微立体光刻论文_张园豪,陈韦岑,吴大伟

导读:本文包含了微立体光刻论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:光刻,原型,快速,树脂,复合材料,微结构,分辨率。

微立体光刻论文文献综述

张园豪,陈韦岑,吴大伟[1](2019)在《微立体光刻压电陶瓷的形变预测与补偿研究》一文中研究指出现有微立体光刻技术制备的压电陶瓷普遍存在密度小、性能低、几何精度难以精确控制等问题。本文通过设计陶瓷浆料各组分之间的成分比例,控制光固化参数和热处理工艺,建立几何形变的数学预测和补偿模型,制备了致密性高、形状复杂的压电陶瓷,提高了压电陶瓷在光固化、脱脂、烧结过程中的几何精度。实验表明:当压电陶瓷(PZT-5H)浆料质量分数为75%时,坯体烧结后的密度为7.35 g/cm~3;在2 kV/mm的极化电压下,压电常数d_(33)为600 pC/N,相对介电常数为2875,性能得到提升;经过几何形变补偿,压电陶瓷的几何精度可以提高80%。(本文来源于《电子元件与材料》期刊2019年04期)

周庚侠,班书宝,孙天玉,顾济华,吴东岷[2](2011)在《大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究》一文中研究指出基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料。为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微反射镜技术的动态掩膜微立体光刻系统,该系统的加工横向分辨率由系统的光学分辨率与树脂特性共同决定。当单层树脂固化厚度超过临界值时,系统的横向分辨率将降低。根据实验中测量光学系统的分辨率以及树脂的工作曲线,得到本系统的最高横向分辨率可以达到14μm。(本文来源于《应用光学》期刊2011年05期)

周庚侠[3](2011)在《基于DMD动态掩膜微立体光刻系统的开发与研究》一文中研究指出叁维复杂结构微器件对于实现微机电系统的功能至关重要,但是加工叁维复杂微结构对于传统的微细加工技术是一个挑战。面投影微立体光刻技术通过光引发光敏树脂固化,逐层制造并多层迭加来完成结构复杂、高分辨率、小尺寸的叁维结构的制造,被认为是目前最有前景的微细加工技术之一。本文介绍了一套自行开发的动态掩膜面投影微立体光刻系统,系统中采用数字微反射镜(digital micro-mirror device, DMD)作为动态掩膜发生器,利用LED阵列作为光源,光源的功率以及波长可以满足光固化的要求,设计新的树脂槽和涂覆系统适用粘度大的复合纳米材料的加工。除了系统的设计与搭建以外,文中介绍了自行开发的基于AutoCAD的CAD模型的直接切片分层程序、基于LabVIEW设计的生成加工文件程序以及系统控制程序。文中分析得到微立体光刻系统加工分辨率由光学系统的分辨率以及光敏树脂的特性共同决定,通过测量微立体光刻系统中光学系统的分辨率以及光敏树脂与二二氧化硅纳米颗粒组成的纳米复合材料的工作曲线,最后确定微立体光刻系统的横向加工分辨率可以达到14μm。在文中还研究了氧气的阻聚作用对树脂固化的影响以及消除氧气影响的方法。利用自行开发的微立体光刻系统和纳米复合材料进行初步加工实验,成功制作了微齿轮。(本文来源于《苏州大学》期刊2011-04-01)

周庚侠,班书宝,顾济华,孙天玉,吴东岷[4](2011)在《微立体光刻中光敏树脂特性的实验研究》一文中研究指出微立体光刻技术是基于快速原型制造技术思想的新型微细加工技术。在微立体光刻制造中,光敏树脂在一定波长的光照下发生固化反应,光敏树脂的曝光量阈值和透射深度是光敏树脂的两个重要的特性参数。对掺入质量比20%氧化硅纳米颗粒自行制备的光敏树脂的两种特性值进行测试研究,测量得到光敏树脂在氮气环境中比与在空气中的曝光量阈值小,分别为5.6 mJ/cm2以及86.5 mJ/cm2;加入光吸收剂后的透射深度比不加入光吸收剂的透射深度小,分别为14以及60。根据测量的树脂的特性值,使用实验室开发的微反射镜动态掩膜微立体光刻系统,成功制作微齿轮。(本文来源于《科学技术与工程》期刊2011年04期)

周庚侠,班书宝,吴东岷,顾济华[5](2011)在《面投影微立体光刻系统的开发和研究》一文中研究指出面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,设计新的树脂槽和涂覆系统。对系统中使用的投影镜头的光学分辨率以及树脂的工作曲线进行了测量,系统的加工横线分辨率可以达到14μm。利用该系统成功制作了齿轮的模型。(本文来源于《制造业自动化》期刊2011年02期)

沙菁契,侯丽雅,章维一[6](2007)在《基于微立体光刻技术的组织支架的制备》一文中研究指出介绍了基于微立体光刻技术制造的叁维支架初步模型.由微立体光刻设备制备出了μm级的圆柱阵列式支架和叁角孔式支架,整体结构很微小,结构上端为原生代细胞附着区域,下端是细胞培养液的贮液池.支架结构精度较高,可以达到传统快速成型技术不能具备的等级,其微孔之间的孔隙结构达到200μm左右,同时,微孔的数量、大小、分布及形状可人工影响或控制.姜姜(本文来源于《华中科技大学学报(自然科学版)》期刊2007年S1期)

