导读:本文包含了高密度等离子体论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:等离子体,密度,高密度,探针,辉光,尘埃,表面波。
高密度等离子体论文文献综述
刘莉娟,温晓东,孙新锋,张天平,郭宁[1]（2019）在《大功率无电极高密度等离子体电磁推进概述》一文中研究指出无电极高密度等离子体电磁推进技术已成为未来深空探测、载人航天和货运、太阳能电站以及航天器在轨服务与维护等空间任务中极具竞争力的核心推进技术之一。在梳理不同无电极等离子体电磁加速机制基础上,开展大功率无电极高密度等离子体电磁推进技术性能对比,给出新概念无电极场反构型电磁推进技术向未来超大功率拓展的优势和发展潜力,同步分析了该技术亟需解决的关键基础问题,旨在为中国新概念场反构型电磁推进技术的研发提供理论基础。(本文来源于《中国空间科学技术》期刊2019年05期）
周倩倩,黄城[2]（2018）在《低气压高密度等离子体放电研究》一文中研究指出设计一种石英管式封闭等离子体腔,以高频开关电源作为工作电源,分别填充高纯氩气、不同比例氩-氪混合气体等作为工作气体,结合汤森放电理论,推导出与电子密度有关的参量,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强、不同气体成分的辉光放电等离子体密度。实验结果表明,以纯氩为工作气体,工作电压350 V,管内气压140 Pa的条件下,石英放电管内辉光放电等离子体密度可达5.62×10~(11) cm~(-3)。对封闭式等离子体腔的气体压强、工作电压、气体成分之间的关系进行了分析,探索了一种封闭腔体内获得高密度等离子体的方法。(本文来源于《集成电路应用》期刊2018年09期）
李道儒,李炳辰,张生俊,张亚非[3]（2018）在《低压高密度等离子体电极性能研究》一文中研究指出设计了一种玻璃管式封闭等离子体腔室,以高频开关电源为工作电源,高纯氩气(体积分数为99.999%)为工作气体,结合汤森放电理论,推导了等离子体密度与电流之间的关系,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强,不同电极下的封闭式等离子体密度。实验结果表明,在以纯金属热阴极材料钨为电极,工作电流为200 mA,管内气压为66 Pa(0.5 torr)的条件下,可将封闭式等离子体密度提高至1.1×10~(13)cm~(-3)。对封闭式等离子体密度与电流、腔室内气体压强及腔室电极之间的关系进行了分析,探索得到了一种封闭腔体内获得接近电弧放电高密度等离子体的方法。(本文来源于《科学技术与工程》期刊2018年02期）
焦蛟,童继生,马春光,郭佶玙,薄勇[4]（2018）在《电磁波在高密度等离子体微柱腔体结构中的新传输模式》一文中研究指出超高声速飞行器再入过程中会因为等离子体鞘层而产生通信中断,俗称"黑障".近些年人们针对黑障通信的研究虽取得了一些成果,但仍然没能从根本上解决问题.本文从电磁波在高密度等离子体柱中的传输机理研究出发,借鉴二维光子晶体和表面波局域耦合相关理论,设计出了一种新型的等离子体微柱腔体结构,在这种特殊结构下L和S波段的电磁波在某些频段内出现了不同寻常的传输现象,即从高密度等离子体柱的内部穿过.这种新结构下的传输模式将为黑障通讯研究提供新的技术途径和方法.(本文来源于《物理学报》期刊2018年01期）
葛萌,孙刚,张莉莉,谢阳[5]（2017）在《利用Langmuir探针诊断激波管高温高密度等离子体》一文中研究指出利用Langmuir探针诊断等离子体参数的基本原理,对由激波管产生的高温等离子体进行了密度诊断,实时得到了较为完整的等离子体伏安特性曲线,并通过数据处理得到等离子体电子温度、电子密度参数等。比较了激波马赫数9Ms~24Ms范围内,Langmuir探针与离子探针收集法电子密度测量结果,二者的差异较小,且具有相同的变化趋势,因此验证了采用本实验装置诊断等离子体的可靠性和正确性,为高温高密度等离子体的研究提供一种有效的诊断手段。(本文来源于《宇航计测技术》期刊2017年06期）
