全文摘要
本实用新型公开的一种集成JBS结构,包括,版图,所述版图四角设置有主结P+,四个所述主结P+上设置有JBS区域,所述版图上设置有多晶栅,所述多晶栅之间设置有多晶窗口,所述版图上通过JBS区域连接一个正向二极管、一个反向二极管,所述正向二极管、反向二极管并联集成在一起,所述JBS区域电性连接并联集成在一起的正向二极管、反向二极管。所述多晶栅为多个,所述多晶栅为矩形的条状结构,相邻两个多晶栅之间设置有多晶窗口,所述多晶栅通过沉淀的方式设置在版图上。采用本实用新型,产品的正向VF降低,体硅二极管反向恢复时间Trr由正常的三百五十纳秒左右下降到一百五十纳秒左右,实现具有快恢复特性的高性能的VDMOS体硅二极管。
主设计要求
1.一种集成JBS结构,包括,版图(1),其特征在于,所述版图(1)四角设置有主结P+(101),四个所述主结P+(101)上设置有JBS区域(102),所述版图(1)上设置有多晶栅(103),所述多晶栅(103)之间设置有多晶窗口(104),所述版图(1)上通过JBS区域(102)连接一个正向二极管(201)、一个反向二极管(202),所述正向二极管(201)、反向二极管(202)并联集成在一起,所述JBS区域(102)电性连接并联集成在一起的正向二极管(201)、反向二极管(202)。
设计方案
1.一种集成JBS结构,包括,版图(1),其特征在于,所述版图(1)四角设置有主结P+(101),四个所述主结P+(101)上设置有JBS区域(102),所述版图(1)上设置有多晶栅(103),所述多晶栅(103)之间设置有多晶窗口(104),所述版图(1)上通过JBS区域(102)连接一个正向二极管(201)、一个反向二极管(202),所述正向二极管(201)、反向二极管(202)并联集成在一起,所述JBS区域(102)电性连接并联集成在一起的正向二极管(201)、反向二极管(202)。
2.根据权利要求1所述的一种集成JBS结构,其特征在于,所述多晶栅(103)为多个,所述多晶栅(103)为矩形的条状结构,相邻两个多晶栅(103)之间设置有多晶窗口(104),所述多晶栅(103)通过沉淀的方式设置在版图(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种集成JBS结构,其特征在于,所述主结P+(101)上的JBS区域(102)为多个。
4.根据权利要求1所述的一种集成JBS结构,其特征在于,所述正向二极管(201)、反向二极管(202)均为肖特基二极管,所述正向二极管(201)、反向二极管(202)内设置有沟道(301)和肖特基势垒(302),所述沟道(301)和肖特基势垒(302)均为多个,所述正向二极管(201)、反向二极管(202)与版图(1)之间设置有N+底衬(303)。
5.根据权利要求1所述的一种集成JBS结构,其特征在于,所述主结P+(101)、多晶栅(103)、多晶窗口(104)在版图(1)的正反面呈对称分布。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及电子器件技术领域,特别涉及一种集成JBS结构。
背景技术
目前优化VDMOS体硅二极管反向恢复特性主要从工艺上进行少子寿命控制:工艺一:采用进行掺金或铂处理,但金铂属于重金属,易导致生产线沾污,工艺不受控工艺二:采用电子辐照加低温退火,可以改善少子寿命,但存在少子寿命退化隐患。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷,提供一种集成JBS结构,克服现有技术中的部分的技术问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型一种集成JBS结构,包括,版图,所述版图四角设置有主结P+,四个所述主结P+上设置有JBS区域,所述版图上设置有多晶栅,所述多晶栅之间设置有多晶窗口,所述版图上通过JBS区域连接一个正向二极管、一个反向二极管,所述正向二极管、反向二极管并联集成在一起,所述JBS区域电性连接并联集成在一起的正向二极管、反向二极管。
优选的,所述多晶栅为多个,所述多晶栅为矩形的条状结构,相邻两个多晶栅之间设置有多晶窗口,所述多晶栅通过沉淀的方式设置在版图上。
优选的,所述所述主结P+上的JBS区域为多个。
优选的,所述正向二极管、反向二极管均为肖特基二极管,所述正向二极管、反向二极管内设置有沟道和肖特基势垒,所述沟道和肖特基势垒均为多个,所述正向二极管、反向二极管与版图之间设置有N+底衬。
优选的,所述主结P+、多晶栅、多晶窗口在版图的正反面呈对称分布。
本实用新型所达到的有益效果是:采用本实用新型,产品的正向VF降低,体硅二极管反向恢复时间Trr由正常的三百五十纳秒左右下降到一百五十纳秒左右,实现具有快恢复特性的高性能的VDMOS体硅二极管。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。
在附图中:
图1是本实用新型的版图的结构示意图;
图2是本实用新型的正向二极管和反向二极管组合结构示意图。
图中:版图1,主结P+101,JBS区域102,多晶栅103,多晶窗口104,正向二极管201,反向二极管202,沟道301,肖特基势垒302,N+底衬303。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例
如图1-2所示,本实用新型一种集成JBS结构,包括,版图1,所述版图1四角设置有主结P+101,四个所述主结P+101上设置有JBS区域102,所述版图1上设置有多晶栅103,所述多晶栅103之间设置有多晶窗口104,所述版图1上通过JBS区域102连接一个正向二极管201、一个反向二极管202,所述正向二极管201、反向二极管202并联集成在一起,所述JBS区域102电性连接并联集成在一起的正向二极管201、反向二极管202。
进一步地,所述多晶栅103为多个,所述多晶栅103为矩形的条状结构,相邻两个多晶栅103之间设置有多晶窗口104,所述多晶栅103通过沉淀的方式设置在版图1上。
进一步地,所述所述主结P+101上的JBS区域102为多个。
进一步地,所述正向二极管201、反向二极管202均为肖特基二极管,所述正向二极管201、反向二极管202内设置有沟道301和肖特基势垒302,所述沟道301和肖特基势垒302均为多个,所述正向二极管201、反向二极管202与版图1之间设置有N+底衬303。
进一步地,所述主结P+101、多晶栅103、多晶窗口104在版图1的正反面呈对称分布。
实施例:肖特基整流作用与PN结整流作用存在根本的区别,即PN结整流起因于少数载流子的注入,属于少子器件,肖特基整流不存在少数载流子的注入,因此也不存在反向恢复过程,JBS融合了二种二极管的优点,设计时保证在肖特基势垒零偏时PN结单元的耗尽层互不夹断,于是在正偏状态下,电流有多个沟道流过肖特基势垒302,在反偏下,空间电荷区扩展,于是就通过JFET作用将肖特基结屏蔽起来,使其不受外加电压的影响。
JBS的P+采用VDMOS分压环P+一起加工,不用增加额外光刻层,结构与工艺与平面VDMOS完全兼容,只需要占用版图1四个边角放置JBS就可,实现VD MOS版图完全集成JBS功能,极大改善VDMOS性能,尤其是体硅二极管性能优化,实现具有快恢复特性的高性能VDMOS产品,提高产品的性价比。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920075839.X
申请日:2019-01-17
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:92(厦门)
授权编号:CN209133510U
授权时间:20190719
主分类号:H01L 29/06
专利分类号:H01L29/06;H01L29/41
范畴分类:38F;
申请人:厦门中能微电子有限公司
第一申请人:厦门中能微电子有限公司
申请人地址:361000 福建省厦门市中国(福建)自由贸易试验区厦门片区嵩屿南二路99号1303室之822
发明人:黄种德;鄢细根
第一发明人:黄种德
当前权利人:厦门中能微电子有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签:肖特基势垒论文;