导读:本文包含了微流量计论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:热感式微流量计,新型工作模式,流场分析,物联网
微流量计论文文献综述
李金贝奇[1]（2018）在《一种新型双模式热感微流量计及其共轭传热仿真》一文中研究指出微机电系统是指以微米级元件实现电路-机械转换功能的系统。它是21世纪最领先的技术之一。微流量传感器是微电子机械系统中应用最广的一种,与传统流量计相比,它有着功耗低、响应快、测量准等优点,可应用于汽车工业、航空航天、生物研究、临床诊断等多个领域,有着广阔的前景。热式微流量计凭借其简单的结构、可靠的性能,最为人们所采用,其中量热式流量计具有流向侦测、小流量下灵敏响应的优点尤其受到偏爱。然而,大流量下量热式流量计的响应趋于饱和甚至会失灵。为此本文提出了一种新型复合工作模式的热感微流量传感器:它能灵活地切换量热与热线工作模式,从而不失灵敏度地拓宽量程.通过二维、可压缩、变物性的共轭传热(流-固耦合传热)数值仿真,本文呈现了大流量跨度下(0.01-160SCCM)芯片通道内的流型,并研究了它对温度场的影响。在小流量下,热扩散作用占主导地位,输运对温度产生的扰动可以看作是一阶线性的,由此探测器温差对流速的响应是线性的。随着流量的增大,固体域周围的边界层受到破坏,从而使更多的热量被携带到下游。由于对流换热的非线性本质,温差响应趋于平缓。进一步增大流量,会凸显粘性耗散对探测器的作用,尤其是在前翼。由于剧烈的摩擦产生大量的热,探测器的温度上升,温差随着流量的增大而下降,探测器失灵。另外,大流量下通道的流型变得复杂,一维模型的均匀来流假设无法正确预测响应。此外,本文还得到了探测器响应临界变化时相关的无量纲数,它们可以根据相似原理用于今后的优化设计。加热器的功率响应在大流量下依然保持良好的灵敏度。另外,功率对流量的关系可以用修正后的King’s Law拟合,具有良好的相关性。对于可压缩流动,如果考虑额外的压缩项,M~2_(mi)/Re_(mi)可以获得更好的相关性。实验的流量计系统芯片由Invensense公司0.18μm CMOS-MEMS的工艺制造而成。经过简易封装、电路搭建后,芯片能够将流动转换成电信号并被单片机(Arduino Yun)读取。以两个作为参考的商业流量计进行校准后,根据灵敏度划定了流量计两种工作模式(量热式、热线式)的切换临界流量,并分别用不同函数拟合。新型流量计与参考流量计之间对比的结果表明,本设计有良好的精度,相对误差在±2%之内。另外,它的量程相比之前的工作模式扩大了近叁倍,最大流量量程达到140SCCM,以通道中部的尺寸计,流速最大可达73m/s。此外,流量计原型系统中的单片机整合有无线传输模块,这样就能将采集到的数据上传到云端服务器,有望用于未来物联网节能建筑中暖通系统的流量监控。(本文来源于《杭州电子科技大学》期刊2018-03-01）
栗大超,刘宇,于海霞,梁文帅,徐可欣[2]（2012）在《基于PDMS的微流量计的研制》一文中研究指出通过检测透皮抽取出的人体细胞间液中葡萄糖浓度来预测血糖浓度是一种重要的微创血糖检测技术。但由于抽取出的细胞间液量很少,需要进行稀释以便输送和收集,然后根据稀释后的体积来计算稀释前的细胞间液浓度。设计和加工了一种微流量计用以测量稀释后细胞间液的体积,并搭建了性能测试实验平台,测试了流量计测量结果的重复性和线性相关性。实验表明:流量计测量范围为4～16μL;对15μL的样品10次测量的变异系数为6.2%;13个不同体积样品的测量结果相关系数为0.988。微流量计能够满足测量要求。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2012年07期）
赵澜,张涤新,冯焱,成永军,卢耀文[3]（2011）在《高精度气体微流量计工作用容积的测量》一文中研究指出作为气体微流量标准的高精度气体微流量计主要用于气体微流量的测量,其中工作用容积值为气体微流量计的主要工作参数之一,因此气体微流量的测量精度也取决于工作用容积值的测量精度。比较称重法及静态膨胀法两种容积测量方法的优缺点,并根据实际情况采用静态膨胀法测量高精度气体流量计工作用容积,得到工作用容积值,并对测量结果进行不确定度的评定。该测量方法具有可原位置测量、操作简单、测量精度高等优点,满足高精度气体微流量计的要求。(本文来源于《机床与液压》期刊2011年11期）
宋瑞海,成永军,赵澜,张涤新[4]（2010）在《虚拟仪器在气体微流量计测控系统中的应用》一文中研究指出采用虚拟仪器技术开发了一个气体压力的自动测控系统,并用于高精度气体微流量计。本文详细介绍了高精度气体流量计压力系统的工作原理,及其压力测控系统的硬件组成和软件设计。系统的硬件部分使用台湾研华公司的PCI-1610采集卡和美国NI公司的IEEE-488数据采集卡,软件部分采用NI公司的LabVIEW图形化编程语言创建,实现了压力的测量与控制以及数据的自动保存。该系统具有界面友好、人机交互性强、编程简单、操作方便、控制效果好等优点。(本文来源于《真空》期刊2010年05期）
李得天,冯焱,赵澜,张涤新[5]（2010）在《便携式气体微流量计的设计》一文中研究指出为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。在流量计的设计中,解决了小孔流导的设计和计算、定容室和抽气系统的小型化设计、应用选择性抽气技术延伸流量测量下限等关键技术,同时还采用了分体式结构设计,使流量计具有便于拆卸及携带,操作简单等优点。流量计预计达到的技术指标是,测量范围(:10-4～10-11)Pa.m3/s,标准不确定度小于10%。(本文来源于《真空》期刊2010年02期）
