导读:本文包含了微加工技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献，主要关键词:加工,激光,叶片,光子,疏水,技术,波导。
微加工技术论文文献综述写法
汪超炜[1]（2019）在《多材料飞秒激光微加工技术及其应用研究》一文中研究指出对于一种先进的微纳加工技术,能否适应多种材料的制备能力是衡量该技术的最关键指标之一。本文利用飞秒激光加工技术材料适应性广的独特优势,进一步探索其在多种新型材料上的微纳制备工艺研究,实现了各种功能性微器件的制备,并对其相关应用进行了深入研究。具体内容如下:(1)针对半导体材料钙钛矿单晶(CH3NH3PbI3),由于其硬脆,怕潮的特性,本文提出利用飞秒激光烧蚀技术实现表面微加工。系统地研究了包括激光功率密度,曝光时间等工艺参数与加工分辨率的关系;通过控制激光的重复频率,实现了彩色钙钛矿表面的制备;通过测试表征和理论分析,探究了激光改性对钙钛矿材料荧光特性的影响。(2)针对透明固体材料铌酸锂(LiNbO3),本文提出利用飞秒激光在其内部制备出叁维非线性光子晶体,克服了传统微制备工艺难以实现内部叁维微加工的难题。首先,通过制备一维光栅结构并进行衍射强度处理,初步测定了激光加工对铌酸锂晶体折射率的改变量。接着,设计并加工出了二维非线性光子晶体,共聚焦扫描结构验证了加工区域的二次非线性系数发生了改变,而基波入射后的二次谐波出射图像,进一步地证明了加工结构“参与”了二次谐波准相位匹配过程。通过改变基波的入射方向,观察到了非线性Talbot效应。最后,通过优化工艺参数,制备出了四方型叁维非线性光子晶体,并实验验证了其准相位匹配倍频过程。本文还对非线性光子晶体生成非线性结构光的工作进行了初步探究。(3)针对光敏聚合材料(SZ 2080),提出利用结构光代替传统单点光源,从而提高叁维结构的制备效率和灵活性。利用空间光调制器(LCos-SLM)生成了飞秒马修光束;基于德拜衍射定理,从仿真和实验两方面研究了在紧聚焦情况下,加工光路中的4f系统以及马修光束的特征参数对聚焦光场的影响;利用拉伸扫描策略结合动态全息,实现了叁维微笼结构的高效加工。相比于传统的单点扫描策略,加工时间减少了2个数量级。在此基础上,研究了叁维微笼结构在操纵粒子领域的应用:利用微笼结构实现了对SiO2粒子的有效捕获和分选;利用微笼结构作为叁维支架成功实现了对酵母菌细胞的捕获以及培养。相关成果对研究细胞在叁维环境下的行为特征有重要的应用价值。(4)针对光敏玻璃(Foturan光敏玻璃),本文利用化学刻蚀辅助飞秒激光加工技术,完成了玻璃内部多层管道的加工,同时结合光聚合材料(SU-8光刻胶),在微管道内集成了叁维微结构,最终实现了对2种材料的组合加工。在制备叁维多层微管道时,定量优化了激光能量,保证处于不同深度的加工区域改性一致。提出“补偿层”扫描策略,确保不同深度的微管道可以同时完成化学刻蚀,提高叁维多层结构的均一性。在利用光聚合材料进行后续微结构集成时,由于封闭环境与表面环境的区别,定量优化了前烘时间、加工能量与显影时间叁个工艺参数。由于可以使用具有生物兼容性的光聚合材料替代SU-8,因此相关工作为下一步制备叁维多功能复合微流控芯片奠定了基础。(本文来源于《中国科学技术大学》期刊2019-05-04）
