论文摘要
激光干涉仪主要是依靠激光波长作为长度计量单位的高精度测量设备,双频激光干涉仪的应用,借助于自身性能稳定、检测精确度高以及数据信息可靠等优势,逐渐成为高精密机械检测中的重要仪器,在机床精度检测过程中得到了非常普遍的应用。本文主要分析了激光干涉仪的基本原理,探讨了其在机床精度检测中的测量误差及控制策略,以期进一步促进其检测结果精准度的提升。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘丽
关键词: 激光干涉仪,机床,精度检测
来源: 装备维修技术 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技
专业: 金属学及金属工艺,仪器仪表工业,自动化技术
单位: 大连机床集团有限责任公司计量中心
分类号: TH744.3;TG659
DOI: 10.16648/j.cnki.1005-2917.2019.02.050
页码: 69+78
总页数: 2
文件大小: 1744K
下载量: 200
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