Ⅲ-Ⅴ族半导体量子点和量子阱复合结构纳米材料光学特性研究

Ⅲ-Ⅴ族半导体量子点和量子阱复合结构纳米材料光学特性研究

论文摘要

Ⅲ-Ⅴ族半导体量子点和量子阱组合构成的复合结构低维材料具有更为灵活的能带结构调控能力和新颖的物理特性,己经被广泛应用于激光器、红外探测器、电光调制器、太阳能电池等光电子器件。深入研究半导体量子点和量子阱复合结构低维材料的光电特性及载流子动力学机制,对于提高纳米光电器件的性能和拓展其应用领域具有重要的意义。本论文围绕Ⅰ型能带结构InAs/GaAs量子点和I型能带结构InGaAs/GaAs量子阱的点加阱(QDW)耦合注入复合结构,II型能带结构GaSb量子点与GaAs基和InP基InGaAs/GaAs、GaAs/AlGaAs、InGaAs/InAlAs等几种I型能带结构量子阱组成的QDW和点在阱中(DWELL)复合结构,系统研究了复合结构的分子束外延生长条件和优化方法,利用多种测试手段对复合结构进行了形貌、组份和光学性能表征,深入分析阐述了复合结构的独特光学特性及载流子动力学等相关物理机制,所取得的创新性成果主要有:1.调控InP基InGaAs/InAlAs量子阱阱宽,实现了荧光波长范围覆盖光通信波段,通过研究量子阱界面效应为制备最佳量子阱异质结构提出了针对性的优化方案。对构建复合结构所需的GaAs基InAs/GaAs量子点、GaSb/GaAs量子点和InP基InGaAs/InAlAs量子阱的外延生长条件进行了实验优化。通过控制量子点的生长条件得到面密度合适、尺寸均匀的量子点。调控InP基InGaAs/InAlAs量子阱阱宽实现了荧光波长范围覆盖通信波段,实验测量结合理论模拟分析证实界面不完善对量子阱发光性能有显著影响,通过研究量子阱界面效应为制备最佳量子阱异质结构提出了针对性的优化要求。2.实验发现InAs/GaAs量子点和InGaAs/GaAs量子阱构成的QDW复合结构中存在特殊的载流子双共振隧穿机制。以InAs/GaAs量子点和InGaAs/GaAs量子阱构成QDW复合结构,量子阱承担载流子收集和储存层任务,将收集的载流子隧穿转移到QDs中,荧光谱测量和能级理论计算分析表明,复合结构中存在特殊的载流子双共振隧穿机制,即从量子阱的基态E0QW到QDs的第五激发态Es和从量子阱的第一激发态E1QW到量子点浸润层能级EWL。这种双共振隧穿引起了载流子的更快速转移和注入效率的提高,导致量子阱荧光寿命减小了一个量级,量子点荧光增强近3倍而载流子寿命却几乎没有改变。3.以Ⅱ型GaSb/GaAs量子点和I型InGaAs/GaAs量子阱构成人造Ⅱ型能带QDW复合结构,实验发现量子点浸润层(WL)对QDW内空穴的快速隧穿转移至关重要。以Ⅱ型GaSb/GaAs量子点加I型InGaAs/GaAs量子阱外延生长构成人造⒈型能带QDW复合结构,这种复合结构利用Ⅰ型量子阱直接带隙、吸收截面大的特点,可将其作为电子储存层和空穴注入层,使空穴通过隧穿或转移等方式注入到量子点中。实验发现WL具有快速转移QW空穴到量子点的能力,但是实验也证明复合结构中的WL可以表现出较强的激子局域化效应,在一定程度上削弱量子点的空穴俘获效率。因此提出构建高质量QDW复合结构必须优化GaSb量子点WL,抑制其激子局域化效应。4.提出了QDW和DWELL复合结构优化方案,获得了较Ⅰ型量子阱直接跃迁显著增强的Ⅱ型能带复合结构材料发光。对GaSb/AlGaAs量子点和GaAs/AlGaAs量子阱构成的QDW复合结构进行优化,通过增加量子点面密度和引入宽带隙AlGaAs势垒层等一系列改进措施,成功抑制WL对载流子的局域化,提高了空穴隧穿注入量子点效率,获得了较Ⅰ型量子阱直接跃迁显著增强的Ⅱ型量子点发光。在此基础上,还制备了AlGaAs势垒包围GaSb/GaAs量子点的DWELL复合结构,这种嵌入式复合结构所形成的特殊能带调控使载流子俘获更为直接有效,获得比QDW复合结构更强的Ⅱ型量子点发光。5.以InP基GaSb/InAlAs量子点和InGaAs/InAlAs量子阱构成的QDW复合结构,获得超过2μm的Ⅱ型量子点发光。组合InP基GaSb/InAlAs量子点和InGaAs/InAlAs量子阱外延生长获得QDW复合结构,通过调控QDW复合结构中量子点、量子阱和间隔层等相关参数,可以实现较大的带隙调节范围,当GaSb/InAlAs量子点和InGaAs/InAlAs量子阱的发光波长都调控到~1.5μm时,QDW复合结构发光波长可超过2μm。同时发现,QDW中Ⅱ型GaSb量子点发光强度均显著强于单层GaSb/InAlAs量子点或InGaAs/InAlAs量子阱。通过对以上几种半导体量子点和量子阱组成的QDW和DWELL复合结构的实验研究,证明与单一量子阱和单一量子点结构相比,复合结构的设计与制造拥有更多的选择,量子点尺寸、量子阱阱宽、各层材料组份、间隔层厚度和势垒层材料选择等,都可作为调控复合结构载流子布居、隧穿转移、辐射复合波长和寿命等光学特性的途径,用于改善或定制光电器件的性能。因此,半导体量子点和量子阱构成的复合结构是有效实行能带工程、改善和调控半导体低维量子结构材料物理特性、拓宽低维量子结构纳米材料应用领域的一种有效方案。