邹新宇,黄宜军,丛彦茹,何永玲,潘宇晨[2]（2019）在《基于AFM微加工技术制造微结构模板中纳米级高分子聚合物的自组装》一文中研究指出介绍一种利用非对称聚合的叁嵌段共聚物(SEBS(Styrene-Ethylene-Butylene-Styrene(SEBS))苯乙烯-乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物)自组装特性制造大规模整齐排列纳米阵列的分层方法,该方法混合了自下而上/自上而下两种策略。通过AFM(原子力显微镜)获得的硅基上各式各样的微观结构被用来作为球形和高长径比圆柱形聚合物排列的模板。通过原子力显微镜微加工技术的引入,实现了多畴有序阵列的定向排列,并利用硅基的形貌来控制叁嵌段共聚物的自组装过程。这种"图外延"的方法可以被应用在软硬混合的情况下,即凝聚态物质系统。此外,自上而下和自下而上方法的混合运用,是一种新颖的实现分子自组装和普遍采用的形态学约束相并行的有效办法,同时也是实现二者并行的基础及沟通桥梁。(本文来源于《机械强度》期刊2019年01期）
王国政,袁云龙,杨超,凌海容,王蓟[3]（2018）在《硅微通道板微加工技术研究》一文中研究指出微通道板(MCP)是二维通道电子倍增器,广泛用于电子、离子、紫外辐射和X-射线的探测与成像。提出一种硅微通道板(Si-MCP)制备工艺,分别采用干法刻蚀和电化学腐蚀微加工技术制备了硅微通道阵列(SMA)。重点研究了硅感应耦合等离子体刻蚀和光电化学腐蚀的特性,结果表明:硅光电化学腐蚀技术易于制备高长径比微通道,微通道侧壁更光滑、可制备倾斜通道、更适合制备Si-MCP.制备出通道周期为6μm、长径比大于50的SMA结构。采用厚层氧化实现了Si-MCP基体绝缘,采用原子层沉积工艺制备了连续倍增极,制作出Si-MCP样品。测试结果表明,采用半导体微加工技术制备的Si-MCP电子增益特性具有可行性。(本文来源于《兵工学报》期刊2018年09期）
付成芳,赵波,杨玉东,居勇峰,何晓凤[4]（2018）在《面向太赫兹真空电子器件应用的基于微加工技术的矩形环-杆结构慢波特性研究》一文中研究指出提出了一种基于微加工技术的行波管矩形环-杆慢波结构的简便等效电路分析方法,采用准-TEM近似方法得出了其色散方程和耦合阻抗表达式,并数值计算了复色散方程和耦合阻抗。理论计算结果和3D电磁仿真软件HFSS的结果吻合得很好。数值计算结果表明:结合介质基底后,慢波结构的色散变弱,相速降低,带宽变宽,耦合阻抗却在降低。最后,通过和对应的矩形螺旋线慢波结构进行了比较,得出了该慢波结构高增益和高功率的特性。作为一种平面结构,矩形环-杆慢波结构可以结合微加工技术并应用到毫米波甚至THz波段的紧凑行波管领域。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2018年08期）
张安学[5]（2018）在《基于叁维金属微加工技术的毫米波器件设计与集成》一文中研究指出体积小型化、重量轻型化、功能模块化、系统集成化是未来飞行器载荷能力实现质的飞跃的有效途径。本报告介绍一种叁维金属毫米波器件设计与集成技术,该技术使得毫米波部件和传输线可基于微型同轴传输线结构进行设计与制备,进而降低器件间的电磁耦合干扰,提高毫米波系统的集成度,实现其微型化、轻量化和低成本。(本文来源于《2018年全国微波毫米波会议论文集(上册)》期刊2018-05-06）
占彦龙,李文,李宏,胡良云[6]（2018）在《激光微加工技术制备浸润性可控聚四氟乙烯超疏水表面》一文中研究指出使用CO_2激光器对聚四氟乙烯(PTFE)表面进行微加工,通过设计需要加工的图案,对加工间距、功率和加工次数等参数的控制,能获得浸润性可控的超疏水表面。扫描电子显微镜和接触角测量用于表征表面形貌结构和润湿性。研究了激光不同加工间距、不同加工功率及不同加工次数对表面浸润性和表面形貌的影响。结果表明,制备的超疏水表面各向异性程度随着条纹间距的增大而增大,使用不同的功率加工5次可实现相同的各向同性结构,相同条件下加工4次可以实现各向异性向各向同性的转变。CO_2激光微加工技术可用于大规模加工制备超疏水表面,进而用于微流控器件、定向集水及减阻、实验室芯片系统等领域。(本文来源于《高分子材料科学与工程》期刊2018年04期）