司新路[6]（2017）在《基于空心阴极的高密度等离子体源的实验研究》一文中研究指出为了提高放电等离子体的电子密度,使之在孔外产生等离子体柱(幕),使其更好的应用于生产的各个领域,我们通过实验的方法对氩气环境中直流驱动下在增强型空心阴极放电模式中孔深对孔外电子密度的影响做了分析。实验测量了不同条件下的放电的伏安特性曲线、相同磁场不同气压下电子密度随着电压的变化、以及使用了不同孔深(2、3、5、7mm)相同孔径(10mm)空心阴极做对比。结果表明,在V-I图像中都是经过一段负阻区后放电电流突然变大,并且电流随着电压的上升而上升证明已经达到了增强型空心阴极放电模式并且出现延伸的负辉区。另外,在磁场(约为180-220GS)的限制条件下,气压从0.12-0.5torr逐渐升高时从阴极推出的负辉区部分逐渐缩短,但是同时电流也逐渐变大,密度也逐渐增加并且放电开始出现不稳定的电压值降低。另外,在相同磁场、气压、电压条件下电极深度越深,并且随着孔深的加深孔外的负辉区亮度逐渐减小,同时孔外密度也逐渐降低。在孔深为2-3mm是负辉区的电子密度最大约为1.1×10~(11)cm~(-3),当孔深加深时密度逐渐转变为一般的直流放电。出现此结果表明当空心阴极的孔深较深时,经过电场加速后获得能量的高能电子在孔内部的负辉区中参与大量的碰撞和激发,致使大量的能量都消耗在孔内部;而对于孔深较浅的空心阴极在孔内部经过短暂碰撞电离之后再在电场与磁场的作用下做拉莫尔运动,增加了外部负辉区的密度,从而使等离子体的密度升高。(本文来源于《第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集》期刊2017-07-26）
石鹏[7]（2017）在《J-TEXT托卡马克高密度放电下的等离子体行为研究》一文中研究指出等离子体密度是磁约束核聚变的重要参数之一。氘氚聚变反应产生的功率与等离子体密度的平方成正比。从聚变反应输出功率的角度考虑,等离子体密度越高越好。然而目前磁约束聚变装置的实验表明,等离子体密度存在着明显的运行上限(密度极限)。一旦密度超过该极限,一系列不稳定性将会出现并最终导致等离子体的大破裂。为了保证磁约束聚变装置在高密度下安全稳定地运行,有必要去研究高密度下的等离子行为和密度极限破裂发生的物理机制。在高密度等离子体的实验研究中,与微观不稳定性相关的湍流扰动是一个重要参量,它能够反映等离子体的输运行为以及约束性能。为了研究密度极限破裂过程中等离子体输运和约束的变化,本文在J-TEXT现有的叁波偏振干涉仪系统上拓展了前向相干散射测量的功能,通过分析前向相干散射信号可以获得等离子体内部的电子密度涨落信息。以J-TEXT托卡马克装置作为实验平台,本文对高密度等离子体行为和密度极限破裂展开了实验研究。首先,本文探索了 J-TEXT的密度运行区间以及最大运行密度与放电参数的依赖关系。实验发现,改善壁处理和降电流调制能够极大地提高密度运行区间。经过以上优化手段,J-TEXT的最大运行密度从0.42nG提升至1nG。大量密度极限破裂实验的统计结果表明,极限破裂时的最大等离子体密度与等离子体总电流成正比,而与纵场强度呈弱相关,结果与Greenwald定标律一致。其次,本文研究了等离子体密度爬升过程中的等离子体参数(包括密度、温度以及电流密度)分布的演化。结果显示,随着等离子体密度的上升,等离子体参量分布的演化可以分为线性阶段和饱和阶段,与等离子体约束随密度的演化类似。在线性阶段,电子密度分布逐渐峰化、电子温度和电流密度分布逐渐平坦;在饱和阶段,电子密度分布的峰化因子缓慢下降,而电子温度分布整体加速下降,预示着等离子体内能的减小以及约束的饱和。最后,本文对密度极限破裂放电过程中的等离子体行为做了系统的实验研究。我们在J-TEXT上的密度极限破裂放电中观察到了 MARFE(边缘的多面非对称辐射)和极向脱栏现象。J-TEXT上的MARFE现象表现为在高场侧边界形成极向局域的高密度、强辐射区域。通过分析远红外叁波偏振干涉仪的测量数据,本文首次发现了MARFE引起高场侧边界等离子体电流密度局部下降的现象。