碲锌镉衬底国产研磨料的研究

论文摘要

针对原有国产碲锌镉衬底加工磨料粒度分布不均匀、存在异常大颗粒等问题,根据重力沉降原理,对国产磨料进行分级处理,将分级处理后的国产L、M类磨料与进口Logitech磨料进行磨抛对比实验,结果表明:与进口磨料相比,国产-M磨料去除速率大约提高了27%,研磨后晶片表面波纹度Wa值和凹坑面积占比降低,晶片表面质量提高,可替代进口的Logitech磨料。

论文目录

• 1 试验材料与试验方法
• 2 实验结果与分析
•   2.1 国产磨料存在的问题及改进
•   2.2 改进后国产磨料与进口磨料研磨效果对比
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 黄颖璞,孙士文

关键词: 晶体,机械研磨,磨料

来源: 现代制造技术与装备 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 上海市闸北第八中学,中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室

分类号: TG73

DOI: 10.16107/j.cnki.mmte.2019.0009

页码: 19-21

总页数: 3

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