导读:本文包含了微细加工论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:微细,加工,激光,模型,频宽,光学,结构。
微细加工论文文献综述
曾增权,冯洪华,张鑫[1]（2019）在《复杂叁维微细加工技术创新与研究》一文中研究指出随着塑件外观多样性,微形图案、美化浮画、细小孔、钻石纹、皮纹等多种多样外观创新,现有加工技术已不能满足产品要求,也满足不了新品投产要求,主要原因是:超微特征要求加工表面光洁度要达到加工后免抛光的要求,大量的抛光会引起变形失真的情况,这是传统电蚀工艺所不能满足的。针对上述问题,本课题组首先提出用于叁维超微图形CNC加工工艺创新,提升此类塑件的外观品质、加工效率与降低加工成本,成立团队专项开发最优加工工艺,可望用于批量复制加工微米乃至纳米级的复杂叁维图形元件。(本文来源于《模具制造》期刊2019年04期）
吴春亚,郭闯强,裴旭东,王廷章,陈妮[2]（2019）在《太赫兹段慢波结构的微细加工技术研究新进展》一文中研究指出太赫兹波兼具穿透性强、使用安全性高、定向性好、带宽高等技术特性,在国防、深空通信、远程成像、安全检查和医疗诊断等领域具有重大应用前景。基于慢波结构的电真空器件是在太赫兹频段产生瓦级功率输出,同时实现太赫兹辐射源小型化和经济化最具潜力的一种解决方式。慢波结构作为此类电真空器件的核心零件,其物理设计及制造水平将直接影响器件的带宽和增益,因此,从适合工作在太赫兹频段的慢波结构类型、加工精度与表面质量要求,以及制备工艺3个方面出发,对慢波结构的微细加工技术研究现状进行综述,重点分析太赫兹频段慢波结构的关键制造技术水平及应用现状,并探讨其在发展过程中需要面临的挑战和仍需注重解决的问题,希望能为后续高频器件研究工作的推进提供参考。(本文来源于《机械工程学报》期刊2019年07期）
李炜[3]（2018）在《微细加工机床关键部件结构优化及动态性能控制方法研究》一文中研究指出微细机械加工技术是制造高性能零件的关键技术之一。高性能零件的加工精度和表面质量制约了高端装备的性能与水平。目前在微细机械加工领域,我国与世界先进国家有很大差距,加快微细加工机床及其关键技术研究,对提高我国高端装备制造的国际竞争力具有重要意义。本文以微细加工机床动态性能优化为目标,在机床整机动态性能分析基础上进行了微细加工机床关键功能部件的优化设计和动态性能主动控制研究,论文的主要内容如下:1.根据课题需求研制适用于惯性导航关键件整体式双平衡环挠性接头细颈加工的立式微细加工机床。创新设计了一种新型的沙发式床身结构(Sofa Style Machine Bed Structure,SMBS),不但使机床整机重心降低40mm以上,而且减少机床刀尖处静态总变形量,同时满足了竖直液体静压滑台的安装需求。2.提出了基于整机动态特性分析的部件辨识方法(Component Identification based on Dynamic Characteristics Analysis,CIDCA)和基于灵敏度分析的部件优化方法(Optimization of Component based on Sensitivity Analysis,OCSA)。通过分析相关连接结合面压力分布对螺栓布局进行优化,有效地提高了机床支撑件连接结合面接触压力及机床整机刚度。3.根据微细加工机床的振动特性研制了串联式二自由度主动减振平台和二级主动隔振平台。串联式二自由度主动减振平台解决了传统的并联式平台存在的两个运动轴的运动干涉问题,实现了运动学解耦,降低控制算法复杂程度,提高控制精度。设计的二级主动隔振平台,兼顾主动隔振与被动隔振的优点,重点提高对难以隔离的低频振动的衰减量。4.基于线性矩阵不等式(LMI)优化方法,将切削力视为对系统的外界干扰,以工件振动量为控制目标,设计了具有输出约束的多目标主动减振控制算法(Constrained Multiple Objective Active vibration Control Algorithm,CMOACA)。