进一步结合数值模拟的结果,本文首次提出了“MARFE引起的等离子体电流局部收缩在q = 2共振面产生径向磁场,从而激发2/1撕裂模并导致密度极限破裂”的物理机制。通过研究刮削层(SOL)区域的中性粒子和等离子体参数的极向分布,本文提出了一种新的MARFE形成的物理机制解释,概括如下:环效应引起的径向输运的极向不对称导致环外侧的等离子体压强远大于内侧,从而导致中性粒子在高场侧边界聚集,激发冷凝不稳定性并最终导致MARFE的出现。极向脱栏由MARFE的极向转动演化而来,特征表现为等离子体通道收缩、芯部辐射增强、杂质含量增加、磁流体不稳定性增强等。进一步的分析发现,磁流体不稳定性的增强是2/1模的小磁扰动与1/1内扭曲模发生模耦合导致的。辐射损失的大幅度增强以及模耦合引起的磁流体不稳定性是极向脱栏导致破裂发生的直接原因。基于MARFE和极向脱栏现象的观察,本文从实验上系统地研究了 MARFE和极向脱栏出现的密度阈值与等离子体总电流、边界安全因子、等离子体水平位移等参量的关系,并利用前面提出的物理机制对实验结果做出了合理的解释。(本文来源于《华中科技大学》期刊2017-05-22）
刘宇[8]（2017）在《高能粒子在高密度等离子体中的能量沉积的Reduced PIC/MCC模拟研究》一文中研究指出在超短超强激光与等离子体相互作用的过程中,位于临界密度附近的粒子通过各种吸收机制将能量沉积到背景等离子体,产生大量具有相对论性能量的高能粒子。无论是在惯性约束聚变,还是在X射线成像技术等实际应用研究中,这些高能粒子的产生、输运及能量沉积都具有重要的研究价值和意义。本文模拟研究在超短超强激光与高密度等离子体相互作用的背景下,在临界密度附近的粒子吸收激光能量,当粒子的能量达到一定值时会变成高能粒子,然后这些高能粒子从低密度等离子体区输运到高密度等离子体区的过程中与背景粒子发生库伦碰撞,可以把一部分能量转移成背景粒子的动能,能量沉积在了背景等离子体中。同时高能粒子束在输运时会激发等离子体波,通过集体效应(即等离子体振荡),会将一部分能量沉积在背景等离子体中。本论文围绕Reduced PIC/MCC算法及其数值模拟激光与高密度等离子体相互作用展开工作,主要内容为:1.对高能粒子的产生、输运和能量沉积的数值模拟模型进行了综述、对比和总结,通过比较阻止本领模型、Flokker-Planck模型、PIC/MCC模拟模型和Reduced PIC/MCC模拟模型,得出Reduced PIC/MCC模拟模型不但能完整准确地模拟高能粒子的产生、输运和能量沉积这叁个过程,而且能大大节约计算资源。2.对Reduced PIC/MCC算法进行了推导,其中包括电磁场的求解、背景电流密度的求解、电荷密度的求解、运动方程的求解、电子温度的求解、以及归一化理论。介绍了Reduced PIC/MCC程序的模拟流程图和各个求解模块。3.利用Reduced PIC/MCC程序模拟了激光与高密度等离子体相互作用,得到了大量的数据信息。详细分析了模拟过程中的system1和system2的粒子密度、快电流密度和场随时间和空间的变化;分析了system2的电子温度随时间和空间的变化。(本文来源于《电子科技大学》期刊2017-04-15）
徐彬,李辉,王占阁,许正文,吴健[9]（2017）在《高密度尘埃等离子体的非相干散射理论研究》一文中研究指出将带电尘埃粒子的影响引入到非相干散射理论中,建立了包含电子、离子和尘埃组分的尘埃等离子体非相干散射理论模型.对火箭喷焰高密度尘埃等离子体条件下,离子谐振区和尘埃谐振区的非相干散射谱线进行了计算,讨论了尘埃粒径、温度和密度对谱线结构的影响,获得了尘埃颗粒影响非相干散射回波特征的基本物理规律.(本文来源于《物理学报》期刊2017年04期）