于成龙,王秀峰,江红涛,单联娟[7](2006)在《面投影微立体光刻技术研究进展》一文中研究指出综述了国内外最近几年面投影微立体光刻技术的研究进展。阐述了液晶动态掩膜技术和数字微反射镜动态掩膜技术的基本原理。分析了两者的技术核心并对相关参数进行了比较。最后,对该技术的发展前景作了展望。(本文来源于《新技术新工艺》期刊2006年05期)

于成龙,王秀峰,江红涛,单联娟[8](2006)在《矢量扫描微立体光刻技术研究进展》一文中研究指出阐述了矢量扫描微立体光刻技术中表面束缚技术及自由表面技术的基本原理;分析了提高空间分辨率的解决措施和研究动态。简要阐述了该技术在制造原型、微系统部件及微流体装置等方面的应用。(本文来源于《矿山机械》期刊2006年04期)

于成龙,王秀峰,江红涛,单联娟[9](2006)在《微立体光刻技术研究及应用》一文中研究指出综述了国内外最近几年微立体光刻技术的研究进展。阐述了微立体光刻技术中的线扫描技术及面投影技术的基本原理及分类,分析了它们的技术核心并对相关参数进行了比较。简要阐述了微立体光刻技术在制造原型、微系统部件及微流体装置等方面的应用,最后,对该技术的发展前景作了展望。(本文来源于《激光与光电子学进展》期刊2006年03期)

董涛,杨朝初,Paul,Bernhard,侯丽雅[10](2004)在《叁维复杂微系统的微立体光刻成型工艺》一文中研究指出介绍了一种具有更高加工分辨率且可直接成型 3维复杂微系统的一次曝光型微立体光刻成型样机 Micro SL er,及其配套专用光敏树脂 Micro SL5 2 2 0。重点给出了 Micro SL er中经薄膜晶体管阵列编址的液晶显示光阀表盘 ,也即可控透光模板的构造、性能及其对 Micro SL er层面加工分辨率和截面曝光尺寸的影响。对比了 Micro SL er的国产配套光敏树脂 Mi-cro SL5 2 2 0与国外同类产品 DSM7110型光敏树脂的各项技术指标。为证明一次曝光型微立体光刻工艺在成型 3维复杂微结构时的优越性 ,给出了经 Micro SL er成型出的微机械部件、微型件浇铸模、微流体系统部件等实物的扫描电子显微照片及相关的加工参数。探讨了现阶段的传统立体光刻工艺、小光斑立体光刻工艺及微立体光刻工艺在加工分辨率方面的差异 ,分别指出了影响这 3种立体光刻成型分辨率的关键因素(本文来源于《仪器仪表学报》期刊2004年03期)

微立体光刻论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

基于数字微反射镜的动态掩膜面投影微立体光刻技术是一种基于快速原型制造思想的新型微细结构加工手段,其系统中常用树脂槽和涂覆装置使得其无法适用于粘度大的固化材料。为实现粘度大的复合纳米材料的固化制造,构建了新型的基于数字微反射镜技术的动态掩膜微立体光刻系统,该系统的加工横向分辨率由系统的光学分辨率与树脂特性共同决定。当单层树脂固化厚度超过临界值时,系统的横向分辨率将降低。根据实验中测量光学系统的分辨率以及树脂的工作曲线,得到本系统的最高横向分辨率可以达到14μm。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

微立体光刻论文参考文献

[1].张园豪,陈韦岑,吴大伟.微立体光刻压电陶瓷的形变预测与补偿研究[J].电子元件与材料.2019

[2].周庚侠,班书宝,孙天玉,顾济华,吴东岷.大粘度复合纳米材料面投影微立体光刻系统的分辨率研究[J].应用光学.2011

[3].周庚侠.基于DMD动态掩膜微立体光刻系统的开发与研究[D].苏州大学.2011

[4].周庚侠,班书宝,顾济华,孙天玉,吴东岷.微立体光刻中光敏树脂特性的实验研究[J].科学技术与工程.2011

[5].周庚侠,班书宝,吴东岷,顾济华.面投影微立体光刻系统的开发和研究[J].制造业自动化.2011

[6].沙菁契,侯丽雅,章维一.基于微立体光刻技术的组织支架的制备[J].华中科技大学学报(自然科学版).2007

[7].于成龙,王秀峰,江红涛,单联娟.面投影微立体光刻技术研究进展[J].新技术新工艺.2006

[8].于成龙,王秀峰,江红涛,单联娟.矢量扫描微立体光刻技术研究进展[J].矿山机械.2006

[9].于成龙,王秀峰,江红涛,单联娟.微立体光刻技术研究及应用[J].激光与光电子学进展.2006

[10].董涛,杨朝初,Paul,Bernhard,侯丽雅.叁维复杂微系统的微立体光刻成型工艺[J].仪器仪表学报.2004

论文知识图

一次曝光型微立体光刻工艺原理EPFL基于DMDTM制造的微立体光刻4 微立体光刻技术 M1P5 结构[20]1 微立体光刻系统示意图微立体光刻设备眼M一HP301实...

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