论文摘要
原子层沉积无机纳米薄膜技术广泛应用于军民领域。本文通过在原子层沉积系统加装原位石英晶体微天平测量系统,通过原位石英晶体微天平研究原子层沉积无机薄膜生长过程并进行薄膜厚度的在线测量。通过研究原子层沉积反应条件,实现原子层沉积无机薄膜厚度的石英晶体微天平在线测量结果替代薄膜厚度线下光学测量结果,解决各类复杂腔体内壁原子层沉积薄膜厚度无法精确测量的问题。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李建国,惠龙飞,秦利军,龚婷,张王乐
关键词: 原子层沉积,石英晶体微天平,原位测量
来源: 宇航计测技术 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 西安近代化学研究所
分类号: TB383.2
页码: 1-6
总页数: 6
文件大小: 764K
下载量: 120
相关论文文献
- [1].自动风环技术在薄膜厚度控制上的应用[J]. 石油化工技术与经济 2011(06)
- [2].基于激光外差干涉术的薄膜厚度测量方法[J]. 应用光学 2019(03)
- [3].薄膜厚度对飞秒激光烧蚀铜纳米薄膜的影响研究[J]. 科技通报 2017(01)
- [4].薄膜厚度对ZnO:Y薄膜结构及光电特性影响[J]. 人工晶体学报 2012(05)
- [5].椭偏透射法测量氢化非晶硅薄膜厚度和光学参数[J]. 物理学报 2008(03)
- [6].浅谈关于提升薄膜厚度测量精度的要素[J]. 轻工标准与质量 2020(05)
- [7].用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析[J]. 物理实验 2008(02)
- [8].X射线反散射法测量塑料薄膜厚度[J]. 广东微量元素科学 2012(08)
- [9].金属薄膜厚度小于电子自由程对其光反射率的影响[J]. 光子学报 2011(02)
- [10].积分光谱法测量塑料薄膜厚度研究[J]. 光谱学与光谱分析 2013(01)
- [11].等厚干涉法测量薄膜厚度的两种方法[J]. 安徽师范大学学报(自然科学版) 2012(01)
- [12].声表面波气敏传感器敏感薄膜厚度的研究[J]. 压电与声光 2009(04)
- [13].基于相位偏移干涉术的薄膜厚度测量方法[J]. 应用光学 2009(01)
- [14].薄膜厚度对ZnO:Ti透明导电薄膜光电性能的影响[J]. 太阳能学报 2011(05)
- [15].纳米TiO_2薄膜厚度与不锈钢基体对染料敏化太阳能电池的影响[J]. 功能材料 2008(10)
- [16].关于薄膜厚度精确测量的方法探析[J]. 轻工科技 2018(04)
- [17].精确测量薄膜厚度的方法[J]. 国外塑料 2012(01)
- [18].利用红外光谱仪快速测量塑料薄膜厚度[J]. 物理实验 2012(05)
- [19].BOPET薄膜厚度的调节[J]. 塑料包装 2010(03)
- [20].具有择优取向性的基材表面的薄膜厚度的X射线衍射测量修正[J]. 无损检测 2009(08)
- [21].一种提高薄膜厚度测量灵敏度的方法[J]. 材料开发与应用 2010(05)
- [22].基于CAV444的薄膜厚度测量电容传感器设计[J]. 桂林航天工业学院学报 2015(04)
- [23].基于相移干涉的显微镜薄膜厚度测量[J]. 工具技术 2009(10)
- [24].迈克尔逊干涉仪测薄膜厚度特殊实验现象的分析与数据论证[J]. 吉林化工学院学报 2014(05)
- [25].电阻法测试超薄膜厚度的研究[J]. 半导体光电 2012(04)
- [26].基于LSPR的非贵金属纳米薄膜厚度的精确测量[J]. 光电子·激光 2019(12)
- [27].喷涂工艺薄膜厚度模型的构建与应用[J]. 电子科技大学学报 2010(03)
- [28].ITO透明导电薄膜厚度与光电性能的关系[J]. 材料科学与工程学报 2012(01)
- [29].应用白光共焦光谱测量金属薄膜厚度[J]. 光学精密工程 2011(01)
- [30].基于NDIR的塑料薄膜厚度在线检测系统[J]. 现代电子技术 2016(11)