一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板论文和设计-王英剑

全文摘要

本实用新型公开了一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体和螺纹孔，所述盖板主体的中部开设有四个等距离的阶梯孔，且盖板主体的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔，所述螺纹孔共设置有五个，且五个螺纹孔开设在盖板主体上，所述盖板主体的厚度为0.5mm，所述盖板主体的形状为圆盘形，且盖板主体的两侧均设置有定位平切面，且盖板主体为不锈钢制成，所述盖板主体的上表面一侧设置有防呆凹槽，且盖板主体的上表面另一侧设置有防呆凸起使用五个螺丝插入螺纹孔的内部将十个滤光片压紧，进而使得滤光片被定位起来，定位方便快速，大大节约了装片时间，提高工作效率，0.5mm厚度的不锈钢盖板，实际镀膜过程中造成的遮挡影响较小。

主设计要求

1.一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体（1）和螺纹孔（3），所述盖板主体（1）的中部开设有四个等距离的阶梯孔（2），且盖板主体（1）的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔（2），其特征在于：所述螺纹孔（3）共设置有五个，且五个螺纹孔（3）开设在盖板主体（1）上。

设计方案

2.根据权利要求1所述的一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，其特征在于，所述盖板主体（1）的厚度为0.5mm。

3.根据权利要求1所述的一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，其特征在于，所述盖板主体（1）的形状为圆盘形，且盖板主体（1）的两侧均设置有定位平切面（11），且盖板主体（1）为不锈钢制成。

4.根据权利要求1所述的一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，其特征在于，所述盖板主体（1）的上表面一侧设置有防呆凹槽（4），且盖板主体（1）的上表面另一侧设置有防呆凸起（5）。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及镜片镀膜夹具技术领域，具体为一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板。

背景技术

镀膜机目前蒸镀模式是从基片上方向下进行溅射镀膜，蒸发源（蒸镀靶材）离镀膜基片空间距离较近10mm以内，镀膜夹具通常用固定螺丝将镀膜基片固定在夹具上，一个镀膜夹具需要23个螺丝，整炉放置基片固定的时间需要1.5小时以上。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，旨在改善基片定位时间长，效率低的问题。

本实用新型是这样实现的：

一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体和螺纹孔，所述盖板主体的中部开设有四个等距离的阶梯孔，且盖板主体的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔，所述螺纹孔共设置有五个，且五个螺纹孔开设在盖板主体上。

进一步的，所述盖板主体的厚度为0.5mm。

进一步的，所述盖板主体的形状为圆盘形，且盖板主体的两侧均设置有定位平切面，且盖板主体为不锈钢制成。

进一步的，所述盖板主体的上表面一侧设置有防呆凹槽，且盖板主体的上表面另一侧设置有防呆凸起。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型使用五个螺丝插入螺纹孔的内部将十个滤光片压紧，进而使得滤光片被定位起来，定位方便快速，大大节约了装片时间，提高工作效率，0.5mm厚度的不锈钢盖板，实际镀膜过程中造成的遮挡影响较小。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型阶梯孔的结构示意图；

图3是图2的A区放大图；

图4是本实用新型阶梯孔与螺纹孔的分布示意图。

图中：1、盖板主体；11、定位平切面；2、阶梯孔；201、第一阶梯孔；202、第二阶梯孔；203、第三阶梯孔；204、第四阶梯孔；205、第五阶梯孔；206、第六阶梯孔；207、第七阶梯孔；208、第八阶梯孔；209、第九阶梯孔；210、第十阶梯孔；3、螺纹孔；31、第一螺纹孔；32、第二螺纹孔；33、第三螺纹孔；34、第四螺纹孔；35、第五螺纹孔；4、防呆凹槽；5、防呆凸起。

具体实施方式

为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1、图2和图3所示，一种窄带滤光片溅射镀膜用夹具盖板，包括盖板主体1和螺纹孔3，盖板主体1的中部开设有四个等距离的阶梯孔2，且盖板主体1的上表面两侧均开设有三个等距离的阶梯孔2；

参照图1和图4所示，阶梯孔2共十个，阶梯孔2用于容纳滤光片，这是个阶梯孔2分别为：第一阶梯孔201、第二阶梯孔202、第三阶梯孔203、第四阶梯孔204、第五阶梯孔205、第六阶梯孔206、第七阶梯孔207、第八阶梯孔208、第九阶梯孔209和第十阶梯孔210，这十个阶梯孔2的分布方式如图4所示；

继续参照图1和图4所示，螺纹孔3共设置有五个，且五个螺纹孔3开设在盖板主体1上，五个螺纹孔3分别为：第一螺纹孔31、第二螺纹孔32、第三螺纹孔33、第四螺纹孔34和第五螺纹孔35，其分布的方式如图4所示；

参照图4所示，第一螺纹孔31位于第八阶梯孔208与第九阶梯孔209，所以第一螺纹孔31内部插入的螺丝用于定位第八阶梯孔208与第九阶梯孔209内部的滤光片，第二螺纹孔32位于第一阶梯孔201与第二阶梯孔202之间，所以第二螺纹孔32内部插入的螺丝用于定位第一阶梯孔201与第二阶梯孔202内部的滤光片，第三螺纹孔33位于第五阶梯孔205与第十阶梯孔210之间，所以第三螺纹孔33内部插入的螺丝用于定位第五阶梯孔205与第十阶梯孔210内部的滤光片，第四螺纹孔34位于第三阶梯孔203与第四阶梯孔204之间，所以第四螺纹孔34内部插入的螺丝用于定位第三阶梯孔203与第四阶梯孔204内部的滤光片，第五螺纹孔35位于第六阶梯孔206与第七阶梯孔207之间，所以第五螺纹孔35内部插入的螺丝用于定位第六阶梯孔206与第七阶梯孔207内部的滤光片；

参照图1所示，盖板主体1的厚度为0.5mm，且盖板主体1为不锈钢制成，0.5mm厚度的不锈钢盖板，实际镀膜过程中造成的遮挡影响较小，盖板主体1的形状为圆盘形，且盖板主体1的两侧均设置有定位平切面11，盖板主体1使用化学蚀刻工艺加工，保证了盖板的平整性，可直接压住基片；

盖板主体1的上表面一侧设置有防呆凹槽4，且盖板主体1的上表面另一侧设置有防呆凸起5，防呆凹槽4与防呆凸起5起到防呆作用。

工作原理：在镀膜机蒸镀时，从基片上方向下进行溅射镀膜，事先要将滤光片放置在阶梯孔的内部，使用五个螺丝插入螺纹孔3的内部将十个滤光片压紧，进而使得滤光片被定位起来，定位方便快速，大大节约了装片时间，提高工作效率，0.5mm厚度的不锈钢盖板，实际镀膜过程中造成的遮挡影响较小。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

设计图

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