论文摘要
为了通过结构光投影的方法测量微小物体,构建了一套微小物体三维形貌测量系统,视场范围可达1.8 cm×1.6 cm。这套测量系统利用了Light Crafter 4500数字投影组件的高速投影、立体显微镜的低畸变缩放、远心镜头的大景深与低畸变成像的特性。先利用立体显微镜对Light Crafter 4500投影的相移条纹图进行低畸变缩小,再投影到待测物体表面,采用配有远心镜头的相机同步记录受到物体表面形貌调制而发生形变的条纹,利用三步相移法计算出条纹对应的截断相位图,再根据可靠路径跟踪相位展开算法求取连续的相位分布,重建被测物体的三维表面形貌。实验成功重建了以BGA芯片为代表的微小物体表面三维形貌。实验结果表明,系统测量精度达到11μm,系统的有效深度测量范围为700μm。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 史耀群,邓林嘉,王朝旭,伏燕军,钟可君,管炳良
关键词: 三维测量,微小物体测量,条纹投影轮廓术,立体显微镜,远心镜头
来源: 应用光学 2019年06期
年度: 2019
分类: 基础科学,信息科技
专业: 物理学,计算机软件及计算机应用
单位: 南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室
基金: 国家自然科学基金(61661034,11864026),江西省重点研发计划(20171BBE50012),江西省教育厅科技计划(DA201808191)
分类号: TP391.41;O439
页码: 1120-1125
总页数: 6
文件大小: 2073K
下载量: 224
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