导读:本文包含了偏折仪论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:软X射线激光,Ronchi光栅,紫外光刻,离子束刻蚀
偏折仪论文文献综述
徐向东,洪义麟,刘颖,傅绍军,王占山[1]（2005）在《软X射线偏折仪用自支撑莫尔光栅研制》一文中研究指出介绍了莫尔光栅制作的主要方法和进展。利用紫外光刻、离子束刻蚀技术制作自支撑金莫尔光栅,讨论了金膜厚度要求、电镀金膜质量和光栅占空比控制等影响莫尔光栅质量的关键技术问题。实验结果表明,通过设计较小占空比的光栅掩模、紫外光刻时擦除基片边缘的光刻胶棱以消除衍射效应、离子束刻蚀时基片倾斜一定的角度旋转刻蚀等措施可以改善自支撑金莫尔光栅的占空比。(本文来源于《微细加工技术》期刊2005年01期）
王琛,傅思祖,顾援,王世绩,杨军[2]（2000）在《用于高温等离子体电子密度测量的摩尔偏折仪》一文中研究指出摩尔偏析测量术通过测量探针光束经过不均匀介质后光线的偏折来估算介质 的折射率。基于这一理论，研制了实用的摩尔偏折仪，利用软Ｘ射线激光作为探针来探测高温 高密等离子体的电子密度，结合软Ｘ射线激光实验做了初步的演示。(本文来源于《强激光与粒子束》期刊2000年04期）
贺安之,阎大鹏,倪晓武,王海林[3]（1991）在《实时大口径高灵敏度、高精度莫尔偏折仪的设计和应用》一文中研究指出本文介绍了利用Talbot效应制作自成像光栅和泰曼干涉仪实时制作光栅来形成消除系统误差的大口径、高灵敏度、高精度莫尔偏折仪的设计方法和原理;并利用这种偏折仪获得了火箭燃气射流冲击效应场的莫尔偏折图和高超音速激波风洞中非对称流场的多方向莫尔偏折图,为定量计算瞬态流场打下了基础。(本文来源于《中国激光》期刊1991年11期）
偏折仪论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
摩尔偏析测量术通过测量探针光束经过不均匀介质后光线的偏折来估算介质 的折射率。基于这一理论，研制了实用的摩尔偏折仪，利用软Ｘ射线激光作为探针来探测高温 高密等离子体的电子密度，结合软Ｘ射线激光实验做了初步的演示。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
偏折仪论文参考文献
[1].徐向东,洪义麟,刘颖,傅绍军,王占山.软X射线偏折仪用自支撑莫尔光栅研制[J].微细加工技术.2005
[2].王琛,傅思祖,顾援,王世绩,杨军.用于高温等离子体电子密度测量的摩尔偏折仪[J].强激光与粒子束.2000
[3].贺安之,阎大鹏,倪晓武,王海林.实时大口径高灵敏度、高精度莫尔偏折仪的设计和应用[J].中国激光.1991