液晶玻璃面板光学检测仪器气浮平台系统参数优化设计

液晶玻璃面板光学检测仪器气浮平台系统参数优化设计

论文摘要

液晶玻璃平板在线检测流程当中,气膜的流场压力和速度的分布需要较高的稳定性,为了比较不同的气浮平台供气方式对气膜稳定性的影响,结合气体润滑理论,分析得出气膜稳定后的压力分布情况。通孔在气浮板上通常采用阵列排布,使用Gambit对气浮平台三维模型进行网格的划分,再将其导入软件Fluent中,对正压供气方式和正负压供气方式进行仿真计算,分析得到2种不同供气模式下气浮力的分布以及速度分布。由以上分析可得,若气浮系统中其余变量保持不变,正负压同时供气方式优势更加明显,气膜稳定后气浮力和速度分布平缓,所需气体的质量流量较正压供气方式更少。以正负压同时供气方式自制玻璃基板光学缺陷检测样机,实验结果表明气膜间隙变化量小于1μm。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 气浮平台的静特性方程
  •   2.1 2种供气方式的工作原理
  •   2.2 静特性方程
  • 3 数值仿真
  • 4 样机实验验证
  • 5 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 周杨,李程伟,徐筱波,张勇,黄斌

    关键词: 计量学,液晶玻璃面板,气浮支承,供气方式,仿真

    来源: 计量学报 2019年06期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技

    专业: 仪器仪表工业,电信技术

    单位: 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,京东方科技集团股份有限公司

    基金: 国家重大科学仪器设备开发专项(2013YQ220749)

    分类号: TH74;TN873.93

    页码: 994-999

    总页数: 6

    文件大小: 460K

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