基于滤波最小均方算法(Filtered Least Mean Squre,Fx-LMS)和作动器特性,设计了改进的Fx-LMS主动隔振算法,并通过工程实验验证了算法的有效性。微细加工机床设计及关键部件优化和研制的主动振动控制平台,已在微细加工机床上得到应用,实现了机床动态性能和加工质量的提升,机床的前叁阶固有频率均提高了10%以上,整机在X,Y和Z叁个方向的最大共振位移分别减小了8.6%,6.4%和10.1%。减振平台与隔振平台在相应控制算法的控制下,实现微细加工在水平方向振动衰减量达到20%,在竖直方向振动衰减量达到30%,为高质量、高效率微细加工提供了新装备。(本文来源于《东华大学》期刊2018-06-30）
张帅[4]（2018）在《基于纳飞秒双束激光的蓝宝石微细加工技术研究》一文中研究指出蓝宝石具有良好的理化特性,在机械电子、航空航天、微电子等领域具有广阔的应用前景。然而由于其高硬度、高脆性及价格昂贵的特点,工业生产中对其加工效率及加工质量要求不断提高,对其加工工艺不断提出新的挑战。本课题将飞秒激光加工精度高和纳秒激光加工效率高的优点相结合,提出了一种兼顾加工质量与加工效率的纳飞秒双脉冲激光加工蓝宝石的工艺方法。本文首先采用等离子体物理、量子力学的相关理论,综合考虑各种激光吸收机理,研究被加工材料对纳飞秒双激光的吸收过程及其光学特性,分析其能量耦合过程。采用Fokker-plank方程双温模型drude模型对飞秒激光诱发的等离子体的演化过程及等离子体与入射飞秒激光之间的相互作用进行研究,在此基础上通过有限元仿真模拟了纳飞秒双激光与蓝宝石材料相互作用的能量耦合过程与蚀除过程,研究了纳飞秒双脉冲激光作用下等离子浓度的时空演化规律及其对吸收系数及反射率等的影响规律及蚀除规律。在理论研究基础上,搭建了纳飞秒激光试验加工平台。开展了飞秒和纳飞秒双束激光对蓝宝石的工艺试验。采用与仿真分析相同的工艺参数研究了激光单脉冲能量和脉冲个数对微孔加工的影响,对仿真结果进行了验证。采用不同的脉冲延时、激光功率、激光重复频率、扫描速度、扫描次数等对刻划蓝宝石微槽表面形貌和深度的影响规律进行了研究。研究结果表明,通过改变纳飞秒脉冲延时可以显着提高材料与激光之间的能量耦合及加工效率,通过合理选择激光频率和扫描次数可以进一步改善微沟槽的加工质量。本课题对进一步分析激光与蓝宝石之间的作用过程,形成一种新的针对宽带隙半导体材料的高效精密加工方法具有重要指导意义。(本文来源于《哈尔滨工业大学》期刊2018-06-01）
赵阳周[5]（2018）在《多电极旋转振动独立放电微细加工装置研究》一文中研究指出微细孔加工广泛地应用于医疗器械、发动机、模具、航空航天、微电子等领域,常作为喷丝板的喷丝孔、电板的冲液孔、发动机叶片、缸体的散热孔、发动机的喷油雾化孔、阀体的气路孔或油路孔等。微细孔的材料由于使用大多为高硬度、高强度难加工的材料,如不锈钢、耐热钢、金刚石、硬质合金等,而且要求达到一定的孔深,使微细孔加工成为孔加工中最困难的加工工艺之一。目前,实际使用的微细孔加工专机设备只有一个工具电极,加工效率低。如果增加工具电极数量,实现多电极同步加工多个微细孔,则可以成倍地提高加工效率。目前由一块电极材料蚀刻而成的群电极在加工阵列微细孔研究方面取得了一定成果,但是群电极制作困难,而且存在两方面的技术缺陷:一是电极之间无法电绝缘,其中某个电极短路时集中能量放电将造成该短路微细电极的烧毁;二是群电极排屑效果较差,无法旋转,加工孔深度受到限制。