直径为20μm,高度为1.5μm。K9玻璃人工复眼具有良好的成像和聚焦效果,视场角度达到90°。干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术和浇铸转写技术相结合的制备方法将为硬质材料的微纳加工提供新的思路。(本文来源于《吉林大学》期刊2019-06-01）
吴丰,姚聪,丛林林,袁龙,闻竹[3]（2019）在《岩石气水两相渗流的玻璃刻蚀驱替实验与有限元数值模拟对比》一文中研究指出岩石微观可视化两相渗流特征研究对于油气田开发具有重要意义。分别采用微观可视化玻璃刻蚀驱替实验和有限元数值模拟对岩石中微观气水两相流体的动态渗流特征进行了研究,并将数值模拟结果与微观玻璃刻蚀驱替实验结果进行了对比验证。结果表明,有限元数值模拟结果与玻璃刻蚀驱替实验结果基本一致。气水两相流驱替实验过程中存在明显的指进现象;驱替结束后,分布在大孔喉和与大孔喉相连的孔隙中的水被驱替,未被驱替的水主要分布在小孔喉、小孔喉控制的大孔隙和孔隙盲端;单相渗流达到稳态后,流动通道中心的流体流速比入口处流体流速大,孔喉半径越大,压力降低越慢。微观玻璃刻蚀驱替实验方法能较好地观测微观指进现象和气体在通过狭窄喉道时的运移跳跃现象,而有限元数值模拟方法则具有成本低、易于操作、实验可重复性高等优点。微观玻璃刻蚀驱替实验与有限元数值模拟相结合研究气水两相渗流效果更佳。(本文来源于《岩性油气藏》期刊2019年04期）
郭剑,郑雪飞,袁锋伟[4]（2019）在《金属玻璃表面机械刻蚀纳米加工的实验方法》一文中研究指出本文针对金属玻璃,提出一种基于探针机械刻蚀作用的表面纳米加工实验方法 ,应用于金属玻璃纳米加工的探索性与延伸性实验教学,使学生在实践中把握金属玻璃和微纳制造学术前沿,培养创新思维。(本文来源于《课程教育研究》期刊2019年03期）
丛林林,吴丰,姚聪,王超,闻竹[5]（2018）在《基于玻璃刻蚀驱替实验和有限元数值模拟的岩石中两相流体微观渗流研究》一文中研究指出岩石中两相流体的微观渗流特征研究对于油气资源的开采具有重要意义。本研究分别采用玻璃刻蚀驱替实验和有限元数值模拟方法对岩石中气-水两相流体的微观渗流特征进行研究。有限元数值模拟方法采用与玻璃刻蚀驱替实验相同的微观孔隙模型,采用水平集方法确定动态驱替过程中气-水两相流体的界面特征,基于纳维-斯托克斯方程,建立气-水两相微观渗流模型,并通过有限元方法进行求解,最后将有限元数值模拟结果与玻璃刻蚀驱替实验结果进行对比。研究结果表明:(1)数值模拟的结果与微观物理模型实验结果基本一致;(2)在气驱的过程中,由于气体前缘推进的速度不一致,会出现明显的指进现象;大喉道及大喉道连接的大孔隙中的水率先被气体驱替出来,而残余水主要分布在小喉道及被小喉道控制的大孔隙和孔隙盲端中;流体在孔道中心流速最大,越靠近孔隙壁流速越小;孔径越小,压力梯度越大。(3)数值模拟方法具有操作简单、成本低、实验可重复性高等优点。(本文来源于《2018油气田勘探与开发国际会议（IFEDC 2018）论文集》期刊2018-09-18）
李奇思,梁庭,雷程,李旺旺,林立娜[6]（2018）在《355 nm全固态紫外激光直写刻蚀硼硅玻璃微通道》一文中研究指出利用355nm全固态紫外激光对硼硅玻璃进行了直写刻蚀实验,采用单一变量法探究了激光能量密度、重复频率、扫描速度、扫描间距、扫描次数对刻蚀结果的影响。研究结果表明,激光能量密度过大时,玻璃易发生严重的崩边裂损现象;等离子体屏蔽效应随激光能量密度的增大而增强,刻蚀深度减小;随着重复频率的减小,通道边缘碎裂的现象减轻,刻蚀深度增大;减小扫描间距可有效改善沟道底面的平整度;刻蚀深度随扫描次数的增多而增大,同时沟道锥度增大。在较优的加工参数下,实现了宽度为84.8μm,刻蚀深度为178μm,底面较平整,沟道垂直度达89.580°的L型微通道的直写刻蚀。(本文来源于《中国激光》期刊2018年08期）
