论文摘要
在多晶硅还原生产过程中,影响产品质量的因素主要有:硅芯氧化、爆米花、停炉倒棒。围绕还原生产过程中各个控制环节,提出如何提高多晶硅产品质量的措施。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杨丞杰,张新红
关键词: 多晶硅,质量控制,硅芯氧化
来源: 云南化工 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 湖北环宇化工有限公司,昆明有色冶金设计研究院股份公司
分类号: TQ127.2
页码: 4-6
总页数: 3
文件大小: 987K
下载量: 58
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