对微细电火花加工的加工原理、加工工艺参数的变化对微细电火花加工的影响和加工设备对微细电火花加工的影响的研究,在传统的微细电火花加工中加以微振动与旋转能够提高微细加工的效率和加工精密度,本文在微振动与旋转微细加工的基础上,设计了一款多电极旋转振动独立放电的微细电火花加工装置,同时在对进给机构的选型的基础上,对多电极旋转振动独立放电微细电火花复合加工的电极结构与振动结构进行设计,通过SolidWorks对其建模,对关键位置基于Workbench的有限元分析,实现了微细电火花加工要实现的功能与要求。对微细电火花加工脉冲电源,以及微细电火花加工工件与电极间隙状态检测的研究,本文采用场效应管控制加工的晶体管与RC式复合的脉冲电源,消除了脉间,维持加工电压,设计了通过场效应管导通与截止的逻辑电路,实现微细电火花加工电源中电容充放电的有效结合,在微细电火花加工的同时有足够的时间消电离;针对微细电火花加工脉冲电源单个能量小,放电状态复杂以及变化多等特点,采用间隙电压平均值法对加工间隙状态实时检测,通过单片机输出PWM波控制调节正常微细电火花加工时的电压范围,提高间隙状态检测的准确性,能够更好的控制电源,成倍的提高加工效率。根据电源硬件结构,完成整个硬件结构的程序控制,通过单片机控制PWM输出的占空比调节旋转电机与振动电机来调节微细电火花加工中旋转、振动参数,调节脉冲输入电源的电压与电流的大小控制微细电火花加工的电压与电流,以及控制间隙状态检测的上下限电压值判断微细加工是否正常,同时,通过加工实验分析研究了电容大小、旋转速度、振动幅值与频率对微细电火花加工效率的影响,成功的加工出直径为72 μm的微细孔,采用多电极同时加工,与单电极的比较,得出多电极独立放电加工比单电极加工效率更高,为多电极独立加工开辟了高效可行的新工艺方法。(本文来源于《山东大学》期刊2018-05-15）
冯少川[6]（2018）在《单晶碳化硅晶片的激光—水射流复合近无损伤微细加工机理研究》一文中研究指出单晶碳化硅的硬度大、熔点高、导热率高,具有非常高的化学稳定性和热稳定性。单晶碳化硅具有优异的半导体性质,是第叁代半导体材料,在半导体工业中具有广泛的应用范围和发展前景。但是,单晶碳化硅是典型的难加工硬脆材料,为了提高其加工效率和加工质量,本文对单晶碳化硅晶片的激光-水射流复合近无损伤微细加工机理进行了系统研究。本文的研究成果可用于类似硬脆材料的近无损伤微细加工。实验研究了激光-水射流复合微细加工单晶碳化硅晶片的成形性能。研究了工艺参数对槽深、槽宽和材料去除率影响的显着性。结果表明,射流倾角、射流偏置距离、喷嘴靶距、扫描速度、激光平均功率和水压对槽深、槽宽和材料去除率的影响都非常显着;激光焦平面高度对槽深和材料去除率的影响非常显着,对槽宽的影响不显着;激光脉冲频率对槽深的影响非常显着,对槽宽和材料去除率的影响中等显着。建立了槽深、槽宽和材料去除率的回归预报模型,该模型预报结果平均误差均低于10.0%。研究了单一工艺参数对槽深、槽宽和材料去除率的影响规律。结果表明,槽深、槽宽和材料去除率随着激光平均功率的增加而增大;槽深、槽宽和材料去除率随着射流偏置距离的增加而先增大后减小;槽深、槽宽和材料去除率随着喷嘴靶距和水压的增加而降低;槽深和槽宽随着扫描速度的增加而降低,材料去除率随着扫描速度的增加而先增大后减小。研究了工艺参数间的交互作用对槽深、槽宽和材料去除率的影响规律。结果表明,使槽深、槽宽和材料去除率达到极大值的临界射流偏置距离随着水压的增加而增大,但是几乎不随喷嘴靶距的变化而变化。对激光-水射流复合微细加工单晶碳化硅晶片的加工表面质量进行了评价。结果表明,激光-水射流复合微细加工后的材料表面质量较高,其加工区域与未加工区域间的边界清晰,切口边缘平直,切口两侧的材料表面洁净;加工得到的V形槽具有较好的叁维形貌和截面轮廓,槽的边缘与未加工表面间的过渡平滑;在切口两侧未观察到明显的热影响区,切口侧壁表面纹理清晰,具有发生塑性去除行为后的材料表面特征,材料表面不存在重铸层。研究了激光-水射流复合微细加工过程中,激光、水与工件材料之间的多场耦合作用机理与规律。研究了激光对工件材料的加热作用,建立了激光热源在空间和时间上的分布模型。