多层介质膜脉宽压缩光栅清洗方法研究

论文摘要

采用SPM（Sulfuric-Peroxide Mixtures, 98wt%H2SO4+30wt%H2O2）+兆声（方法 1）和氧等离子体+HPM（Hydrochloric/Peroxide Mixture, 37wt%HCl+30wt%H2O2+DIH2O）+兆声（方法 2）两种清洗方法对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗,并对清洗前后样品的表面元素含量、衍射效率、表面粗糙度、表面温升以及激光损伤阈值等参数进行测量以评估两种清洗方法清洗效果。在入射角70°,脉宽12 ns, s偏振,波长1064 nm的激光辐照下,经过清洗方法 1清洗后的光栅样品单脉冲激光损伤阈值为7.55 J/cm2,而方法 2清洗后的样品损伤阈值为5.32 J/cm2。另外,虽然经过方法 2清洗后样品表面杂质含量更低,但是在衍射效率、表面粗糙度和表面温升都劣于经方法 1清洗后的样品,进一步分析发现方法 2中氧等离子体清洗过程引入的Fe元素影响了其样品损伤性能和温升性能。因此, SPM清洗方法可以作为多层介质膜脉宽压缩光栅提升抗激光损伤性能的优化清洗方案。

论文目录

• 1 实验方法
• 2 结果与讨论
•   2.1 XPS测试
•   2.2 DE测试
•   2.3 AFM测试
•   2.4 表面温升实验
•   2.5 激光损伤测试
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 邹溪,晋云霞,孔钒宇,王勇禄,张益彬,邵建达

关键词: 多层介质膜,脉宽压缩光栅,氧等离子体

来源: 无机材料学报 2019年12期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技

专业: 物理学,工业通用技术及设备,无线电电子学

单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所薄膜光学实验室,中国科学院强激光材料重点实验室,中国科学院大学材料与光电研究中心,上海科技大学物质科学与技术学院

基金: 国家自然科学基金重点项目(11604352,61875212),上海市科学技术委员会(16JC1420600)~~

分类号: TN24;TB490

页码: 1285-1289

总页数: 5

文件大小: 831K

下载量: 85