论文摘要
随着太阳能和微电子产业的不断发展,多晶硅材料的需求也在不断加大,作为两种产业的核心原料,多晶硅有十分重要的作用。多晶硅的作用主要体现在电学性质、力学性质等方面,其可以用于生产单晶硅,可以作为现代自动控制、人工智能等半导体器件的基础材料来应用。文章主要就多晶硅生产废气回收处理工艺的研究进展进行了相关的阐述和分析。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 吕昌彦,唐伟博,田茂远
关键词: 多晶硅,废气回收,工艺技术
来源: 化工管理 2019年27期
年度: 2019
分类: 经济与管理科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工,环境科学与资源利用
单位: 陕西天宏硅材料有限责任公司
分类号: TQ127.2;X781
页码: 201-202
总页数: 2
文件大小: 2920K
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