全文摘要
本实用新型公开了一种自动上浆抛光机，它属于上浆抛光装置技术领域，包括横杆，所述横杆上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，所述横杆下方设有第一轨道，所述第一轨道上设有可沿所述第一轨道滑动的抓取组件，所述滴浆组件和所述抛光组件的下方均设有载物台，所述匀浆组件和所述抛光组件之间设有烘烤组件；本实用新型通过滴浆组件将玻璃浆滴在硅片上，通过匀浆组件将硅片上的玻璃浆均匀的涂抹开，通过烘烤组件将玻璃浆烘干，通过抛光组件将玻璃表面的细屑清除，不需要人工操作，降低了生产成本，提高了生产效率。
主设计要求
1.一种自动上浆抛光机，其特征是，包括横杆，所述横杆上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，所述横杆下方设有第一轨道，所述第一轨道上设有可沿所述第一轨道滑动的抓取组件，所述滴浆组件和所述抛光组件的下方均设有载物台，所述匀浆组件和所述抛光组件之间设有烘烤组件。
设计方案
1.一种自动上浆抛光机，其特征是，包括横杆，所述横杆上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，所述横杆下方设有第一轨道，所述第一轨道上设有可沿所述第一轨道滑动的抓取组件，所述滴浆组件和所述抛光组件的下方均设有载物台，所述匀浆组件和所述抛光组件之间设有烘烤组件。
2.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述滴浆组件包括喷嘴，所述喷嘴连接有喷浆管道，所述喷浆管道连接有浆桶，所述喷嘴的侧方设有竖直设置的第二轨道，所述喷嘴可沿所述第二轨道移动。
3.根据权利要求2所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述喷嘴与所述第二轨道之间设有第一滑车，所述第一滑车与所述第二轨道滑动连接，所述第一滑车与所述喷嘴固定连接，所述第一滑车上设有驱动所述第一滑车沿所述第二轨道移动的第一驱动装置。
4.根据权利要求2所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述喷嘴内设有流量检测装置。
5.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述匀浆组件包括固定在所述横杆上的第二驱动装置，所述第二驱动装置的转动轴的端部设有第一电动推杆，所述第一电动推杆底部设有刮板。
6.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述抛光组件包括固定在所述横杆上的第三驱动装置，所述第三驱动装置的转动轴的端部设有第二电动推杆，所述第二电动推杆底部设有刮刀。
7.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述第一轨道包括两条在一平面内平行设置的两条导轨，每条导轨上均设有一所述抓取组件，所述抓取组件包括第三电动推杆和设于所述第三电动推杆底部的机械手，所述第三电动推杆与所述导轨之间设有第二滑车，所述第二滑车与所述导轨滑动连接，所述第二滑车与所述抓取组件固定连接，所述第二滑车上设有驱动第二滑车沿所述导轨移动的第四驱动装置。
8.根据权利要求7所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述机械手设为与硅片的侧边匹配的弧形爪，所述弧形爪可沿水平方向移动，两根所述导轨上的所述弧形爪对称设置。
9.根据权利要求1所述的一种自动上浆抛光机，其特征是，所述载物台的台面上设有若干通孔，所述通孔底部连通有真空气缸。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及扩散片沟道上玻璃浆抛光装置技术领域，具体涉及一种自动上浆抛光机。
背景技术
GPP(Glassivation passivation parts)是玻璃钝化器件的统称，该产品是在现有产品硅二极管扩散片的基础上对拟分割的P\/N结(p-n junction)表面烧制一层玻璃，玻璃与单晶硅有着良好的结合特性，使得P\/N结获得最佳的保护，免受外界环境的侵扰，提高器件的稳定性，GPP芯片可以应用于各个领域。