结果表明,激光热源的能量在z轴上呈指数分布,沿z轴负方向逐渐减弱;激光热源在时间上呈脉冲周期分布,激光强度在脉冲持续期间内近似为正态分布。研究了水射流对工件材料的冲击作用。结果表明,最大壁面切应力随着喷嘴靶距的增加而降低;随着喷嘴靶距的增加,最大壁面切应力点逐渐远离滞点。研究了水射流对工件材料的冷却作用。结果表明,射流冲击区的平均对流换热系数比壁面射流区高两个数量级,水射流强制对流换热主要发生在射流冲击区;射流冲击区和壁面射流区的平均对流换热系数随着水压的升高而增大。研究了水射流对激光的干涉作用。结果表明,水对激光的反射率为2%左右;水对激光的吸收率在冲击区小于1.4%,在壁面射流区小于0.3%;折射后激光焦平面位置下移,激光束聚焦直径增大;折射率随着温度的升高而略有减小,水压变化对折射率的影响较小;水的紊动和掺气导致激光射入水中后光束质量下降,水压升高增强了水的紊动性,导致激光光束质量进一步降低;加工时水中不会形成等离子体。研究了激光-水射流复合微细加工过程中工件材料内部的温度场分布。确定了激光-水射流复合微细加工单晶碳化硅的温度场模型的初始条件和边界条件;研究了 4H单晶碳化硅的热物理性质与温度的关系;建立了考虑工件材料高温热物理性能参数变化的激光-水射流复合微细加工单晶碳化硅的温度场模型。结果表明,在0-200 ns时间范围内工件材料内部温度逐渐升高,工件材料被加热区域逐渐扩大;工件材料内部的等温线分布规律与激光热源作用于工件材料内部的能量分布规律一致。揭示了激光-水射流复合微细加工单晶碳化硅的材料去除机理。当温度高于脆塑转变温度时,单晶碳化硅的屈服强度低于断裂强度,表现出塑性行为。当施加在主滑移系(0001)<1120>上的分切应力大于工件材料的临界分切应力时,工件材料发生晶格滑移、变形并最终被去除。随着温度的升高,4H单晶碳化硅的临界分切应力显着下降;当温度为1650 K时,4H单晶碳化硅的临界分切应力小于5 MPa。建立了激光-水射流复合微细加工4H单晶碳化硅的工件材料去除廓形有限差分模型,实验验证了模型的有效性,该模型对槽深、槽宽和切口截面轮廓的预报均具有较高的精度。研究了一个激光脉冲周期和多个激光脉冲周期内的温度演变和材料去除廓形演变过程。结果表明,在一个激光脉冲周期内,材料加热发生在整个脉冲持续期间(0-350 ns),材料去除大致发生在200-350 ns时间范围内;当t≈350 ns时,材料加热和去除暂停,工件材料在水射流强制对流换热作用下逐渐冷却;随着激光脉冲数的增加,槽深逐渐增大,槽宽的增大不明显,直到形成最终切口轮廓;激光平均功率越高,材料软化和去除量越多,但是在不同的激光平均功率下,工件材料的最高温度基本相同。(本文来源于《山东大学》期刊2018-03-31）
李柯利[7]（2018）在《基于电化学微细加工的MEMS能量采集器研究》一文中研究指出随着物联网技术和可穿戴设备的飞速发展,能量采集技术受到越来越多的关注。环境中机械能的普遍存在,使能量采集器收集振动能量及人体运动能量成为可能。然而,无论环境中的振动还是人体运动都在低频范围内,现有的振动能量采集器和柔性可穿戴能量采集器在低频环境中发电效率很低且发电不稳定,不能满足为电子器件持续供电的要求。因此,研究出在低频环境中仍可稳定发电的能量采集器非常有必要。此外,随着电化学微细加工工艺的逐渐成熟,将其运用到能量采集器的制作中成为目前能量采集器的研究热点之一。本论文研究基于电化学微细加工的MEMS能量采集器,采用电化学微细加工工艺制作金属微悬臂梁,并在此基础上制作了针对低频宽频带环境振动的能量采集器和针对低频人体运动的柔性可穿戴能量采集器。本论文首先对电化学微细加工工艺进行研究,包括电镀工艺条件的选择、电镀工艺流程及电镀条件,单晶硅腐蚀工艺等。其中工艺重难点是:(1)通过调整工艺参数,实现具有高深宽比结构的胶膜制作;(2)通过理论计算与实验验证相结合,有效控制电镀金属层的厚度。