硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置论文和设计-张忠安

全文摘要

本实用新型公开了硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，包括支撑操作台，所述支撑操作台的顶部四角外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑柱，且四个支撑柱的顶部外壁均通过螺栓连接有同一个水平设置的第二支撑顶板，所述第二支撑顶板的底部中央外壁设置有第一凹槽，且第一凹槽的内壁通过螺栓连接有竖直设置的液压缸，所述液压缸的底部外壁通过螺栓连接有水平设置的第一支撑顶板。本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，通过设置有环形支撑块和固定螺栓，可以将单晶硅棒的一端放在环形支撑块内，并由固定螺栓将其固定，将单晶硅棒的另一端放在支撑块上，实现了非常便捷稳定的固定单晶硅棒的效果。

主设计要求

1.硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，包括支撑操作台(16)，其特征在于，所述支撑操作台(16)的顶部四角外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑柱(10)，且四个支撑柱(10)的顶部外壁均通过螺栓连接有同一个水平设置的第二支撑顶板(9)，所述第二支撑顶板(9)的底部中央外壁设置有第一凹槽，且第一凹槽的内壁通过螺栓连接有竖直设置的液压缸(7)，所述液压缸(7)的底部外壁通过螺栓连接有水平设置的第一支撑顶板(8)，且第一支撑顶板(8)的底部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直设置的第一支撑板(5)，其中一个所述第一支撑板(5)的一侧中部外壁通过螺栓连接有第一转动电机(4)，且第一转动电机(4)的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第一转动轴(3)，所述第一转动轴(3)的另一端外壁通过螺栓连接有水平设置的滚磨柱(6)，且滚磨柱(6)的另一端外壁通过轴承与另一个第一支撑板(5)的一侧底部外壁连接，所述支撑操作台(16)的顶部一侧外壁设置有第二凹槽，且第二凹槽的底部一侧内壁通过螺栓连接有支撑块(2)，所述支撑操作台(16)的另一侧顶部外壁通过螺栓连接有第二转动电机(13)，且第二转动电机(13)的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第二转动轴(14)，所述第二转动轴(14)的另一端外壁通过螺栓连接有限位板(15)，且限位板(15)的另一侧外壁通过螺栓连接有环形固定块(12)，所述环形固定块(12)的顶部中央外壁设置有第一通孔，且第一通孔的内壁通过螺纹连接有竖直设置的固定螺栓(11)。

设计方案

2.根据权利要求1所述的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，其特征在于，所述支撑操作台(16)的顶部一侧外壁通过铰链连接有挡板(22)，且挡板(22)的顶部中央外壁通过螺栓连接有提拉把手(21)。

3.根据权利要求2所述的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，其特征在于，所述挡板(22)的底部两侧外壁均通过螺栓连接有第二支撑板(23)。

4.根据权利要求3所述的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，其特征在于，其中一个所述第二支撑板(23)的一侧中部外壁通过螺栓连接有第三转动电机(25)，所述第三转动电机(25)的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第三转动轴，且第三转动轴的另一端外壁通过轴承与另一个第二支撑板(23)的一侧外壁连接，第三转动轴的圆周外壁通过螺栓套接有切割齿轮(24)。

5.根据权利要求4所述的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，其特征在于，所述支撑操作台(16)的底部中央外壁通过螺栓连接有储渣箱体(17)，且储渣箱体(17)的底部内壁通过螺栓连接有支撑斜板(20)，所述储渣箱体(17)一端的底部外壁设置有第一开口，且第一开口的顶部外壁通过铰链连接有保护盖(19)，所述保护盖(19)一端的中部外壁通过螺栓连接有拉伸把手(18)。

6.根据权利要求5所述的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，其特征在于，所述支撑操作台(16)的底部中央外壁设置有第二通孔，所述支撑操作台(16)的底部四角外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑腿(1)。

7.根据权利要求6所述的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，其特征在于，所述第一转动电机(4)、第二转动电机(13)、第三转动电机(25)和液压缸(7)均通过导线电性连接有开关，且开关通过导线电性连接有电源。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒生产技术领域，尤其涉及硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置。

背景技术

单晶硅作为一种重要的半导体材料，具有良好的电学性能和热稳定性。硅材料因其具有耐高温和抗辐射性能较好，特别适用于制作大功率器件的特性而成为应用最多的一种半导体材料，集成电路半导体器件大多数硅材料制成的。硼镓共掺杂直拉单晶硅棒从单晶炉中拉制出来以后需要进行一系列的工序，前期包括截断、开方、圆角研磨和平面研磨等机械加工，中期还需要将单晶硅棒进行滚磨、切片、清洗、倒角、研磨和再清洗等工，后期将硅片进行制绒、扩散、结晶和烧结等工序。