GPP芯片的主要制作流程如下：第一，在硅单晶片扩散形成P\/N结,形成P型区和N型区。第二，利用光刻、曝光、显影等方法在扩散片表面形成方形网格，其中沟道处已去除光刻胶，利用腐蚀等方法将沟道处的硅去除掉，开出沟道形成裸露的P\/N结；第三，在开沟道面覆盖一层玻璃浆，将玻璃浆填充到沟道内；第四，通过低温玻璃的烧结的工艺将玻璃中的光阻剂去掉；第五，在高温下将粉状玻璃烧结成致密的固态玻璃体；第六，在表面镀上金属电极后沿沟道切割成GPP芯片。
现有的利用光刻法覆盖玻璃浆的工序中，覆盖上的玻璃浆经烘烤后会，电极表面会有一层玻璃残留物，需要人工的使用刮刀将残留物清除，费时费力。
实用新型内容
对于现有技术中所存在的问题，本实用新型提供的一种自动上浆抛光机，可以自动的完成在硅片的沟道内覆盖玻璃浆、烘烤和除残留物的工序，降低了人工成本。
为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
一种自动上浆抛光机，包括横杆，所述横杆上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，所述横杆下方设有第一轨道，所述第一轨道上设有可沿所述第一轨道滑动的抓取组件，所述滴浆组件和所述抛光组件的下方均设有载物台，所述匀浆组件和所述抛光组件之间设有烘烤组件。
作为一种优选的技术方案，所述滴浆组件包括喷嘴，所述喷嘴连接有喷浆管道，所述喷浆管道连接有浆桶，所述喷嘴的侧方设有竖直设置的第二轨道，所述喷嘴可沿所述第二轨道移动。
作为一种优选的技术方案，所述喷嘴与所述第二轨道之间设有第一滑车，所述第一滑车与所述第二轨道滑动连接，所述第一滑车与所述喷嘴固定连接，所述第一滑车上设有驱动所述第一滑车沿所述第二轨道移动的第一驱动装置。
作为一种优选的技术方案，所述喷嘴内设有流量检测装置。
作为一种优选的技术方案，所述匀浆组件包括固定在所述横杆上的第二驱动装置，所述第二驱动装置的转动轴的端部设有第一电动推杆，所述第一电动推杆底部设有刮板。
作为一种优选的技术方案，所述抛光组件包括固定在所述横杆上的第三驱动装置，所述第三驱动装置的转动轴的端部设有第二电动推杆，所述第二电动推杆底部设有刮刀。
作为一种优选的技术方案，所述第一轨道包括两条在一平面内平行设置的两条导轨，每条导轨上均设有一所述抓取组件，所述抓取组件包括第三电动推杆和设于所述第三电动推杆底部的机械手，所述第三电动推杆与所述导轨之间设有第二滑车，所述第二滑车与所述导轨滑动连接，所述第二滑车与所述抓取组件固定连接，所述第二滑车上设有驱动第二滑车沿所述导轨移动的第四驱动装置。
作为一种优选的技术方案，所述机械手设为与硅片的侧边匹配的弧形爪，所述弧形爪可沿水平方向移动，两根所述导轨上的所述弧形爪对称设置。
作为一种优选的技术方案，所述载物台的台面上设有若干通孔，所述通孔底部连通有真空气缸。
本实用新型的有益效果表现在：
本实用新型通过滴浆组件将玻璃浆滴在硅片上，通过匀浆组件将硅片上的玻璃浆均匀的涂抹开，通过烘烤组件将玻璃浆烘干，通过抛光组件将电极表面的多余的细屑清除，不需要人工操作，降低了生产成本，提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型一种自动上浆抛光机的整体结构示意图；
图中：1-第二滑车、2-第三电动推杆、3-机械手、4-第二轨道、5-第一滑车、6-喷浆管道、7-流量检测装置、8-喷嘴、9-浆桶、10-第二驱动装置、11-第一电动推杆、12-刮板、13-通孔、14-真空气缸、15-载物台、16-横杆、17-第一轨道、18-烘烤组件、19-第三驱动装置、20-第二电动推杆、21-刮刀。
具体实施方式
为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1所示，本实用新型包括横杆16，横杆16上依次设有滴浆组件、匀浆组件和抛光组件，滴浆组件用于将玻璃浆滴在硅片上，匀浆组件用于将硅片上的玻璃浆均匀的涂抹开，抛光组件用于将烘干后的玻璃表面的细屑清除；横杆16下方设有第一轨道17，第一轨道17上设有可沿第一轨道17滑动的抓取组件，抓取组件用于抓取硅片，并带动硅片沿第一轨道17移动；滴浆组件和抛光组件的下方均设有载物台15，载物台15用于放置硅片；匀浆组件和抛光组件之间设有烘烤组件18，烘烤组件18优选的设为烤箱，用于将匀浆后的硅片进行烘烤。
