论文摘要
鉴于彩色共聚焦测量技术无需做轴向扫描即可获得高度信息,且轴向分辨率能达到亚微米级、甚至纳米级,基于彩色相机的彩色共聚焦测量方法,提出一种颜色转换算法,并通过仿真对该算法进行优化,建立轴向高度与颜色的对应关系。经过实验分析,该颜色转换算法能够在轴向高度与颜色之间建立良好的线性关系,线性判断系数R~2达到了0.9979;同时,对100μm高度的台阶进行测量,测量精度达到了亚微米级;最后,对硬币表面进行测量和分析,修正了一系列误差后,较好地还原了硬币表面的三维形貌轮廓。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张昆,余卿,邵尊桂,张一,程方,傅师伟
关键词: 测量,彩色共聚焦,彩色相机,颜色转换算法,亚微米级,三维重构
来源: 光学学报 2019年12期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 工业通用技术及设备
单位: 华侨大学机电及自动化学院
基金: 国家自然科学基金(51505162),福建省科技计划项目(2019I0013),泉州市科技计划项目(2017T004),华侨大学中青年教师科研提升资助计划(ZQN-PY304)
分类号: TB852.1
页码: 151-158
总页数: 8
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