丛启东,袁根福,章辰,郭百澄[7]（2018）在《激光诱导化学反应刻蚀石英玻璃的实验研究》一文中研究指出针对目前常用的超短脉冲激光加工、激光诱导等离子加工、纳秒紫外激光加工石英玻璃刻蚀率低下的问题,提出一种能够大范围、高刻蚀率、低裂损刻蚀石英玻璃的新方法,即利用1064nm红外激光诱导Ba(OH)_2化学反应刻蚀。本文主要从不同能量密度激光诱导化学反应刻蚀机理进行分析,实验表明,当激光能量密度超过16 J/cm~2时,石英玻璃被刻蚀;当激光能量密度在16~24 J/cm~2之间时,仅物理作用去蚀石英玻璃,故刻蚀率随激光能量变化较小;当激光能量密度在24~42 J/cm~2之间时,刻蚀率随激光能量密度变化较大,该阶段Ba(OH)_2以及其分解生成的Ba O在高温条件下都与石英玻璃主要成分SiO_2发生化学反应并生成Ba SiO_3,故刻蚀率较高;激光能量密度在42~46 J/cm~2时,化学反应速率趋于饱和,故该阶段刻蚀率随激光能量密度变化较小。(本文来源于《激光与红外》期刊2018年03期）
丛启东,袁根福,章辰,郭百澄[8]（2017）在《激光刻蚀石英玻璃研究进展综述》一文中研究指出激光精密刻蚀石英玻璃的研究得到广泛关注和应用,阐述了飞秒激光刻蚀石英玻璃的刻蚀机理,以及各个激光参数对刻蚀效果影响规律的国内外研究进展;从工艺改进角度对激光精密刻蚀石英玻璃进行了综述,最后探讨了待解决的问题并进行了展望。(本文来源于《第17届全国特种加工学术会议论文集（下册）》期刊2017-11-17）
丛启东,袁根福,章辰,郭百澄[9]（2017）在《激光刻蚀石英玻璃研究进展综述》一文中研究指出石英玻璃因其优异物化属性而被广泛应用于激光核聚变系统、半导体光刻设备、各类光学设备,以及生物、医学、化学检测领域。激光作为一种应用广泛的加工技术,近年来激光技术在石英玻璃加工领域一直是研究的热点,目前采用高能激光束加工石英玻璃的激光器主要为超短脉冲激光器以及普通脉冲紫外激光器。国内外专家对于激光加工石英玻璃的理论及实验做了大量研究,本文主要从刻蚀机理、激光系统参数以及工艺参数对刻蚀特征的影响规律、加工工艺改进叁方面对国内外激光刻蚀石英玻璃的研究进展进行了较全面的介绍。激光的加工方法主要分为直接刻蚀、掩膜刻蚀、激光诱导等离子体刻蚀、背部湿刻法刻蚀等。对于这些刻蚀方法的刻蚀机理方面,超短脉冲激光直接刻蚀石英玻璃的刻蚀机理,主要是利用的雪崩机理;激光诱导等离子体刻蚀是通过激光作用在靶材料和石英玻璃的接触面,靶材料与石英玻璃之间发生作用产生等离子体,实现石英玻璃的刻蚀;以有机溶剂作为介质进行激光背部湿刻法刻蚀主要利用空化原理。对于激光系统参数及加工工艺参数对刻蚀质量的影响规律方面,激光参数包括激光能量密度、脉冲宽度、脉冲数等,加工工艺参数包括薄膜辅助激光刻蚀石英玻璃的薄膜厚度,激光诱导等离子体刻蚀法包括不同介质及靶材与石英玻璃表面之间的间隙、激光束偏振角度对刻蚀效果的影响,激光湿法刻蚀法包括盛放液体容器的体积大小以及激光辐射过程中产生的气泡大小对刻蚀效果的影响规律等进行了介绍。对于加工工艺改进的研究方面,主要包括在玻璃上表面制作薄吸收层、设定不同的加工环境、采用掩膜刻蚀、双激光束同时加工等方法。其中,在玻璃上表面制作一层辅助吸收层能够显着提高激光束的吸收率,该方法能有效降低激光刻蚀石英玻璃的能量阀值;通过在特定的环境中进行激光刻蚀石英玻璃能够实现比空气条件下进行激光刻蚀石英玻璃更好的刻蚀质量;采用掩膜刻蚀能够较好的解决单束激光不能兼顾低裂损和高去蚀率的问题,能够实现在保证高去蚀率的同时实现无裂损刻蚀。(本文来源于《特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）》期刊2017-11-17）
邵勇,孙树峰,廖慧鹏,章斌[10]（2017）在《激光诱导等离子体刻蚀Pyrex7740玻璃工艺研究》一文中研究指出通过控制变量法研究了激光能量密度、加工速度、重复频率、刻蚀次数等激光加工参数对紫外激光诱导等离子体刻蚀Pyrex7740玻璃刻蚀深度和表面刻蚀质量(包括边缘是否齐整、崩边、碎裂等)的影响规律。结果表明,以铜膜作为吸收层的紫外激光诱导等离子体刻蚀Pyrex7740玻璃的激光能量密度阈值在1.54~2.10J/cm~2之间,且在一定范围内激光能量密度越大,刻蚀深度越深,等离子体越稳定,刻蚀质量越好;激光刻蚀速度过慢或过快都会造成等离子体不稳定,对刻蚀质量产生不良影响,即并非光斑重迭度越大刻蚀效果越好。研究结果为激光诱导等离子体精密刻蚀Pyrex7740玻璃及其他光学透明材料刻蚀工艺优化和参数选取提供参考。(本文来源于《应用激光》期刊2017年05期）