其中，滴浆组件包括喷嘴8，喷嘴8连接有喷浆管道6，喷浆管道6连接有浆桶9，喷嘴8的侧方设有竖直设置的第二轨道4，喷嘴8可沿第二轨道4移动，浆桶9中装有玻璃浆，玻璃浆通过喷浆管道6沿喷嘴8喷出，当硅片在喷嘴8下方时，喷嘴8沿第二轨道4向下移动可以靠近硅片，防止喷出的液态玻璃飞溅；喷嘴8与第二轨道4之间设有第一滑车5，第一滑车5与第二轨道4滑动连接，第一滑车5与喷嘴8固定连接，第一滑车5上设有驱动第一滑车5沿第二轨道4移动的第一驱动装置，通过第一驱动装置可以带动第一滑车5及喷嘴8沿第二轨道4移动；喷嘴8内设有流量检测装置7，流量检测装置7优选的设为电子流量计用于检测玻璃浆的流出量；匀浆组件包括固定在横杆16上的第二驱动装置10，第二驱动装置10的转动轴的端部设有第一电动推杆11，第一电动推杆11底部的刮板12，第二驱动装置10可以带动第一电动推杆11及刮板12转动，第一电动推杆11可以伸缩使刮板12贴近硅片的表面，从而将硅片上的液态玻璃摊匀；抛光组件包括固定在横杆16上的第三驱动装置19，第三驱动装置19的转动轴的端部设有第二电动推杆20，第二电动推杆20底部的刮刀21，第三驱动装置19可以带动第二电动推杆20及刮刀21转动，第二电动推杆20可以伸缩使刮刀21贴近硅片的表面，从而将硅片上烘干的玻璃层表面的细屑清除；第一轨道17包括两条在一平面内平行设置的两条导轨，每条导轨上均设有一抓取组件，抓取组件包括第三电动推杆2和设于第三电动推杆2底部的机械手3，第三电动推杆2通过伸缩可以带动机械手3升降，机械手3用于抓取硅片；第三电动推杆2与导轨之间设有第二滑车1，第二滑车1与导轨滑动连接，第二滑车1与抓取组件固定连接，第二滑车1上设有驱动第二滑车1沿导轨移动的第四驱动装置，第四驱动装置可以驱动第二滑车1从而带动抓取组件沿第一轨道17移动；机械手3设为与硅片的侧边匹配的弧形爪，弧形爪可沿水平方向移动，两根导轨上的弧形爪对称设置，即通过两个对称的弧形爪向内收缩即可将圆形的硅片夹起，两个对称的弧形爪向外散开即可将硅片放下；载物台15的台面上设有若干通孔13，通孔13底部连通有真空气缸14，通过真空气缸14可以将硅片牢牢的吸附在载物台15的台面上。
第一驱动装置、第二驱动装置10、第三驱动装置19、第四驱动装置均优选的采用伺服电机；第一驱动装置、第二驱动装置10、第三驱动装置19、第四驱动装置、流量检测装置7、第一电动推杆11、第二电动推杆20、第三电动推杆2、机械手3和真空气缸14均连接有PLC控制器，通过PLC控制器控制实现有序的运行。
本实用新型的具体工作方式如下：
携带硅片的抓取组件移动到滴浆组件的正下方，喷嘴8下降并喷出适量的玻璃浆到硅片上；抓取组件移动到匀浆组件的正下方，将硅片放置到载物台15上，匀浆组件将硅片表面的玻璃浆摊匀；抓取组件抓取硅片并移动到烘烤组件18的正上方，将硅片放入到烘烤组件18内进行烘烤；抓取组件抓取硅片并移动到抛光组件的正下方，将硅片放置到载物台15上，抛光组件将玻璃表面的细屑清除。
以上内容仅仅是对本实用新型的结构所作的举例和说明，所属本技术领域的技术人员对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，只要不偏离实用新型的结构或者超越本权利要求书所定义的范围，均应属于本实用新型的保护范围。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920064059.5
申请日:2019-01-15
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:37(山东)
授权编号:CN209119044U
授权时间:20190716
主分类号:H01L 21/56
专利分类号:H01L21/56;H01L21/67;H01L21/02
范畴分类:38F;23E;
申请人:高密飞仕龙达电子有限公司
第一申请人:高密飞仕龙达电子有限公司
申请人地址:261500 山东省潍坊市高密市盛泉街2333号（醴泉工业园内）
发明人:时琦
第一发明人:时琦
当前权利人:高密飞仕龙达电子有限公司
代理人:孟雪
代理机构:37221
代理机构编号:济南圣达知识产权代理有限公司
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计