论文目录

  • 致谢
  • 摘要
  • ABSTRACT
  • 1 绪论
  •   1.1 低维半导体材料
  •   1.2 Ⅲ-Ⅴ族半导体量子点
  •   1.3 Ⅲ-Ⅴ族半导体量子点和量子阱的复合结构
  •     1.3.1 QDW复合结构
  •     1.3.2 DWELL复合结构
  •     1.3.3 复合结构应用现状及存在的问题
  •   1.4 本论文的研究工作
  •   参考文献
  • 2 Ⅲ-Ⅴ族半导体纳米材料的特性、制备与表征
  •   2.1 Ⅲ-Ⅴ族半导体量子阱和量子点结构的特性
  •     2.1.1 半导体量子阱特性
  •     2.1.2 半导体量子点特性
  •   2.2 Ⅲ-Ⅴ族半导体纳米材料的制备技术
  •     2.2.1 分子束外延(MBE)技术
  •     2.2.2 自组织半导体量子点的生长
  •     2.2.3 半导体量子阱的生长
  •   2.3 原子力扫描显微镜(AFM)
  •   2.4 透射电子显微镜(TEM)
  •   2.5 X射线衍射(XRD)
  •   2.6 光致发光测试系统
  •     2.6.1 光致发光原理
  •     2.6.2 光致发光技术
  •     2.6.3 光致发光实验装置
  •   2.7 本章小结
  •   参考文献
  • 3 量子点和量子阱的制备与优化
  •   3.1 InAs/GaAs量子点的制备与优化
  •     3.1.1 GaAs覆盖层厚度对双模自组织InAs QD的影响
  •     3.1.2 InAs QD生长速率对量子点面密度的影响研究
  •   3.2 GaSb/GaAs量子点的制备与优化
  •     3.2.1 GaSb量子点随生长速率的变化
  •     3.2.2 GaSb量子点随淀积层厚度的变化
  •   3.3 InP基InGaAs/InAlAs量子阱的制备与优化
  •     3.3.1 不同阱宽InGaAs/InAlAs量子阱的制备与发光波长调控
  •     3.3.2 InGaAs/InAlAs量子阱的激子局域化
  •   3.4 本章小结
  •   参考文献
  • 4 InAs/InGaAs量子点/量子阱复合结构
  •   4.1 样品制备和形貌结构分析
  •   4.2 低温低激发PL测量
  •   4.3 变激发功率PL谱
  •   4.4 PLE谱
  •   4.5 变温度PL谱
  •   4.6 TRPL谱
  •   4.7 本章小结
  •   参考文献
  • 5 GaSb/(In)GaAs量子点/量子阱复合结构
  •   5.1 GaSb/GaAs量子点和InGaAs/GaAs量子阱QDW复合结构
  •     5.1.1 QDW样品制备和形貌
  •     5.1.2 低温低激发功率密度PL谱
  •     5.1.3 变激发功率PL谱
  •     5.1.4 变温度PL谱
  •     5.1.5 PLE谱
  •     5.1.6 TRPL谱
  •     5.1.7 本节小结
  •   5.2 GaSb/AlGaAs量子点和GaAs/AlGaAs量子阱QDW复合结构
  •     5.2.1 GaSb/AlGaAs量子点的制备和光学特性
  •     5.2.2 QDW复合结构的制备和光学特性
  •     5.2.3 本节小结
  •   5.3 GaSb量子点嵌入GaAs/AlGaAs量子阱的DWELL结构
  •     5.3.1 样品制备与结构
  •     5.3.2 变激发功率密度PL谱
  •     5.3.3 TRPL谱和PLE谱测试
  •     5.3.4 本节小结
  •   5.4 InP基GaSb/InAlAs量子点和InGaAs/InAlAs量子阱复合结构
  •     5.4.1 GaSb/InAlAs量子点的制备和光学性质
  •     5.4.2 GaSb/InAlAs量子点和InGaAs/InAlAs量子阱复合结构
  •     5.4.3 本节小结
  •   5.5 本章小结
  •   参考文献
  • 6 总结与展望
  •   6.1 主要工作总结
  •   6.2 未来工作展望
  • 作者简历及攻读博士学位期间取得的研究成果
  • 学位论文数据集
  • 文章来源

    类型: 博士论文

    作者: 王颖

    导师: 盛新志

    关键词: 半导体量子点,半导体量子阱,复合结构,型能带结构,载流子动力学

    来源: 北京交通大学

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,信息科技

    专业: 物理学,材料科学,无线电电子学

    单位: 北京交通大学

    基金: 国家自然科学基金

    分类号: O471.1;TB383.1

    总页数: 136

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