基于SOI的低横向灵敏度压阻式加速度计的设计

论文摘要

提出了一种非同一平面的双弯曲梁的压阻式加速度计,在加速度作用下该结构梁的质心与质量块的质心对齐,从而实现低横向效应。利用SOLIDWORKS软件建立了结构模型,并用Comsol仿真软件和有限元ANSYS仿真软件对其进行静态分析、模态分析和电学性能分析。分析了影响频率和灵敏度的相关参数,对加速度计的结构参数进行了优化。设计了一套版图以及工艺加工方案,采用微电子机械系统(MEMS)标准工艺完成了加速度计的制备。最后进行精密离心机测试,结果表明该结构的加速度计具有较低的横轴灵敏度,其中X轴的横向灵敏度为0.078%,Y轴的横向灵敏度为0.002%,比较高的主轴灵敏度,Z轴灵敏度为0.64 mV/g。

论文目录

• 0 引言
• 1 加速度计的工作原理
• 2 加速度计的结构设计与仿真分析
•   2.1 敏感梁的设计
•   2.2 压敏电阻设计及布局
•   2.3 静态分析
•   2.4 模态分析
•   2.5 电学性能分析
• 3 工艺设计
• 4 测试
• 5 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 林立娜,梁庭,李鑫,杨娇燕,李奇思,雷程

关键词: 压阻式加速度计,微电子机械系统,绝缘体上硅,低横向灵敏度,有限元仿真

来源: 微纳电子技术 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 中北大学电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

基金: 国家自然科学基金杰出青年基金资助项目(51425505)

分类号: TH824.4

DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.06.008

页码: 466-472

总页数: 7

文件大小: 1659K

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