在单晶硅棒的生产过程中，滚磨处理能够有效对单晶硅棒进行外形塑形，会用到一种单晶硅棒的生产装置，现有的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒生产装置在对单晶硅棒进行滚磨处理时，存在滚磨不全面，滚磨效果差的问题，因此需要设计一种新型的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，包括支撑操作台，所述支撑操作台的顶部四角外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑柱，且四个支撑柱的顶部外壁均通过螺栓连接有同一个水平设置的第二支撑顶板，所述第二支撑顶板的底部中央外壁设置有第一凹槽，且第一凹槽的内壁通过螺栓连接有竖直设置的液压缸，所述液压缸的底部外壁通过螺栓连接有水平设置的第一支撑顶板，且第一支撑顶板的底部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直设置的第一支撑板，其中一个所述第一支撑板的一侧中部外壁通过螺栓连接有第一转动电机，且第一转动电机的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第一转动轴，所述第一转动轴的另一端外壁通过螺栓连接有水平设置的滚磨柱，且滚磨柱的另一端外壁通过轴承与另一个第一支撑板的一侧底部外壁连接，所述支撑操作台的顶部一侧外壁设置有第二凹槽，且第二凹槽的底部一侧内壁通过螺栓连接有支撑块，所述支撑操作台的另一侧顶部外壁通过螺栓连接有第二转动电机，且第二转动电机的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第二转动轴，所述第二转动轴的另一端外壁通过螺栓连接有限位板，且限位板的另一侧外壁通过螺栓连接有环形固定块，所述环形固定块的顶部中央外壁设置有第一通孔，且第一通孔的内壁通过螺纹连接有竖直设置的固定螺栓。

优选的，所述支撑操作台的顶部一侧外壁通过铰链连接有挡板，且挡板的顶部中央外壁通过螺栓连接有提拉把手。

优选的，所述挡板的底部两侧外壁均通过螺栓连接有第二支撑板。

优选的，其中一个所述第二支撑板的一侧中部外壁通过螺栓连接有第三转动电机，所述第三转动电机的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第三转动轴，且第三转动轴的另一端外壁通过轴承与另一个第二支撑板的一侧外壁连接，第三转动轴的圆周外壁通过螺栓套接有切割齿轮。

优选的，所述支撑操作台的底部中央外壁通过螺栓连接有储渣箱体，且储渣箱体的底部内壁通过螺栓连接有支撑斜板，所述储渣箱体一端的底部外壁设置有第一开口，且第一开口的顶部外壁通过铰链连接有保护盖，所述保护盖一端的中部外壁通过螺栓连接有拉伸把手。

优选的，所述支撑操作台的底部中央外壁设置有第二通孔，所述支撑操作台的底部四角外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑腿。

优选的，所述第一转动电机、第二转动电机、第三转动电机和液压缸均通过导线电性连接有开关，且开关通过导线电性连接有电源。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，通过设置有限位块，并在限位块的一侧设置有环形支撑块和固定螺栓，可以将单晶硅棒的一端放在环形支撑块内，并由固定螺栓将其固定，将单晶硅棒的另一端放在支撑块上，实现了非常便捷稳定的固定单晶硅棒的效果。

2、本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，通过设置有第一转动电机、第一转动轴和滚磨柱，并由第一转动电机带动第一转动轴和滚磨柱转动，可以通过转动的滚磨柱对单晶硅棒进行滚磨处理，同时，由第二转动电机带动单晶硅棒进行转动，可以对单晶硅棒实现全面有效的滚磨。

3、本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，通过设置有第三转动电机，并由第三转动电机带动切割齿轮转动，可以将滚磨处理后的单晶硅棒进行切割处理，实现单晶硅棒有效的生产。

4、本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，通过在支撑操作台的底部设置有储渣箱体，可以对滚磨产生的灰尘进行收集，避免尘渣影响工作环境，危害工作人员，因此上述设置提高了装置使用的安全性和环保性。

