基于柱面透镜Otto结构SPR效应的金属薄膜厚度测量方法

论文摘要

基于柱面透镜修正Otto结构产生的表面等离子体共振(SPR)效应,提出一种测量金属薄膜厚度的方法。该方法无需用s偏振光提取背景光强,可直接利用在p偏振光入射条件下得到的单幅SPR吸收图像拟合背景光强,进而得到竖直方向上的归一化反射率曲线。从而建立光学薄膜模型并拟合了反射率曲线,反演出待测金属薄膜的厚度参数。实验对一个纳米级厚度的Au膜样品进行测量,测量结果表明,Au膜的平均厚度与商用光谱椭偏仪的测量结果之差为0.1 nm,验证了该方法的有效性。

论文目录

• 1 引 言
• 2 基本原理
• 3 实验结果与讨论
• 4 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李桂运,谷利元,胡敬佩,朱玲琳,曾爱军,黄惠杰

关键词: 表面等离子体共振效应,柱面透镜,金属薄膜,厚度测量

来源: 中国激光 2019年02期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室,中国科学院大学

基金: 政府间国际科技创新合作重点专项(2016YFE0110600),国家自然科学基金(51605473),上海市国际科技合作基金(16520710500),上海市科技人才计划(17YF1429500),上海市青年科技英才扬帆计划(18YF1426500),青促会资助

分类号: TH74

页码: 159-164

总页数: 6

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