不同种类表面活性剂对a面蓝宝石衬底CMP的影响

不同种类表面活性剂对a面蓝宝石衬底CMP的影响

论文摘要

研究了在抛光液中分别添加非离子表面活性剂异辛醇聚氧乙烯醚(JFCE)、阴离子表面活性剂十二烷基苯磺酸(LAS)和阳离子表面活性剂十二烷基三甲基氯化铵(DTAC)对a面蓝宝石衬底化学机械抛光(CMP)去除速率和表面状态的影响。通过对抛光液中磨料粒径和Zeta电位的分析可知,JFCE、LAS对粒径和Zeta电位影响不大,DTAC对粒径和Zeta电位有一定影响,当DTAC体积分数增加到0.5%时,抛光液中会出现凝胶现象。采用原子力显微镜、接触角检测仪对CMP后蓝宝石表面状态进行了分析和表征,结果表明,在一定浓度范围内三种表面活性剂均有助于提高蓝宝石去除速率和降低表面粗糙度,当其体积分数均为0.4%时,使用添加DTAC的抛光液时a面蓝宝石的去除速率最大、表面粗糙度最低,更有利于衬底表面的洁净化。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 实验
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 表面活性剂对蓝宝石衬底去除速率的影响
  •   2.2 表面形貌分析
  •   2.3 接触角分析
  •   2.4 作用机理分析
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 崔雅琪,牛新环,王治,周佳凯

    关键词: 面蓝宝石衬底,化学机械抛光,表面活性剂,去除速率,表面粗糙度

    来源: 半导体技术 2019年11期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

    专业: 化学,有机化工

    单位: 河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室

    基金: 国家科技重大专项资助项目(2016ZX02301003-004-007),天津市自然科学基金资助项目(16JCYBJC16100),天津市企业科技特派员基金资助项目(18JCTPJC57000)

    分类号: TQ423;O786

    DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.11.010

    页码: 883-887+898

    总页数: 6

    文件大小: 1722K

    下载量: 166

    相关论文文献

    • [1].表面活性剂与皮肤相互作用的理论及实践(待续)[J]. 日用化学品科学 2019(12)
    • [2].表面活性剂与皮肤相互作用的理论及实践(续完)[J]. 日用化学品科学 2020(01)
    • [3].N-酰基苯丙氨酸钠表面活性剂的合成和性能研究[J]. 应用化工 2020(03)
    • [4].阴-非离子表面活性剂对稠油乳化的影响[J]. 辽宁石油化工大学学报 2020(02)
    • [5].2020年表面活性剂高端应用技术研讨会将于5月在杭州举办[J]. 精细化工 2020(05)
    • [6].表面活性剂对洁面泡沫的泡沫效果影响[J]. 广东化工 2020(07)
    • [7].《表面活性剂化学》课程教学改革探索与实践[J]. 香料香精化妆品 2020(02)
    • [8].年产30000吨表面活性剂及副产品1500吨工业氯化钠搬迁入园项目[J]. 乙醛醋酸化工 2020(05)
    • [9].赞宇科技100万t表面活性剂项目即将开工[J]. 日用化学品科学 2020(06)
    • [10].2020年表面活性剂行业基础培训班[J]. 精细化工 2020(08)
    • [11].新型洗衣凝珠用非离子表面活性剂[J]. 中国洗涤用品工业 2020(08)
    • [12].全浓度范围下醇类表面活性剂对气泡聚并影响的实验研究[J]. 化工学报 2020(09)
    • [13].农药行业中有应用前景的糖基类表面活性剂[J]. 世界农药 2020(08)
    • [14].表面活性剂类型对纳米乳液性质及稳定性的影响(续完)[J]. 日用化学品科学 2020(09)
    • [15].硅类表面活性剂对聚氨酯硬泡性能的影响[J]. 工程塑料应用 2020(10)
    • [16].表面活性剂产品在纺织工业中的各类应用[J]. 网印工业 2020(10)
    • [17].新型氟硅表面活性剂制备与性能的研究进展[J]. 广东化工 2020(20)
    • [18].氨基酸表面活性剂的合成、性质及工业应用(续完)[J]. 日用化学品科学 2018(12)
    • [19].表面活性剂研究进展及其应用现状[J]. 石油化工技术与经济 2018(04)
    • [20].其他类型表面活性剂在制革工业中的应用[J]. 日用化学品科学 2019(04)
    • [21].表面活性剂废水对环境的危害及其处理技术[J]. 四川化工 2019(03)
    • [22].表面活性剂与皮肤相互作用的理论及实践(待续)[J]. 日用化学品科学 2019(09)
    • [23].美容产品的需求增长推动了亚太地区表面活性剂市场发展[J]. 中国洗涤用品工业 2017(12)
    • [24].2018中国氨基酸型表面活性剂高峰论坛[J]. 中国洗涤用品工业 2018(06)
    • [25].表面活性剂在农药中的应用[J]. 农业开发与装备 2018(06)
    • [26].氨基酸表面活性剂的合成、性质及工业应用(待续)[J]. 日用化学品科学 2018(09)
    • [27].氨基酸表面活性剂的合成、性质及工业应用(待续)[J]. 日用化学品科学 2018(11)
    • [28].表面活性剂分子设计(续完)[J]. 日用化学品科学 2016(10)
    • [29].新型抗菌剂氨基酸型表面活性剂的研究进展(待续)[J]. 日用化学品科学 2016(11)
    • [30].烷基糖苷与其他类型表面活性剂的相互作用[J]. 山东大学学报(理学版) 2017(01)

    标签:;  ;  ;  ;  ;  

    不同种类表面活性剂对a面蓝宝石衬底CMP的影响
    下载Doc文档

    猜你喜欢