基于电铸微凸点形貌演变制作微透镜阵列研究

论文摘要

微凸点阵列器件的制备及其一致性是微加工领域的难点问题。使用有限元方法对镍电铸过程中的流场分布、反应离子的物质输运以及电化学反应动力学进行耦合,结合网格变形几何技术,实现了不同电流密度和不同阵列节距微凸点电沉积过程形貌的动态仿真,结果表明:小电流密度有利于形成一致性良好的不同填充比的微凸点阵列。并针对电流密度为1 A/dm2,孔径30μm,深50μm,节距分别为150,180,210μm的微孔阵列进行了电铸实验,得到了不同电铸时间下微凸点阵列的沉积形貌,结果与数值模拟面形演变过程相吻合,同时,所得球面形阵列微凸点的底径误差在5μm以内,表现出很好的一致性。并以金属质球凸阵列为模板,结合翻模技术,提出了一种新的微透镜阵列制作方法。

论文目录

• 0 引言
• 1 微电铸凸点演变过程的数值计算
•   1.1 几何模型的建立
•   1.2 模型控制方程
•   1.3 模拟结果分析与讨论
• 2 微电铸实验和分析
•   2.1 实验
•   2.2 不同节距微孔阵列面形演变研究
•   2.3 微透镜阵列的制备
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 谷化雨,孙浩,王翔

关键词: 镍电铸,微凸点阵列,数值模拟,面形演变,微透镜阵列

来源: 传感器与微系统 2019年02期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 无机化工,仪器仪表工业,电力工业

单位: 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

基金: 安徽省自然科学基金资助项目(11040606M109)

分类号: TQ153.4;TH74

DOI: 10.13873/j.1000-9787(2019)02-0005-04

页码: 5-8

总页数: 4

文件大小: 998K

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