李杰,訾进锋,杨小君,赵卫,温学兵[7]（2018）在《飞秒激光微加工技术在航空发动机高压单晶涡轮叶片的应用》一文中研究指出飞秒激光加工工艺是一种国际领先的新型超精细"冷加工"工艺,可实现无材料选择性的微米级刻蚀、切割、制孔等应用,其加工件无热应力、无再铸层、无微裂纹。国产某型发动机高压涡轮工作叶片的工作环境要求极为苛刻,这已成为其发动机性能和使用寿命提升的短板。从高压涡轮单晶叶片制孔要求出发,阐述了飞秒激光"冷加工"技术、基于曲面特征点迭代逼近算法的叶片自适应定位技术和实时穿透感知技术等叁项关键技术,依托Micro Drill100五轴飞秒激光微加工装备实现了单晶叶片的高质量批量加工。经金相检查、工业CT等多项检测验证,满足设计要求。(本文来源于《电加工与模具》期刊2018年S1期）
李杰,张保文,訾进锋,赵卫,杨小君[8]（2017）在《飞秒激光微加工技术在某型航空发动机高压单晶涡轮叶片上的应用》一文中研究指出飞秒激光加工工艺属于一种国际领先的新型超精细"冷加工"工艺,可实现无材料选择性的微米级刻蚀、切割、制孔等应用,加工件无热应力、无再铸层、无微裂纹。国产某型发动机高压涡轮工作叶片由于工作环境极为苛刻,已经成为发动机性能和使用寿命提升的短板。从高压涡轮单晶叶片制孔要求出发,逐项分解指标并制定全套解决方案,依托MicroDrill100五轴飞秒激光微加工装备实现了单晶叶片的高质量批量加工,经过包括金相检查、光学内窥镜和工业CT在内等各项检测验证,满足设计要求。(本文来源于《第17届全国特种加工学术会议论文集（下册）》期刊2017-11-17）
李杰,张保文,訾进锋,赵卫,杨小君[9]（2017）在《飞秒激光微加工技术在某型航空发动机高压单晶涡轮叶片上的应用》一文中研究指出国产某型航空发动机叶片气膜孔的制孔要求加工孔定位准确,对壁无损伤,加工无重铸层。飞秒激光加工叶片气膜孔依托中国科学院西安光学精密机械研究所自主研发的MicroDrill100五轴飞秒激光微加工装备,该装备特有的工件自适应定位技术,"冷"加工制孔技术、实时穿透检测技术及激光脉冲靶标自适应控制技术是飞秒激光叶片制孔的关键技术。飞秒激光属于超短脉冲激光的一种,其脉冲宽度可达飞秒量级(10~(-15)s),峰值功率最高可达拍瓦量级(千万亿瓦特),其电场远远强于原子内库仑场,具有极高的电场强度,足以使任何材料发生电离,使电离后的作用区域内的材料以等离子体的形式得到去除,得到理想的结构和尺寸精度。不同于长脉冲激光与材料作用时热熔气化的机理,飞秒激光与材料作用时是将材料中的自由电子激发掉,依靠带正电荷的材料分子之间的库仑斥力去除材料,加工过程中没有热量产生,属于"冷"加工。"冷"加工制孔技术是利用飞秒激光无热效应的优势,飞秒激光扫描模块为载体,通过对飞秒激光加工参数优化,实现无重铸层,无微裂纹的加工制孔。工件自适应定位技术能实现叶片气膜孔加工定位数据的准确获取,采用基于叶身特征点直接测量的特征点定位技术,得到叶身实际各点的相对坐标,再基于相对坐标建立基于叶身的绝对坐标系,最终计算出各个孔的在该坐标系中的绝对坐标值。实时穿透监测技术能在叶片气膜孔加工过程中保护叶片,实时监测气膜孔的加工动态,避免过度加工导致对壁损伤。激光脉冲靶标自适应控制技术通过实时精确控制扫描路径上的激光脉冲触发频率,可实现收缩-扩张等异型孔(如簸箕孔、水滴孔等)一次性制孔,加工前导入异型孔的叁维模型后,图形化系统控制软件可自动生成扫描轨迹及脉冲触发策略,从而指导加工出设计要求的孔型。从高压涡轮单晶叶片制孔要求出发,逐项分解指标并制定全套解决方案,实现了单晶叶片的高质量批量加工,经过包括金相检查、光学内窥镜和工业CT在内等各项检测验证,满足设计要求。飞秒激光加工技术展现了加工精度高、加工表面完整性好的优势,且对材料无选择性,是生产加工技术的一次革新,具有广阔的应用前景。(本文来源于《特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）》期刊2017-11-17）