玻璃刻蚀论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
生物复眼由于其具有宽视场、低像差、高灵敏度和快速运动检测等优势吸引了越来越多的科研人员的关注。人工仿生复眼的制备由于其在军事、工业和临床医学等领域的潜在应用而受到广泛的关注。科研人员研究出各种人工仿生复眼的制备方法,包括平面光刻技术和热回流技术相结合、飞秒激光双光子聚合技术、湿法刻蚀辅助飞秒激光加工技术和热压印技术相结合等微纳结构制备技术。但是这些微纳结构制备技术有着一些缺点,例如,平面光刻技术和热回流技术相结合难以制造叁维弯曲复眼,平面光刻技术在弯曲界面上面临曝光角度无法精准控制,对于下一步热回流技术所需要的光刻胶圆柱体结构无法进行有效制备;飞秒激光双光子聚合技术无法大批量快速制备人工仿生复眼,由于其加工方式为逐点扫描加工,因而对于数量较多的人工仿生复眼结构来说所需时间太长;这些加工技术往往只能制备聚合物人工复眼,由于聚合物本身机械抗力较差、热稳定性较差和化学稳定性差等缺点,因而在一些复杂环境下,聚合物人工仿生复眼的光学性能会受到严重影响,甚至无法发挥应有的作用。这些缺点限制着人造仿生复眼的向前发展。由于硬质材料具有硬度大、高稳定性和化学稳定性强等特点,所以研究硬质材料人工仿生复眼就显得非常重要。本论文提出了干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术和浇铸转写技术相结合的制备方法,实现了表面形貌良好和光学性能好的K9玻璃人工复眼的高效制备。本论文主要研究了干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术制备具有高硬度、高热稳定性和化学稳定性强的蓝宝石凹面复眼模板,利用蓝宝石凹面复眼模板在K9玻璃上转写K9玻璃人工复眼。转写成功后的K9玻璃人工复眼直径为1 cm,高度为2.3 mm。具有超过190000个密集小透镜,每个小透镜的直径为20μm,高度为1.5μm。K9玻璃人工复眼具有良好的成像和聚焦效果,视场角度达到90°。干法刻蚀辅助飞秒激光加工技术和浇铸转写技术相结合的制备方法将为硬质材料的微纳加工提供新的思路。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
玻璃刻蚀论文参考文献
[1].杜秀蓉,宋学富,孙元成,张晓强,花宁.半球谐振陀螺用石英玻璃性能及湿法刻蚀特性[J].导航定位与授时.2019
[2].于磊.干法刻蚀辅助飞秒激光加工制备K9玻璃人造复眼[D].吉林大学.2019
[3].吴丰,姚聪,丛林林,袁龙,闻竹.岩石气水两相渗流的玻璃刻蚀驱替实验与有限元数值模拟对比[J].岩性油气藏.2019
[4].郭剑,郑雪飞,袁锋伟.金属玻璃表面机械刻蚀纳米加工的实验方法[J].课程教育研究.2019
[5].丛林林,吴丰,姚聪,王超,闻竹.基于玻璃刻蚀驱替实验和有限元数值模拟的岩石中两相流体微观渗流研究[C].2018油气田勘探与开发国际会议（IFEDC2018）论文集.2018
[6].李奇思,梁庭,雷程,李旺旺,林立娜.355nm全固态紫外激光直写刻蚀硼硅玻璃微通道[J].中国激光.2018
[7].丛启东,袁根福,章辰,郭百澄.激光诱导化学反应刻蚀石英玻璃的实验研究[J].激光与红外.2018
[8].丛启东,袁根福,章辰,郭百澄.激光刻蚀石英玻璃研究进展综述[C].第17届全国特种加工学术会议论文集（下册）.2017
[9].丛启东,袁根福,章辰,郭百澄.激光刻蚀石英玻璃研究进展综述[C].特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）.2017
[10].邵勇,孙树峰,廖慧鹏,章斌.激光诱导等离子体刻蚀Pyrex7740玻璃工艺研究[J].应用激光.2017