附图说明

图1为本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置的剖面结构示意图；

图2为本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置的储渣箱体侧面结构示意图；

图3为本实用新型提出的硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置的切割齿轮结构示意图。

图中：1支撑腿、2支撑块、3第一转动轴、4第一转动电机、5第一支撑板、6滚磨柱、7液压缸、8第一支撑顶板、9第二支撑顶板、10支撑柱、11固定螺栓、12环形固定块、13第二转动电机、14第二转动轴、15限位块、16支撑操作台、17储渣箱体、18拉伸把手、19保护盖、20支撑斜板、21提拉把手、22挡板、23第二支撑板、24切割齿轮、25第三转动电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-3，硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置，包括支撑操作台16，支撑操作台16的顶部四角外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑柱10，且四个支撑柱10的顶部外壁均通过螺栓连接有同一个水平设置的第二支撑顶板9，第二支撑顶板9的底部中央外壁设置有第一凹槽，且第一凹槽的内壁通过螺栓连接有竖直设置的液压缸7，液压缸7的底部外壁通过螺栓连接有水平设置的第一支撑顶板8，且第一支撑顶板8的底部两侧外壁均通过螺栓连接有竖直设置的第一支撑板5，其中一个第一支撑板5的一侧中部外壁通过螺栓连接有第一转动电机4，且第一转动电机4的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第一转动轴3，第一转动轴3的另一端外壁通过螺栓连接有水平设置的滚磨柱6，且滚磨柱6的另一端外壁通过轴承与另一个第一支撑板5的一侧底部外壁连接，由第一转动电机4带动第一转动轴3和滚磨柱6转动，可以通过转动的滚磨柱6对单晶硅棒进行滚磨处理，支撑操作台16的顶部一侧外壁设置有第二凹槽，且第二凹槽的底部一侧内壁通过螺栓连接有支撑块2，支撑操作台16的另一侧顶部外壁通过螺栓连接有第二转动电机13，且第二转动电机13的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第二转动轴14，第二转动轴14的另一端外壁通过螺栓连接有限位板15，且限位板15的另一侧外壁通过螺栓连接有环形固定块12，环形固定块12的顶部中央外壁设置有第一通孔，且第一通孔的内壁通过螺纹连接有竖直设置的固定螺栓11。

本实用新型中，支撑操作台16的顶部一侧外壁通过铰链连接有挡板22，且挡板22的顶部中央外壁通过螺栓连接有提拉把手21，挡板22的底部两侧外壁均通过螺栓连接有第二支撑板23，其中一个第二支撑板23的一侧中部外壁通过螺栓连接有第三转动电机25，第三转动电机25的输出轴通过螺栓连接有水平设置的第三转动轴，且第三转动轴的另一端外壁通过轴承与另一个第二支撑板23的一侧外壁连接，第三转动轴的圆周外壁通过螺栓套接有切割齿轮24，支撑操作台16的底部中央外壁通过螺栓连接有储渣箱体17，且储渣箱体17的底部内壁通过螺栓连接有支撑斜板20，储渣箱体17一端的底部外壁设置有第一开口，且第一开口的顶部外壁通过铰链连接有保护盖19，保护盖19一端的中部外壁通过螺栓连接有拉伸把手18，支撑操作台16的底部中央外壁设置有第二通孔，支撑操作台16的底部四角外壁均通过螺栓连接有竖直设置的支撑腿1，第一转动电机4、第二转动电机13、第三转动电机25和液压缸7均通过导线电性连接有开关，且开关通过导线电性连接有电源。

工作原理：使用时，将液压缸7连接与液压系统，在本装置空闲处，将上述中所有驱动件，其指代动力元件、电器件以及适配的电源通过导线进行连接，各电器件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明，接着将单晶硅棒的一端放在环形支撑块12内，并将单晶硅棒的另一端外壁放在支撑块2上，然后转动固定螺栓11，使其将单晶硅棒固定，并启动第一转动电机4和液压缸7，由液压缸7将滚磨柱6靠近单晶硅棒的表面，由第一转动电机4带动第一转动轴3和滚磨柱6转动，可以通过转动的滚磨柱6对单晶硅棒进行滚磨处理，同时，启动第二转动电机13，使第二转动电机13与第一转动电机4朝相反方向转动，由第二转动电机13带动单晶硅棒进行转动，可以对单晶硅棒实现全面有效的滚磨，滚磨结束后，启动第三转动电机25，由第三转动电机25带动切割齿轮24转动，可以将滚磨处理后的单晶硅棒进行切割处理，实现单晶硅棒有效的生产。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

设计图

硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置论文和设计

硼镓共掺杂直拉单晶硅棒的生产装置论文和设计-张忠安

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