基于彩色相机颜色转换算法的彩色共聚焦测量方法

基于彩色相机颜色转换算法的彩色共聚焦测量方法

论文摘要

鉴于彩色共聚焦测量技术无需做轴向扫描即可获得高度信息,且轴向分辨率能达到亚微米级、甚至纳米级,基于彩色相机的彩色共聚焦测量方法,提出一种颜色转换算法,并通过仿真对该算法进行优化,建立轴向高度与颜色的对应关系。经过实验分析,该颜色转换算法能够在轴向高度与颜色之间建立良好的线性关系,线性判断系数R~2达到了0.9979;同时,对100μm高度的台阶进行测量,测量精度达到了亚微米级;最后,对硬币表面进行测量和分析,修正了一系列误差后,较好地还原了硬币表面的三维形貌轮廓。

论文目录

  • 1 引 言
  • 2 系统原理与系统设计
  •   2.1 彩色共聚焦测量原理
  •   2.2 颜色转换算法
  •     2.2.1 颜色转换算法的提出
  •     2.2.2 颜色空间转换
  • 3 实验分析
  •   3.1 实验系统构建与标定
  •   3.2 台阶实验
  •   3.3 三维形貌重构
  • 4 结 论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 张昆,余卿,邵尊桂,张一,程方,傅师伟

    关键词: 测量,彩色共聚焦,彩色相机,颜色转换算法,亚微米级,三维重构

    来源: 光学学报 2019年12期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

    专业: 工业通用技术及设备

    单位: 华侨大学机电及自动化学院

    基金: 国家自然科学基金(51505162),福建省科技计划项目(2019I0013),泉州市科技计划项目(2017T004),华侨大学中青年教师科研提升资助计划(ZQN-PY304)

    分类号: TB852.1

    页码: 151-158

    总页数: 8

    文件大小: 7968K

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