采用电化学微细加工工艺制作出的镍悬臂梁结构微小、精度高且柔韧性好、可承受大位移振动,克服了传统硅悬臂梁脆性较大的缺点,实现了精细加工和批量化生产。针对低频的人体运动环境,本论文创新地提出并发展了一种柔性可穿戴能量采集器,在低频条件下仍有稳定的电能输出。该能量采集器将电化学微细加工的镍悬臂梁与压电薄膜集成并粘贴在柔性衬底上,通过悬臂梁与衬底磁铁之间的磁力作用,将低频的人体肢体运动上变频转换成压电悬臂梁的高频谐振发电,从而有效地产生稳定的电能。在肢体运动过程中,柔性衬底被拉伸和回弹,导致悬臂梁反复与磁铁释放与吸合从而激发压电悬臂梁共振。由于柔性衬底的横向拉伸对悬臂梁的垂直谐振发电的影响很小,因此在从亚赫兹到几赫兹的关节运动频率范围内采集器均能产生稳定电能。该能量采集器在0.5 Hz至5.0 Hz频率范围内进行拉伸循环实验,其单个周期产生的电能均稳定在0.56μJ至0.69μJ左右,可用于给可穿戴电子产品、医疗设备等供电。本文通过人体演示进行实验验证,将两个该能量采集器分别佩戴在人体肘部和膝盖并在典型低频肢体运动(如下蹲、走路、慢跑和快跑)下,始终可以产生相当大的功率,其峰峰值电压始终稳定在4.0V左右。很好地验证了该柔性可穿戴能量采集器的稳定发电功能。此外,该能量采集器可用于自供能自感知计步器实现精确记录人体行走步数。针对低频宽频带的环境振动,本论文提出对振动阈值自感知的宽频带能量采集器。结合机加工的方法,制作出基于铜衬底的能量采集器原理样机。该器件实现了在8Hz~34Hz的频率范围内都具有稳定的阈值,并可通过对悬臂梁上质量块的设置对阈值进行精确调节。原理样机测试证明原理可行,可应用于振动环境监测、安全防护等。综上所述,本论文对电化学微细加工工艺进行研究,并在此基础上制作出在低频人体运动条件下可稳定发电的柔性可穿戴能量采集器,以及针对低频宽频带振动环境的宽频带能量采集器。(本文来源于《上海师范大学》期刊2018-03-01）
王小梅[8]（2018）在《信息工程与微细加工》一文中研究指出信息的处理、信息的记录、信息的传送是信息工程的重要内容。为了适应现代社会信息量急剧增大的趋势,对于信息的处理,日益要求高速化,即要求在一定的时间内处理更多的信息;对于信息的记录,日益要求高密度化,即要求在一定的空间内记录更多的信息;对于信息的传送,日益要求大容量化,即要求在一定的通路内传送更多的信息。为了满足这些要求,作为信息处理、记录、传送的媒介的电子器件和通信线路,均日益趋向小型化、微细化,其加工技术不断地向着微米(微米即百分之一米,相当于头发直径的几十至百分之一)、亚微米的微细世界进军。(本文来源于《农村青少年科学探究》期刊2018年Z1期）
[9]（2017）在《微细加工国家重点实验室》一文中研究指出微细加工光学技术国家重点实验室依托中国科学院光电技术研究所,于1991年由国家计委批准、利用世界银行贷款建立,1993年对外开放。成立以来,获得国家科技进步特等奖、国家技术发明一等奖在内的奖项数十项。实验室以推动微细加工光学技术中的关键科学和技术实质性进步为目标,以基础研究服务于国家重大战略需求为宗旨,瞄准微纳光(本文来源于《高科技与产业化》期刊2017年09期）
孙爱西[10]（2017）在《激光电解组合微细加工技术研究》一文中研究指出再铸层和微裂纹直接决定着零件的使用寿命和稳定性。为了解决激光加工有再铸层、电解加工效率低的问题,本文提出一种激光电解组合微细加工新方法,建立组合微细加工的数学模型,实验验证数学模型的可靠性以及组合微细加工的可行性,在航空等领域关键零部件加工制造中具有极其重要的意义。因此,以工程应用为目的,本文的主要研究工作如下:首先,提出了一种无再铸层微孔的激光电解组合微细加工方法。