车用316L不锈钢表面脉冲磁控溅射CrAlN涂层组织和摩擦性能分析

论文摘要

采用高功率脉冲与脉冲直流磁控溅射相结合的方法,在车用316L不锈钢表面制备得到CrAlN涂层,分析了各基体偏压状态下CrAlN涂层的化学成分及其组织和性能的变化。结果表明:当基体偏压提高后,涂层的（111）晶面衍射峰发生了小角度偏移的变化。随着偏压由0V逐渐增大至-25V时,得到的CrAlN涂层硬度和弹性模量分别升到最大值23.2GPa和228GPa。当基体偏压上升后,涂层厚度发生了先增大再降低的变化现象,最小涂层厚度约1.41μm。并且当偏压增大后CrAlN涂层也达到了更大的内应力,最大值出现于-100V,等于2.52GPa。当基体偏压提高后,得到的CrAlN涂层摩擦系数不断降低,从0.49减小为0.31,在0V下达到了最大的磨损率。可以发现,当基体偏压升高后,涂层的磨损作用降低,并且磨痕宽度也变小。

论文目录

• 1 试验材料与方法
•   1.1 涂层沉积
•   1.2 测试方法
• 2 结果分析
•   2.1 组织分析
•   2.2 硬度及弹性模量
•   2.3 涂层厚度和残余应力
•   2.4 涂层摩擦性能分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 杨晨,李伟

关键词: 脉冲磁控溅射,涂层,力学性能,磨擦性能

来源: 热加工工艺 2019年18期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 郑州科技学院机械工程学院

基金: 河南省科技厅科技攻关项目(172102210533),河南省科技厅科技攻关项目(182102210553),河南省教育厅高等学校重点科研项目(18B460019)

分类号: TG174.4

DOI: 10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.18.022

页码: 90-94

总页数: 5

文件大小: 1595K

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