李抒瑾[10]（2017）在《超快激光微加工技术在集成光学领域的应用》一文中研究指出1.引言1969年,集成光学的概念被米勒(S.Miller)博士提出。集成光路是一种能够在极小的区域内完成对光信号低功耗和高稳定性的高速传输和处理的集成光子学系统,在以后的光信息处理和光通讯领域应用前景广阔、研究意义重大。光波导器件不仅可以限制和引导光的传输,还能实现非线性和主动增益;同时与集成光路中的其他元件相互结合,共同组成拥有多样功能的"高密度集成光子芯片",(本文来源于《现代物理知识》期刊2017年04期）
微加工技术论文开题报告范文
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
介绍一种利用非对称聚合的叁嵌段共聚物(SEBS(Styrene-Ethylene-Butylene-Styrene(SEBS))苯乙烯-乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物)自组装特性制造大规模整齐排列纳米阵列的分层方法,该方法混合了自下而上/自上而下两种策略。通过AFM(原子力显微镜)获得的硅基上各式各样的微观结构被用来作为球形和高长径比圆柱形聚合物排列的模板。通过原子力显微镜微加工技术的引入,实现了多畴有序阵列的定向排列,并利用硅基的形貌来控制叁嵌段共聚物的自组装过程。这种"图外延"的方法可以被应用在软硬混合的情况下,即凝聚态物质系统。此外,自上而下和自下而上方法的混合运用,是一种新颖的实现分子自组装和普遍采用的形态学约束相并行的有效办法,同时也是实现二者并行的基础及沟通桥梁。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微加工技术论文参考文献
[1].汪超炜.多材料飞秒激光微加工技术及其应用研究[D].中国科学技术大学.2019
[2].邹新宇,黄宜军,丛彦茹,何永玲,潘宇晨.基于AFM微加工技术制造微结构模板中纳米级高分子聚合物的自组装[J].机械强度.2019
[3].王国政,袁云龙,杨超,凌海容,王蓟.硅微通道板微加工技术研究[J].兵工学报.2018
[4].付成芳,赵波,杨玉东,居勇峰,何晓凤.面向太赫兹真空电子器件应用的基于微加工技术的矩形环-杆结构慢波特性研究[J].真空科学与技术学报.2018
[5].张安学.基于叁维金属微加工技术的毫米波器件设计与集成[C].2018年全国微波毫米波会议论文集(上册).2018
[6].占彦龙,李文,李宏,胡良云.激光微加工技术制备浸润性可控聚四氟乙烯超疏水表面[J].高分子材料科学与工程.2018
[7].李杰,訾进锋,杨小君,赵卫,温学兵.飞秒激光微加工技术在航空发动机高压单晶涡轮叶片的应用[J].电加工与模具.2018
[8].李杰,张保文,訾进锋,赵卫,杨小君.飞秒激光微加工技术在某型航空发动机高压单晶涡轮叶片上的应用[C].第17届全国特种加工学术会议论文集（下册）.2017
[9].李杰,张保文,訾进锋,赵卫,杨小君.飞秒激光微加工技术在某型航空发动机高压单晶涡轮叶片上的应用[C].特种加工技术智能化与精密化——第17届全国特种加工学术会议论文集（摘要）.2017
[10].李抒瑾.超快激光微加工技术在集成光学领域的应用[J].现代物理知识.2017