针对裸金属微孔加工,采用毫秒脉冲激光热效应去除金属材料,小间隙电解微细加工蚀除激光产生的再铸层,进行裸金属微孔孔壁的无再铸层加工,提高加工精度和效率;针对带热障涂层镍基合金微孔加工,采用电解液辅助纳秒紫外激光刻蚀热障涂层材料,小间隙电解微细加工蚀除镍基合金材料,进行带涂层合金微孔无再铸层加工。其次,建立了激光电解组合微细加工的数学模型。给出了激光微细加工的温度场模型和小间隙电解微细加工的电场模型,建立了组合微细加工的一种精确的数学模型,计算出裸金属微孔和带热障涂层镍基合金微孔的最终形状,为实验研究提供依据。最后,采用激光电解组合微细加工实验系统对不锈钢材料、带热障涂层镍基合金材料进行实验,验证数学模型的可靠性以及组合微细加工的可行性。(1)使用ANSYS软件和组合微细加工实验系统,验证数学模型的可靠性。不锈钢微孔组合微细加工数值模拟的入口直径相对误差为0.84%,加工深度相对误差为12.80%。带涂层合金微孔组合微细加工数值模拟的入口直径相对误差为0.83%,出口直径相对误差为1.60%。相对误差均在15%范围内,模拟结果与实验结果一致,验证组合微细加工的数学模型的可靠性。(2)基于金相显微镜,研究不锈钢微孔、带涂层合金微孔的组合微细加工实验。研究结果表明:相对于单一激光微细加工,不锈钢微孔组合微细加工的材料表面无熔渣,微孔孔壁上也无再铸层。相对于单一电解微细加工,不锈钢微孔组合微细加工的效率、精度分别提高51.35%、30.43%。带热障涂层镍基合金微孔的入口处、出口处干净,无残渣,带涂层合金微孔孔壁上无再铸层。通过本文的研究,表明了激光电解组合微细加工方法具有很好的工程应用前景,可用于指导裸金属微孔与带涂层合金微孔的无再铸层加工,构建的微细加工实验系统为该方法的工程应用奠定了基础。(本文来源于《南京理工大学》期刊2017-08-01）
微细加工论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
太赫兹波兼具穿透性强、使用安全性高、定向性好、带宽高等技术特性,在国防、深空通信、远程成像、安全检查和医疗诊断等领域具有重大应用前景。基于慢波结构的电真空器件是在太赫兹频段产生瓦级功率输出,同时实现太赫兹辐射源小型化和经济化最具潜力的一种解决方式。慢波结构作为此类电真空器件的核心零件,其物理设计及制造水平将直接影响器件的带宽和增益,因此,从适合工作在太赫兹频段的慢波结构类型、加工精度与表面质量要求,以及制备工艺3个方面出发,对慢波结构的微细加工技术研究现状进行综述,重点分析太赫兹频段慢波结构的关键制造技术水平及应用现状,并探讨其在发展过程中需要面临的挑战和仍需注重解决的问题,希望能为后续高频器件研究工作的推进提供参考。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微细加工论文参考文献
[1].曾增权,冯洪华,张鑫.复杂叁维微细加工技术创新与研究[J].模具制造.2019
[2].吴春亚,郭闯强,裴旭东,王廷章,陈妮.太赫兹段慢波结构的微细加工技术研究新进展[J].机械工程学报.2019
[3].李炜.微细加工机床关键部件结构优化及动态性能控制方法研究[D].东华大学.2018
[4].张帅.基于纳飞秒双束激光的蓝宝石微细加工技术研究[D].哈尔滨工业大学.2018
[5].赵阳周.多电极旋转振动独立放电微细加工装置研究[D].山东大学.2018
[6].冯少川.单晶碳化硅晶片的激光—水射流复合近无损伤微细加工机理研究[D].山东大学.2018
[7].李柯利.基于电化学微细加工的MEMS能量采集器研究[D].上海师范大学.2018
[8].王小梅.信息工程与微细加工[J].农村青少年科学探究.2018
[9]..微细加工国家重点实验室[J].高科技与产业化.2017
[10].孙爱西.激光电解组合微细加工技术研究[D].南京理工大学.2017
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