全文摘要
本实用新型涉及一种加热丝中介间隔件和用于化学气相沉积的加热子系统。所述加热丝中介间隔件或具有加热丝中介间隔件的加热子系统防止加热线圈的各部分之间出现非所要的电耦合。
主设计要求
1.一种加热丝中介间隔件，其特征在于其包括：多个柱；托架，其配置成至少部分地围绕加热器线圈；以及绝缘间隔物，其以机械方式耦合到所述托架且配置成防止所述加热器线圈中被所述托架至少部分地围绕的第一部分和所述加热器线圈中没有被所述托架至少部分地围绕的第二部分之间出现电接触。
设计方案
1.一种加热丝中介间隔件，其特征在于其包括：
多个柱；
托架，其配置成至少部分地围绕加热器线圈；以及
绝缘间隔物，其以机械方式耦合到所述托架且配置成防止所述加热器线圈中被所述托架至少部分地围绕的第一部分和所述加热器线圈中没有被所述托架至少部分地围绕的第二部分之间出现电接触。
2.根据权利要求1所述的加热丝中介间隔件，其特征在于其还包括第二绝缘间隔物，所述第二绝缘间隔物以机械方式耦合到所述托架且配置成防止所述加热器线圈的所述第一部分和所述加热器线圈中没有被所述托架至少部分地围绕的第三部分之间出现电接触。
3.根据权利要求1所述的加热丝中介间隔件，其特征在于所述多个柱包括两个柱。
4.根据权利要求1所述的加热丝中介间隔件，其特征在于所述多个柱中的每一个耦合到凸缘。
5.根据权利要求4所述的加热丝中介间隔件，其特征在于所述凸缘中的每一个耦合到凸榫。
6.根据权利要求5所述的加热丝中介间隔件，其特征在于对于每一个柱：
所述托架耦合到所述柱的第一端部；
所述凸缘的第一端部耦合到所述柱中与所述柱的所述第一端部相对的第二端部；
所述凸榫的第一端部耦合到所述凸缘中与所述凸缘的所述第一端部相对的第二端部，
并且其中所述凸榫配置成与邻近结构中的榫眼配合。
7.根据权利要求6所述的加热丝中介间隔件，其特征在于所述柱、所述凸缘和所述凸榫中的至少一个包括电绝缘材料。
8.根据权利要求1所述的加热丝中介间隔件，其特征在于所述绝缘间隔物包括电绝缘材料。
9.根据权利要求8所述的加热丝中介间隔件，其特征在于所述电绝缘材料是氧化铝、氧化锆、块滑石、堇青石和氮化硼中的一种。
10.一种用于化学气相沉积的加热子系统，其特征在于所述加热子系统包括：
布置成蛇形形状的导电加热器线圈；
沿着所述加热器线圈布置的多个加热丝中介间隔件，所述加热丝中介间隔件中的每一个包括：
多个柱；
托架，其配置成至少部分地围绕所述加热器线圈；以及
绝缘间隔物，其以机械方式耦合到所述托架且配置成防止所述加热器线圈中被所述托架至少部分地围绕的第一部分和所述加热器线圈中没有被所述托架至少部分地围绕的第二部分之间出现电接触。
11.根据权利要求10所述的加热子系统，其特征在于所述加热器线圈包括多个加热器线圈段。
12.根据权利要求10所述的加热子系统，其特征在于所述多个加热丝中介间隔件各自还包括第二绝缘间隔物，所述第二绝缘间隔物以机械方式耦合到所述托架且配置成防止所述加热器线圈的所述第一部分和所述加热器线圈中没有被所述托架至少部分地围绕的第三部分之间出现电接触。
13.根据权利要求10所述的加热子系统，其特征在于所述多个柱中的每一个耦合到凸缘，并且其中所述凸缘中的每一个耦合到凸榫。
14.根据权利要求10所述的加热子系统，其特征在于所述绝缘间隔物包括电绝缘材料。
15.根据权利要求14所述的加热子系统，其特征在于所述电绝缘材料是氧化铝、氧化锆、块滑石、堇青石和氮化硼中的一种。
设计说明书
技术领域
本实用新型大体上涉及半导体制造技术，并且更具体地说，涉及用于在处理期间固持半导体晶片的化学气相沉积(CVD)处理和相关联的设备。
背景技术
在制造发光二极管(LED)和激光二极管、光学检测器和场效应晶体管等其它高性能装置中，通常使用化学气相沉积(CVD)工艺并使用氮化镓等材料在蓝宝石或硅衬底上生长薄膜堆叠结构。CVD工具包含处理室，处理室是密封环境，它允许注入的气体在衬底(通常呈晶片形式)上进行反应以生长薄膜层。此类制造设备的当前产品线的实例是由纽约普莱恩维尤的维易科仪器公司(Veeco Instruments Inc.)制造的 设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920057402.3
申请日:2019-01-14
公开号:公开日:国家:US
国家/省市:US(美国)
授权编号:CN209798102U
授权时间:20191217
主分类号:C23C16/46
专利分类号:C23C16/46;C30B25/10;H01L21/67
范畴分类:25F;
申请人:威科仪器有限公司
第一申请人:威科仪器有限公司
申请人地址:美国纽约州
发明人:P·S·维兰;陈浩;J·兰姆
第一发明人:P·S·维兰
当前权利人:威科仪器有限公司
代理人:张晓媛
代理机构:11287
代理机构编号:北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：化学气相沉积论文;