硫酸-双氧水体系闪蚀药水在精细线路成型中的应用

研究硫酸—双氧水体系闪蚀药水在精细线路成型中的应用,结果表明:该药水不仅能提高线路的抗侧蚀能力,保持线路纵横蚀刻比在1.5以上,且能稳定控制双氧水浓度、蚀铜速率以及线路形状,适用于线上长期管控使用。

0前言

1 原理分析

2 实验设计

2.1 实验材料

2.2 实验参数

2.3 实验流程

3 实验数据与讨论

3.1 不同双氧水浓度（10～18 g/L）对样板蚀刻速率及线形的影响

3.2 起始浓度14 g/L双氧水（整个过程药水没有做任何添加）测试线路线形的稳定性

3.3 铜离子浓度10～50 g/L下对蚀刻速率和线型的影响

4 总结

类型: 期刊论文

作者: 陈钜,夏海,郝意,陈洪

关键词: 闪蚀,硫酸双氧水,纵横蚀刻比,线型

来源: 印制电路信息 2019年12期

年度: 2019

分类: 信息科技

专业: 无线电电子学,电信技术

单位: 深圳市板明科技有限公司

分类号: TN41;TN929.53

页码: 55-58

总页数: 4

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