基于微电铸工艺的镍微型惯性开关的研制

论文摘要

为满足安全气囊辅助系统对信号识别的可靠性要求,采用UV-LIGA叠层光刻和精密微电铸工艺在不锈钢基底上制作了一款轴向触发的镍微型惯性开关,其利用阿基米德螺旋梁结构来支撑悬空质量块,中心止挡柱作为螺旋梁过载保护结构,开关敏感方向垂直于衬底的方向。在制作过程中,引入了掩膜版线宽误差补偿的方法,降低了因胶膜溶胀与无机酸去胶等工艺带来的尺寸误差,通过煮沸的无机酸去除胶膜得到了结构完整的开关。最终制作出了整体尺寸为3850μm×3850μm×240μm、最小线宽尺寸为40μm的开关,并通过落锤试验对开关进行动态特性测试。

论文目录

• 1 开关设计
•   1.1 理论分析和结构模型
•   1.2 模态分析
• 2 开关制作
•   2.1 基板预处理
•   2.2 第一层结构的制作
•   2.3 第二到六层结构的制作
•   2.4 无机酸去胶
•   2.5 线宽补偿
• 3 开关动态性能测试
• 4 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 杜立群,王伟泰,杜成权,刘旭强,赵剑

关键词: 微型惯性开关,误差补偿,落锤试验

来源: 电加工与模具 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,大连理工大学辽宁省微纳米及系统重点实验室,大连理工大学汽车工程学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(51475245)

分类号: TG661

页码: 47-51

总页数: 5

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