冯焱,张涤新,李得天,成永军,卢耀文[6]（2009）在《气体微流量计测量小孔流导方法研究》一文中研究指出介绍了利用气体微流量计的流量测量技术、采用PID和压力锯齿波动2种恒压控制模式测量小孔流导的原理和方法,并对2种控制模式的测量结果进行了比对,一致性好于0.14%。小孔流导的测量值与理论计算值之间有较大偏差,通过漏孔校准实验,证明前者具有更好的准确性。对于几何尺寸不规则的小孔,用实验方法获得其流导值具有实际应用价值。(本文来源于《真空与低温》期刊2009年02期）
宋瑞海,张涤新,成永军,赵澜[7]（2009）在《高精度气体微流量计温度控制系统的研制》一文中研究指出采用虚拟仪器技术开发了一个温度的数据采集系统,并在高精度气体微流量计中得到的应用。详细介绍了系统的硬件组成和软件的设计。系统的硬件部分使用研华公司的PCI-1716多功能数据采集卡和ADAM3013热电阻变送模块,软件部分采用美国NI公司的LabVIEW图形化编程语言创建,通过调用设计的温度计实现了温度的采集及数据的自动保存。并且界面简单、方便使用、解决了多通道监测、实时性等问题。(本文来源于《真空》期刊2009年01期）
冯焱,成永军,张涤新[8]（2006）在《恒压式气体微流量计测量不确定度评估》一文中研究指出介绍了恒压式气体微流量计的组成和校准原理。在对电容薄膜规做了热流逸效应实验的基础上,对流量计的测量不确定度进行了评估,给出了扩展不确定度和包含因子。通过传递标准漏孔与德国PTB开展了漏率比对,验证了测量不确定度评估结果的可靠性。(本文来源于《计测技术》期刊2006年03期）
冯焱,成永军,赵定众,张涤新,李得天[9]（2005）在《恒压式气体微流量计的性能测试》一文中研究指出介绍了恒压式气体微流量计的组成及性能实验。实验结果表明,气体流量的测量范围为(2.96×10-9～4.76×10-4)Pa·m3/s,不确定度小于4%。标准漏孔的校准结果与德国PTB校准结果的一致性好于1.3%。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2005年03期）
成永军,冯焱,张涤新,赵定众[10]（2004）在《恒压式气体微流量计的测控系统研制》一文中研究指出恒压式气体微流量计的测控系统是在工控机控制下 ,采用电容薄膜规、光电编码器、铂电阻温度计等高精度传感器测量出变容室内气体的压力、体积变化率、温度等参量 ;采用两种恒压控制模式 ,在流量测量的动态过程中将变容室内气体的压力波动控制在± 0 0 1%之内 ;工作软件具有虚拟仪器界面 ,操作方便 ,实现了对流量计的计算机自动化控制和管理。恒压式气体微流量计能够提供 (3 96× 10 -4～ 3 6 4× 10 -8)Pa·m3 /s范围内的气体微流量。在 10 -8Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 1% ,在 (1× 10 -7～ 1× 10 -4)Pa·m3 /s范围内的相对合成标准不确定度为 0 7%。(本文来源于《宇航计测技术》期刊2004年06期）
微流量计论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
通过检测透皮抽取出的人体细胞间液中葡萄糖浓度来预测血糖浓度是一种重要的微创血糖检测技术。但由于抽取出的细胞间液量很少,需要进行稀释以便输送和收集,然后根据稀释后的体积来计算稀释前的细胞间液浓度。设计和加工了一种微流量计用以测量稀释后细胞间液的体积,并搭建了性能测试实验平台,测试了流量计测量结果的重复性和线性相关性。实验表明:流量计测量范围为4～16μL;对15μL的样品10次测量的变异系数为6.2%;13个不同体积样品的测量结果相关系数为0.988。微流量计能够满足测量要求。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微流量计论文参考文献
[1].李金贝奇.一种新型双模式热感微流量计及其共轭传热仿真[D].杭州电子科技大学.2018
[2].栗大超,刘宇,于海霞,梁文帅,徐可欣.基于PDMS的微流量计的研制[J].传感器与微系统.2012
[3].赵澜,张涤新,冯焱,成永军,卢耀文.高精度气体微流量计工作用容积的测量[J].机床与液压.2011
[4].宋瑞海,成永军,赵澜,张涤新.虚拟仪器在气体微流量计测控系统中的应用[J].真空.2010
[5].李得天,冯焱,赵澜,张涤新.便携式气体微流量计的设计[J].真空.2010
[6].冯焱,张涤新,李得天,成永军,卢耀文.气体微流量计测量小孔流导方法研究[J].真空与低温.2009
[7].宋瑞海,张涤新,成永军,赵澜.高精度气体微流量计温度控制系统的研制[J].真空.2009
[8].冯焱,成永军,张涤新.恒压式气体微流量计测量不确定度评估[J].计测技术.2006
[9].冯焱,成永军,赵定众,张涤新,李得天.恒压式气体微流量计的性能测试[J].真空科学与技术学报.2005
[10].成永军,冯焱,张涤新,赵定众.恒压式气体微流量计的测控系统研制[J].宇航计测技术.2004