基于B样条模型的La2/3Sr1/3VO3薄膜介电函数分析

论文摘要

透明导电氧化物薄膜在光伏器件、平面显示器件中有着广泛的应用,其介电函数是薄膜材料器件化过程中不可忽略的基本物理参数。使用脉冲激光沉积技术,在（LaAlO3）0.3（Sr2AlTaO6）0.35（LSAT）基底上成功制备了La2/3Sr1/3VO3（LSVO）薄膜,并运用光谱椭偏仪测量了LSVO薄膜的椭偏光谱。先后用B样条模型和Lorentz+Tauc-Lorentz联合色散模型描述了材料的介电函数,并首次具体给出了LSVO薄膜的介电函数。结果表明,LSVO薄膜在1.24～5.06 eV光谱范围内存在3.41 eV和4.11 eV两个明显的光学跃迁,其中3.41 eV的跃迁峰为材料的光学带隙,与未掺杂的LaVO3材料相比,有着0.19 eV的红移;高能区域的4.11 eV的跃迁峰则源自于O 2p轨道和空置的V 4s轨道之间的电荷转移态激发跃迁。

论文目录

• 0 引言
• 1 实验
•   1.1 样品制备
•   1.2 椭圆偏振光谱测量
•   1.3 B样条模型
•   1.4 色散模型转化
• 2 讨论
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 赵明琳,童荣景,张少宇,胡友友

关键词: 薄膜,透明导电氧化物,样条,介电函数

来源: 应用激光 2019年05期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 江苏科技大学理学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(项目编号:11804126,11874185)

分类号: TB383.2

DOI: 10.14128/j.cnki.al.20193905.804

页码: 804-808

总页数: 5

文件大小: 517K

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