郭贤权[10]（2016）在《高密度等离子体填充浅沟道隔离产生空洞缺陷现象的解决方法研究》一文中研究指出在半导体制造工艺中,CVD(Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)被广泛用于制备氧化物薄膜、氮化物薄膜,沉积钨金属等。在目前先进的工厂实际生产过程中,器件之间STI(Shallow Trench Isolation,浅沟道隔离)的电介质都由CVD方式来制备。通常选择使用HDPCVD(High Density Plasma Chemical Vapor Deposition)或HARP(High Aspect Ratio Process,高深宽比制程)工艺。两者优势都在于其优秀的填充能力能够满足STI蚀刻高深宽比的要求。目前主流的55纳米CIS(CMOS Image Sensor,图像传感器)产品由于光电感应区在STI填充之前已经采用离子注入形成阱区,所以后续STI填充无法使用高温制程的HARP工艺,必须使用HDPCVD技术来填充沟槽。在实际生产中,HDPCVD制程填充能力不足,填充电介质过程中会出现void(空洞)缺陷,公司其他使用HDPCVD填充浅沟道沟槽的平行产品均没有如此大的深宽比,无法借鉴。如何解决void缺陷是55纳米CIS产品量产面临的最大挑战之一。本文针对我司55纳米CIS产品STI HDPCVD填充过程中出现void缺陷这一现象,归纳分析此缺陷产生的机理与控制影响的因素。以生产线上流片的工程批产品作为实验对象,设计实验研究影响空洞缺陷的HDPCVD工艺参数,如沉积蚀刻量、循环次数、清洗频率等;以及有源区光刻和蚀刻工艺参数,如沟槽宽度,沟槽深度,沟槽侧壁等对空洞缺陷的影响情况。在掌握了各项工艺参数对空洞缺陷影响程度的基础上,优化相关制程工艺,消除环形的void缺陷图,将原先大于30%的SRAM良率损失减少到2%,提升产品良率约30%,满足量产的要求。(本文来源于《上海交通大学》期刊2016-12-01）
高密度等离子体论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
设计一种石英管式封闭等离子体腔,以高频开关电源作为工作电源,分别填充高纯氩气、不同比例氩-氪混合气体等作为工作气体,结合汤森放电理论,推导出与电子密度有关的参量,结合实验结果对该理论进行了验证,并测试了不同压强、不同气体成分的辉光放电等离子体密度。实验结果表明,以纯氩为工作气体,工作电压350 V,管内气压140 Pa的条件下,石英放电管内辉光放电等离子体密度可达5.62×10~(11) cm~(-3)。对封闭式等离子体腔的气体压强、工作电压、气体成分之间的关系进行了分析,探索了一种封闭腔体内获得高密度等离子体的方法。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
高密度等离子体论文参考文献
[1].刘莉娟,温晓东,孙新锋,张天平,郭宁.大功率无电极高密度等离子体电磁推进概述[J].中国空间科学技术.2019
[2].周倩倩,黄城.低气压高密度等离子体放电研究[J].集成电路应用.2018
[3].李道儒,李炳辰,张生俊,张亚非.低压高密度等离子体电极性能研究[J].科学技术与工程.2018
[4].焦蛟,童继生,马春光,郭佶玙,薄勇.电磁波在高密度等离子体微柱腔体结构中的新传输模式[J].物理学报.2018
[5].葛萌,孙刚,张莉莉,谢阳.利用Langmuir探针诊断激波管高温高密度等离子体[J].宇航计测技术.2017
[6].司新路.基于空心阴极的高密度等离子体源的实验研究[C].第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集.2017
[7].石鹏.J-TEXT托卡马克高密度放电下的等离子体行为研究[D].华中科技大学.2017
[8].刘宇.高能粒子在高密度等离子体中的能量沉积的ReducedPIC/MCC模拟研究[D].电子科技大学.2017
[9].徐彬,李辉,王占阁,许正文,吴健.高密度尘埃等离子体的非相干散射理论研究[J].物理学报.2017
[10].郭贤权.高密度等离子体填充浅沟道隔离产生空洞缺陷现象的解决方法研究[D].上海交通大学.2016
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