论文摘要
采用直流反应磁控溅射法,通过改变溅射时间在不锈钢表面溅射氮化钛薄膜。采用分析天平、SEM、XRD和显微硬度计等对薄膜的质量增加率、微观结构、外观形貌和显微硬度进行研究。结果发现随着溅射时间增加,薄膜的质量增大,厚度逐渐增加。XRD分析表明,TiN薄膜晶体结构为面心立方结构。溅射沉积氮化钛膜具有择优取向性:随溅射时间增加,由混合晶面生长向(111)择优取向变化;随着溅射时间增加,显微硬度总体呈上升的趋势。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 罗学萍,赖奇
关键词: 无镍不锈钢,磁控溅射,氮化钛,薄膜,择优取向,显微硬度
来源: 钢铁钒钛 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 攀枝花学院钒钛材料与复合技术省级高校重点实验室
基金: 攀枝花市科技计划项目(基于电子束真空连续镀膜的多层膜复合材料产业化研究,编号2018CY-G-6)
分类号: TG174.4
页码: 52-56
总页数: 5
文件大小: 946K
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